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[实用新型]一种冰乙酸废液回收装置-CN202223331862.1有效
发明人：彭家辉;潘阳 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B01D3/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种冰乙酸废液回收装置,包括间歇共沸蒸馏釜、送料泵、精馏釜、第一废料收集单元、第二废料收集单元、冰乙酸收集单元和连接管道；间歇共沸蒸馏釜顶部设有废液进料口、加料口和第一填料塔，第一填料塔的出料口通过连接管道与第一废料收集单元相连，间歇共沸蒸馏釜底部设有中间物排液口；精馏釜顶部设有中间物进料口和第二填料塔，中间物排液口通过连接管道与中间物进料口相连，连接管道中间处设有一送料泵，第二填料塔的出料口通过连接管道与第二废料收集单元相连，精馏釜底部设有冰乙酸排出口，冰乙酸排出口通过连接管道与冰乙酸收集单元相连。本装置提纯冰乙酸所需能耗低，且能去除有机杂质，得到的冰乙酸纯度较高。
一种冰乙酸废液回收装置

[发明专利]一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺-CN202310218379.2有效
发明人：彭家辉;王建荣;王博宇 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B01D36/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺,该设备包括撬装式底座，撬装式底座上安装有散化结构、物理分离机构、以及蒸馏组件，物理分离机构对打散处理后的废液进行析滤处理；而且物理分离机构在其内部的压强增加到预设值时，可改变废液在其内部的流动方向，并冲击堵塞的微粒，以使堵塞的微粒连通同废液一起排出，达到反冲洗清理排污目的；本发明中通过物理分离机构内部的压强来表征其内部的堵塞情况，并在其内部压强增加到预设值时，自动排出微粒和部分废液；而在微粒连同废液排出的过程中，物理分离机构的内部压强减小；在内部压强恢复到初始值时，整个物理分离机构再恢复到正常析滤处理状态。
一种剥离液散化离纯设备工艺

[发明专利]一种铝合金化抛添加剂及其制备方法-CN202310189952.1在审
发明人：彭爱兵;冷传凯;金政 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司;苏州市嘉烁化工科技有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23F3/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝合金化抛添加剂及其制备方法，化抛添加剂按重量份数包括磷酸75‑80份、硫酸6‑15份、缓蚀剂3‑5份、增效剂3‑8份、络合剂1.5‑2份、润湿剂1‑1.5份和光亮剂0.8‑1.5份。本发明中缓蚀剂和增效剂复配，通过阴离子性质的十二烷基磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠和十二烷基硫酸钠等改变金属表面的电荷分布和界面性能，在铝合金表面形成吸附膜，使腐蚀速度减慢，获得光泽度更加均匀，并通过阴离子表面活性剂产生的气泡阻碍双酸对铝合金表面的腐蚀，提高缓释效果，且本品环保安全，不含如镍、硝酸、硝酸盐等环境有害物质。
一种铝合金添加剂及其制备方法

[发明专利]一种铝合金化抛防冲孔添加剂及其制备方法-CN202310230883.4在审
发明人：彭爱兵;冷传凯;金政 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司;苏州市嘉烁化工科技有限公司
申请日： 2023-03-11 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C23F3/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝合金化抛防冲孔添加剂及其制备方法，铝合金化抛防冲孔添加剂按重量份数包括分散剂8‑12份、润湿剂5‑10份、脂肪酸1‑3份、增稠剂1‑3份、阴离子表面活性剂0.5‑3份、消泡剂0.5‑2份和水60‑70份。本发明加入消泡剂防止气泡产生，具有消泡抑泡的作用，减少气蚀作用，并加入增稠剂提高工作液粘度，协同消泡剂减少气泡的产生，且降低气泡在破裂时作用于铝合金的表面或孔洞处的能量，降低了气蚀影响，提高了铝合金表面和孔洞处的处理效果，提高了处理的一致性。
一种铝合金化抛防冲孔添加剂及其制备方法

[发明专利]一种缓释溶氧量配制显影液的共聚器及其使用方法-CN202310382427.1在审
发明人：王建荣;王博宇;刘伟 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B01J19/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种湿电子化工技术，具体是一种缓释溶氧量配制显影液的共聚器及其使用方法,该共聚器包括了用于供各试剂共聚配制并定容形成显影液的罐体结构、辅助混合机构、以及缓释溶氧机构；辅助混合机构用于在罐体结构内通过机械搅拌的方式促进各试剂依次与显影剂充分混合反应；缓释溶氧机构用于从罐体结构的底部通入氮气。通过设置的辅助混合机构可加快各试剂与显影剂的溶解速率，缓释溶氧机构从罐体结构的底部通入保护气体氮气，氮气在辅助混合机构的作用下均匀地充斥于溶液中，溶液中的多余而无法溶解的氮气会带走部分原先溶解于溶液中的氧气，使得部分氮气和少量氧气从溶液中溢出，确保最终制得的显影液中的含氧量降低。
一种缓释溶氧量配制显影液共聚及其使用方法

