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- [发明专利]一种用于足球的机器人击球装置-CN202011435516.0有效
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李琪;曲子濂;王丽荣;万冬
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北京信息职业技术学院
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2020-12-07
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2022-03-29
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A63B69/00
- 本发明实施例提供一种用于足球的机器人击球装置，包括条形架体，所述条形架体上设有移动升降结构，所述移动升降结构上设有击球结构，所述条形架体下壁面设有移动支撑结构；所述移动升降结构包括：第一丝杠模组、第二丝杠模组、第一导杆以及第二导杆；所述条形架体上壁面开设有第一条形凹槽，所述第一丝杠模组安置于第一条形凹槽内部，所述第一丝杠模组移动端上安装有承载架，本发明的有益效果是，通过移动升降结构，便于带动击球结构左右移动，调整使用位置，并且能够升降，调整使用高度，通过击球结构，便于对足球进行击球，达到辅助训练效果，通过移动支撑结构，便于本装置灵活的移动，调整使用位置。
- 一种用于足球机器人击球装置
- [实用新型]一种基于PLC的控制箱装置-CN202022099752.1有效
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李琪;曲子濂;董微
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北京信息职业技术学院
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2020-09-23
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2021-05-04
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H05K5/02
- 本实用新型涉及PLC控制器控制箱技术领域，公开了一种基于PLC的控制箱装置，所述控制箱主体的前表面铰接有箱门，且控制箱主体的底部一体式安装有底座，所述底座的两侧对称开设有进气孔，且底座的内部位于进气孔的一侧设置有过滤网，所述控制箱主体的内部在过滤网的下方安装有温湿度传感器，且控制箱主体的内部前表面安装有PLC控制器，所述控制箱主体的内部卡接有防干扰板，且控制箱主体的上表面安装有散热风机。通过设置过滤网，可将进入到控制箱主体内部的空气进行过滤，防止外界的灰尘进入，造成其使用寿命降低；在防干扰板的内部安装有防干扰柱以及防干扰片，使得能够有效的对PLC控制器起到防干扰的作用，避免在PLC控制器工作时产生干扰，影响其正常使用。
- 一种基于plc控制箱装置
- [实用新型]一种用于工业机器人的底盘结构-CN201921721587.X有效
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李琪;曲子濂;万冬
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北京信息职业技术学院
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2019-10-15
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2020-07-17
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B60G13/00
- 本实用新型公开了一种用于工业机器人的底盘结构，包括：支撑板、两对结构相同的阻尼弹簧、两对结构相同的红外传感器、信号处理模块、电池板、连接板、两对结构相同的连接部、两对结构相同的驱动部以及支撑部，两对所述阻尼弹簧固定安装于支撑板底端，且均匀分布于支撑板四角处，所述信号处理模块固定安装于支撑板底端，两对所述红外传感器固定安装于支撑板上，本实用新型涉及工业运输技术领域，该装置设计合理，结构简单，使用方法简单便于操作，通过连接部在颠簸的地面移动时，可有效的防止底盘结构出现晃动，减少对运输货物的损伤，通过驱动部可在货物储存较多的工厂内自由移动，通过支撑部对运输的货物进行支撑固定。
- 一种用于工业机器人底盘结构
- [发明专利]晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统-CN201310204691.2有效
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路新春;李弘恺;曲子濂;田芳馨;门延武;赵乾;孟永钢
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清华大学
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2013-05-28
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2013-09-25
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G05B19/05
- 本发明公开一种晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统，采用上层控制系统和底层控制系统的两级控制模式，两层控制系统之间通过工业以太网实现物理连接。其中，底层控制系统利用可编程逻辑控制器PLC，负责直接控制化学机械抛光单元的在线测量模块，并建立专用的存储区临时存储测量模块在工艺过程中采集到的数据。上层控制系统采用工控机IPC，通过底层控制系统监控在线测量模块的运行，并利用OPC技术主动读取底层存储区中的数据，完成数据的处理，为工艺人员提供操作软件。基于工艺需求，本发明的控制系统设置了标定和测量两种模式，并可分组存储多个标定表以消除不同工艺配方对测量结果的影响。本发明具有无损测试、操作简单、便于维护、良好的可扩展性以及安全可靠的优点。
