[发明专利]一种基于探针对准晶圆的双倍率光学系统在审
| 申请号： | 202311182266.8 | 申请日： | 2023-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN116931236A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 曲贺盟;管海军;王超;张继真;谢晓麟 | 申请（专利权）人： | 长春长光智欧科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B17/08;H01L21/66 |
| 代理公司： | 吉林国科惠智知识产权代理事务所(普通合伙) 22222 | 代理人： | 吴金华 |
| 地址： | 130000 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种基于探针对准晶圆的双倍率光学系统。属于光学成像晶圆检测技术领域，具体涉及基于探针对准晶圆的双倍率光学系统。其解决了目前市场上存在的探针相机放大倍率低、数值孔径较小，达到了工程要求而降低了光学性能的问题。所述系统包括物方、高倍成像系统、低倍成像系统Ⅰ和像面，光束从物方射入后，分别经过高倍成像系统和低倍成像系统Ⅰ后射入像面；所述高倍成像系统包括第一透镜组、第二透镜组、反射镜、分光装置和滤光片，所述低倍成像系统Ⅰ包括第三透镜组、第四透镜组、分光棱镜和滤光片。本发明可以应用于半导体晶圆中晶格的电学性能测试技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 探针 对准 双倍 光学系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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