[发明专利]一种环保型铝合金中性除油剂及使用方法-CN202310167476.3在审
发明人：彭爱兵;冷传凯;金政 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司;苏州市嘉烁化工科技有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23G1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种环保型铝合金中性除油剂及使用方法，其中环保型铝合金中性除油剂按重量份数包括阴离子表面活性剂10‑20份、非离子表面活性剂10‑15份、两性离子表面活性剂10‑20份、硫酸盐2‑7份、络合剂2‑5份和水40‑60份。本发明利用阴离子表面活性剂、非离子表面活性剂和两性离子表面活性剂复配，形成混合胶束实现分散、乳化的基础上，具有防返沾效果，并与中性的硫酸盐实现协同增效，提高除油能力，而且本发明的除油剂不含P、以及烷基酚聚氧乙烯醚等物质，具有优异的环保属性。
一种环保铝合金中性使用方法

[发明专利]一种金属低蚀刻率光刻胶剥离液组合物及其应用-CN202211562928.X在审
发明人：潘阳 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属低蚀刻率光刻胶剥离液组合物,由以下重量百分含量的原料组成：65‑75wt％的芳香烃溶剂,20‑35wt％的乙酰胺,0.1‑1wt％的金属缓蚀剂,0.1‑5wt％的增溶剂和0.1‑5wt％的螯合剂。本发明还公开了所述金属低蚀刻率光刻胶剥离液组合物的应用。本发明提供的光刻胶剥离液对晶圆上的基材金属蚀刻率低，能兼容去除市场上多数种类的光刻正胶和光刻负胶。
一种金属蚀刻光刻剥离组合及其应用

[发明专利]一种工业用化学液体自动包装机器-CN202011579709.3有效
发明人：刘龙源 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B67B3/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种包装机器，尤其涉及一种工业用化学液体自动包装机器。要解决的技术问题：提供一种可自动的将瓶盖旋紧在瓶子上的工业用化学液体自动包装机器。技术方案是：一种工业用化学液体自动包装机器，包括有：底座，底座顶部设有第一安装板；旋转机构，底座顶部一侧设有旋转机构；旋盖机构，底座顶部另一侧设有旋盖机构。通过设置的旋转机构和旋盖机构之间的配合，工作人员将瓶子与瓶盖放好后，便可自动的将瓶盖旋紧，无需人工对其转动；通过使滑动板、第二安装板和L形杆不断的左右移动，便可自动的推动瓶子向左移动进行旋瓶盖工作，无需人工推动瓶子。
一种工业化学液体自动包装机器

[实用新型]一种化工废气处理装置-CN202223331843.9有效
发明人：彭家辉;潘阳 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B01D53/76 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化工废气处理装置,包括两尾气洗涤塔和尾气管道,尾气洗涤塔内部中空,其底部设有一储水池,一循环泵和若干给水管道,给水管道末端设有若干超氧微纳米气泡发生喷淋，储水池和循环泵通过给水管道与超氧微纳米气泡发生喷淋相连，超氧微纳米气泡发生喷淋位于进气口的上方，加药泵通过给水管道向储水池提供酸/碱液,并在尾气洗涤塔内形成酸/碱液循环。本实用新型能够彻底去除废气中的酸性和碱性气体，以及有机气体，从而能够更好的保护环境。
一种化工废气处理装置

[实用新型]一种蚀刻液混配及储存装置-CN202223331861.7有效
发明人：彭家辉;潘阳 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B65D88/74 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蚀刻液混配及储存装置，包括：控制面板、用于输送蚀刻液的送料管道以及若干储液罐，送料管道设置在控制面板与储液罐之间，送料管道上设有一多滤芯管道过滤器和一送料泵，储液罐底部设有搅拌器，控制面板上设有若干进/出液口、送料泵开关和搅拌器开关，送料管道的首端与其中一进/出液口相连，送料管道的末端与一储液罐的管口相连,送料泵开关和搅拌器开关分别通过电路与送料泵和搅拌器相连。解决了现有蚀刻液大批量配制难的技术问题，同时本装置操作方便，控制面板上能够显示各部件的运行状态、蚀刻液的相关信息，使操作者一目了然。
一种蚀刻液混配储存装置