- 晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统
- [发明专利]用于在线膜厚测量系统的标定方法及标定装置-CN201110284267.4有效
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路新春;曲子濂;赵乾;王同庆;孟永钢
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清华大学
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2011-09-22
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2012-05-09
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G01B7/06
- 本发明公开了一种用于在线膜厚测量系统的标定方法，包括如下步骤：检测多片晶圆上的抛光压力，当所述抛光压力达到预设压力值时，分别对所述多片晶圆进行预设程度的抛光；在抛光结束后，分别采集所述每片晶圆的片上电压和片下电压并计算所述片上电压和所述片下电压的差值；测量抛光结束后的每片晶圆的镀膜厚度值；将所述每片晶圆的片上电压和所述片下电压的差值与对应的抛光结束后的所述每片晶圆的镀膜厚度值进行关联，生成电压差值-膜厚标定表；根据所述电压差值-膜厚标定表对所述在线膜厚测量系统进行镀膜厚度标定。本发明还公开了一种用于在线膜厚测量系统的标定装置。本发明可以实现在不同的抛光工艺下，对镀膜厚度的快速且精确标定。
- 用于在线测量系统标定方法装置
- [发明专利]化学机械抛光方法-CN201110288857.4有效
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路新春;王同庆;曲子濂;何永勇
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清华大学
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2011-09-23
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2012-01-25
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B24B37/02
- 本发明公开了一种化学机械抛光方法，所述化学机械抛光方法包括：A)利用终点测量装置测量晶圆上的多个点的膜厚前值；B)根据多个点的膜厚前值对晶圆进行化学机械抛光；和C)利用终点测量装置测量多个点的膜厚后值，并根据多个点的膜厚后值来判断晶圆的表面抛光厚度是否均匀，如果晶圆的表面抛光厚度不均匀，则根据多个点的膜厚前值与膜厚后值的差值对晶圆进行化学机械抛光直至晶圆的表面抛光厚度均匀。利用根据本发明实施例的化学机械抛光方法对晶圆进行化学机械抛光时无需再使用在线测量装置，从而不仅可以大大地简化进行化学机械抛光的化学机械抛光设备的结构，降低化学机械抛光设备的成本，而且可以大大地降低晶圆的化学机械抛光成本。
- 化学机械抛光方法
- [发明专利]全局金属膜厚度测量装置-CN201110046521.7有效
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赵德文;曲子濂;路新春;赵乾;何永勇;孟永钢;雒建斌
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清华大学
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2011-02-25
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2011-09-07
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G01B7/06
- 本发明为一种全局金属膜厚度测量装置，包括底座，底座上固定有转台和直线单元，转台包括定子部分和转子部分，定子部分固定在底座上，转子部分上固定工作台，工作台内有真空管路，转子部分的旋转接头与所述真空管路相连，直线单元包括导轨和可沿导轨滑动的滑块，导轨固定在底座上，滑块上固定连接水平的悬臂，悬臂的另一端设置有测头，测头内设电涡流探头；滑块也可以与悬臂铰接，滑块上固定电磁铁，悬臂一端下方固定铁块，另一端设置测头，测头内设电涡流探头和竖直的通气孔及节流孔，通气孔和节流孔同轴相连后贯通测头，本发明能够实现探头与被测工件之间提离高度的自适应，不受设备机械运动精度的影响；能够实现探头与被测工件之间较小的提离高度，而探头与工件不会接触。
- 全局金属膜厚度测量装置
- [发明专利]电涡流金属膜厚度终点检测装置-CN201010236186.2有效
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孟永钢;曲子濂;乐承宁;赵德文;赵乾;路新春
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清华大学
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2010-07-26
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2011-05-11
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B24B49/10
- 电涡流金属膜厚度终点检测装置，属于集成电路化学机械抛光工艺设备技术领域。该装置包括电涡流传感器、导电滑环、导电定环、多频信号发生单元、前置电路以及含有数据处理与控制程序的计算控制单元。电涡流传感器安装在抛光机的抛光台内且与工件对应的抛光垫下方的一个阶梯孔内，该电涡流传感器包括线圈、壳体和压紧螺母。多频信号发生器为电涡流传感器提供激励信号；因金属膜厚度变化引起的电涡流传感器的电感变化信号经前置电路、导电滑环和导电定环输入到计算控制单元。本发明可克服由振动引起的提离值变化对终点检测的影响，提供准确的终点检测；同时电涡流传感器安装拆卸方便，且可解决因电涡流传感器的安装间隙所引起的抛光液的渗漏问题。
- 涡流金属膜厚度终点检测装置
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