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[实用新型]下电极结构及半导体工艺设备-CN202223531992.X有效
发明人：李岩;茅兴飞;戴庚霖;杨纪鹏;姚卫杰;杨延铭 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种下电极结构及半导体工艺设备，下电极结构，应用于半导体工艺设备，下电极结构包括静电卡盘、绝缘盘、转接盘、进液管和出液管，静电卡盘设置在绝缘盘上，绝缘盘设置在转接盘上；绝缘盘中设置有进液通道和出液通道，静电卡盘中设置有冷却通道，冷却通道与进液通道和出液通道密封连通，进液管和出液管均与转接盘连接，且进液管与进液通道连通，用于通过进液通道向冷却通道输送冷却介质，出液管与出液通道连通，用于将冷却通道中的冷却介质排出。本实用新型提供的下电极结构及半导体工艺设备，能够减少零部件数量，缩短尺寸链，从而能够简化结构，降低加工精度，便于拆装维护，提高密封稳定性，降低成本。
电极结构半导体工艺设备

[发明专利]一种可快速连接的矿用本安接线盒-CN202110288135.2有效
发明人：朴明波;戴庚霖;孙宝志;刘猛;朴禹璇 -专利权人：辽宁工程技术大学
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H01R13/627 文献下载
摘要：本发明涉及一种可快速连接的矿用本安接线盒。包括上盖组件、外壳组件、快速接线端子排组件，快速接线端子排组件安装在外壳组件中，上盖盖住外壳组件，形成一个密封腔。本发明的矿用本安接线盒，可以使用于煤矿井下有粉尘及气体爆炸危险的环境中的本安线路的接线，克服了传统的本安接线盒接线繁琐、耗时的缺点，具有操作简单、接线快速的特点。
一种快速连接接线

[发明专利]用于产生等离子体的线圈结构及半导体工艺设备-CN202210586916.4在审
发明人：赵晋荣;茅兴飞;王松;姚卫杰;杨纪鹏;陈星;韦刚;陈国动;王伟;李岩;戴庚霖;杨延铭 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种用于产生等离子体的线圈结构及半导体工艺设备，该线圈结构中，每个线圈单元均包括M个线圈组，M为大于等于4的整数；M个线圈组的结构相同，且相互并联；M个线圈组中的各层所述平面线圈一一对应地同层设置，并且位于同一层的M个平面线圈沿平面线圈的圆周方向相互间隔，且均匀分布；线圈组包括相互平行的N层平面线圈，N为大于等于4的偶数；N层平面线圈沿垂直于平面线圈所在平面的方向间隔设置，且依次首尾串接；每相邻两层平面线圈在平面线圈所在平面上的正投影呈镜像对称。本发明的技术方案，既可以提高在线圈在其下方产生的耦合能量在径向、角向上的分布均匀性，又可以提高线圈的整体耐压能力，从而可以实现大功率馈入。
用于产生等离子体线圈结构半导体工艺设备

[发明专利]一种半导体工艺设备及其下电极装置-CN202211032710.3在审
发明人： 戴庚霖;茅兴飞;李岩;王松;刘晓行;王伟;杨纪鹏;杨延铭;姚卫杰 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体工艺设备及其下电极装置，涉及半导体制造领域，其中设置了连接机构，连接机构中的射频转接件将射频传输件与卡盘电连接，射频通过射频传输件和射频转接件馈入卡盘中；连接机构中的第一转接线路将第一线缆输出的第一交流电信号导入卡盘中的第一加热元件，进而实现卡盘的加热功能。射频转接件与卡盘之间具有屏蔽腔，第一电路转接板设置在屏蔽腔中，避免了射频对第一电路转接板的干扰。本申请取消了陶瓷绝缘盘与卡盘之间的树脂转接盘，由第一电路转接板对转接电路进行支撑和固定。树脂转接盘所在空间由空气填充，空气的介电常数小于树脂的介电常数，可减小卡盘的对地电容。
一种半导体工艺设备及其电极装置

[发明专利]半导体工艺设备-CN202210574363.0在审
发明人：茅兴飞;杨纪鹏;杨瑞;李岩;陈星;金光浦;王伟;戴庚霖;姚卫杰;杨延铭 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请公开一种半导体工艺设备，涉及半导体技术领域，半导体工艺设备包括工艺腔室、介质窗、射频腔室和气流引入装置，介质窗设于工艺腔室的上方，射频腔室设置于工艺腔室上方，且介质窗朝向射频腔室的内部，射频腔室设有通气口，在气流引入装置的作用下，外部气体由通气口进入射频腔室内，并在射频腔室内自上而下流向介质窗的控温气流，射频腔室的侧壁开设有散热孔。如此设置，即使介质窗处于高功率射频条件下，采用该半导体工艺设备能够对介质窗快速降温，使介质窗降温至适宜温度范围内。
半导体工艺设备

[发明专利]一种遥控的背肩腰部按摩设备-CN201911158320.9有效
发明人：朴明波;杨伟红;徐广明;戴庚霖 -专利权人：辽宁工程技术大学
申请日： 2019-11-22 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： A61H15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种遥控的背肩腰部按摩设备，包括按摩设备主体和摇杆式遥控器，按摩设备主体包括机架组件；一维运动组件，穿过转动支撑座并伸入到机架组件的内部；二维运动组件，安装在机架组件的上板上并与一维运动组件的顶部连接；按摩组件，安装在一维运动组件的位于机架组件内的端部，用于对人的背肩腰部进行按摩。本发明通过二维驱动组件的两个长推杆轴的运动，带动一维运动组件底部的按摩组件在三维空间移动，并通过一维运动组件的短推杆轴的伸出长度和往复运动范围使按摩组件适应于不同人群，另外加上弹簧的作用使按摩组件随着人体形状的改变而改变，更好的与人体接触并进行滚动按摩，具有安装简单、操作简易、价格低廉、维护方便的特点。
一种遥控腰部按摩设备

[发明专利]一种家用的手动可调节式背部按摩装置-CN201911158132.6在审
发明人：杨伟红;朴明波;徐广明;戴庚霖 -专利权人：辽宁工程技术大学
申请日： 2019-11-22 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： A61H7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种家用的手动可调节式背部按摩装置，包括由上板、侧板和下板组成的框架和位于所述框架上的转动支撑座；按摩杆组件，穿过所述转动支撑座并伸入到所述机架组件的内部，其伸入到机架组件内部的长度可以调节；按摩头组件，安装在按摩杆组件的位于机架组件内的端部，用于对人的背部进行按摩；弹力调节组件，安装在所述转动支撑座和按摩头组件之间，用于对所述按摩头组件施加弹力，并对所述按摩头组件施加的弹力进行调节。本发明的家用的手动可调节式背部按摩装置可以通过调节弹簧挡板的位置改变弹簧的预压缩量以改变弹力，通过调节限位挡块来调节按摩杆的伸出长度，可以使用于不同年龄和体型的人群，具有安装简单、操作简易的特点。
一种家用手动调节背部按摩装置

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