[发明专利]一种用于制备亲水性表面硅片的碱性抛光液组合物-CN202111161133.3在审
发明人：刘志彪;王建荣;潘阳 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制备亲水性表面硅片的碱性抛光液组合物，包括研磨颗粒、表面处理剂、PH调节剂、分散剂、表面活性剂及水。其组分按重量百分比计包括：20~40%研磨颗粒，6~12%的表面处理剂，PH调节剂，4~10%的分散剂，0.01~0.1%非离子表面活性剂以及余量纯水。本发明提供的抛光液用于集成电路硅晶圆的抛光过程的精抛阶段，集成电路硅晶圆片经过粗抛后，再经本发明所涉及的抛光液进行精抛，得到最终的抛光硅晶圆片。本发明提供的抛光液在对硅晶圆抛光后，可在硅片表面生成亲水膜，形成亲水性抛光面，能有效降低硅片表面的颗粒水平，提高产品质量，此外本发明所涉及的抛工艺成熟，过程简单，硅片表面处理效果佳。
一种用于制备亲水性表面硅片碱性抛光组合

[实用新型]一种酸性废气中和处理装置-CN202120654987.4有效
发明人：王建荣 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：一种酸性废气中和处理装置，包括液封罐和喷淋罐，液封罐与喷淋罐之间通过连接管相互连接，液封罐上表面设有废气输入管，内部设有碱性液，喷淋罐侧方设有循环水泵，内部设有水箱，喷淋管穿过喷淋罐外侧表面与其相互连接，水箱、循环水泵与喷淋管之间通过循环管相互连接，喷淋罐上表面设有废气输出管；本申请通过废气输入管将酸性废气排放至液封罐中，对酸性废气进行初次中和，之后再从连接管进入喷淋罐，通过循环水泵抽取水箱内的碱性液对酸性废气进行喷淋中和，达到提高作业效率，保证作业质量的有益效果。
一种酸性废气中和处理装置

[发明专利]一种水系剥离液组合物及使用方法-CN202010476190.X在审
发明人：张建;潘阳;朱敏 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种水系剥离液组合物，包括去离子水、有机季胺化合物、有机醇胺、有机剥离溶剂、缓蚀剂、螯合助剂，并同时提供了所述一种水系剥离液组合物的使用方法，本发明主要用于去除微电子制造过程中光刻胶残留物，操作温度较低，能耗较少，在对晶圆清洗后无需IPA或NMP等中间溶剂浸泡就可以用水直接漂洗，而且由于不会对金属尤其是铝和铜造成腐蚀，安全环保，有效的降低的清洗成本。同时由于采用了多种具有协同效应的缓蚀剂成分，能非常有效的保护金属基底不受腐蚀，另外，本发明的剥离液配方本身就是一个缓冲体系，保证了剥离液在长时间清洗过程中的稳定，具有较强的使用寿命。
一种水系剥离组合使用方法

[实用新型]一种加热搅拌装置-CN202120654993.X有效
发明人：王建荣 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：一种加热搅拌装置，包括加热底板，加热底板上表面侧边设有立杆，立杆外侧表面为圆弧形结构，并与其相互垂直滑动连接设有横杆，横杆上表面设有电机，下底面连接设有传动轴，传动轴端部通过搅拌连接杆与搅拌扇叶相互连接，立杆外侧表面设有套筒，套筒外侧表面通过连接杆与反应釜相互固定连接，反应釜与连接杆相互旋转连接，其底面为平面结构；本申请通过电机带动搅拌扇叶对反应釜内的硝酸钾进行搅拌，同时通过加热底板对反应釜进行加热，通过该方式达到了提高作业效率，保证作业质量的有益效果。
一种加热搅拌装置

[实用新型]一种卸料保护装置-CN202120654990.6有效
发明人：王建荣 -专利权人： 昆山欣谷微电子材料有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B67D7/32 文献下载
摘要：一种卸料保护装置，包括容器，容器底部设有称重装置，顶部设有卸料管，卸料管上设有电磁阀，容器内部设有液位计，控制箱与电磁阀、液位计和称重装置相互电连接；本申请在卸料时将电磁阀打开，通过卸料管对容器内进行卸料，在卸料过程中，称重装置和液位计时刻对容器的重量和卸料的液位高度进行检测，当超过一定的数值时，则通过控制箱控制电磁阀自动关闭，停止卸料作业，通过该方式达到了保证作业安全的有益效果。
一种卸料保护装置

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