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[发明专利]基板处理装置的排程制作方法以及存储介质-CN201680064974.3有效
发明人： 山本真弘 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2016-10-13 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：控制部51在对某基板W配置使用处理部SPIN1～SPIN12的资源的处理时，在处理部SPIN1～SPIN12的维护处理达到寿命的情况下，基于由用户预先设定的优先设定，在优先设定为基板处理优先的情况下，配置基板W的处理，在优先设定为维护优先的情况下，在基板W的处理前配置维护处理。因此，能够进行反映用户对于优先处理的期望的处理。
处理装置制作方法以及存储介质

[发明专利]基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法-CN201980058138.8在审
发明人：桥本光治;清水进二;堀口博司;山本真弘 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于，减少在进行基板处理的装置、系统以及方法中使用的数据量。为了达到上述目的，基板处理装置具有：一个以上的处理单元，对基板进行处理；以及一个以上的运算处理部。一个以上的运算处理部通过使用以分别规定与在一个以上的处理单元中对基板实施的处理相关的处理的条件的多个处理规程中的两个以上的处理规程组合，来制作用以规定关于基板的一连串的处理的流程的流程规程。多个处理规程包括分别既定使用处理液对基板实施的处理的条件的多个液体处理规程。
处理装置系统以及方法

[发明专利]基板处理装置以及基板处理系统-CN201980045760.5在审
发明人：桥本光治;清水进二;堀口博司;山本真弘 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于提升基板处理装置以及基板处理系统的各个处理单元中的处理的精度。基板处理装置具有多个处理单元、搬运单元、多个传感器部、存储部以及一个以上的控制单元。多个处理单元根据规定处理的条件的规程对基板实施处理。搬运单元将一组基板中的多个基板依次搬运至多个处理单元。多个传感器部取得关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的信号。存储部基于多个传感器部所取得的信号，存储关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的数据组。一个以上的控制单元针对使用一个以上的处理单元对一组基板中的至少一片以上的基板进行的处理，基于数据组修正规程的至少一部分。
处理装置以及系统

[发明专利]火花塞-CN201710102885.X有效
发明人： 山本真弘;中川敬太 -专利权人：日本特殊陶业株式会社
申请日： 2017-02-24 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： H01T13/34 文献下载
摘要：一种火花塞，用于提高耐提前点火性能。该火花塞具备：中心电极，沿轴线的方向延伸；绝缘体，具有沿轴线的方向贯通的轴孔并在轴孔内保持中心电极；主体配件，配置在绝缘体的径向的周围并保持绝缘体；和接地电极，与主体配件电连接并在与中心电极之间形成间隙。主体配件具备在装配于内燃机时向内燃机的燃烧室内露出的前端筒部，前端筒部具有从外周面贯通到内周面并供吸入到燃烧室内的气体通过的贯通孔，所述火花塞的特征在于，在从贯通孔的外周面侧的第一开口向贯通孔的内周面侧的第二开口观察时，能够目视确认绝缘体的前端缘。
火花塞

[发明专利]基板处理装置、程序以及基板处理方法-CN201380037331.6有效
发明人： 山本真弘 -专利权人：斯克林集团公司
申请日： 2013-06-25 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供一种抑制基板处理效率下降，并且降低因开放密封容器而导致容置在内部的基板受到的破坏的技术。基板处理装置(1)具有密封容器(11)，其具有在内部容置基板(9)的空间，并形成有用于搬入或者搬出基板(9)的开口(121)；开闭机构(17)，开闭开口(121)；基板处理部(30)，对基板(9)进行清洗处理；以及，第一搬运机械手(IR1)，将基板(9)搬入搬出密封容器(11)。另外，基板处理装置(1)具有进度表创建部(401)，该进度表创建部(401)根据基板处理部(30)处理基板(9)的处理时间，创建规定了开闭机构(17)开闭开口(121)的时机以及基板搬运部(20)向密封容器(11)搬入基板(9)或者从密封容器(11)搬出基板(9)的时机的进度表数据(441)。
处理装置程序以及方法

[发明专利]基板处理装置的计划生成方法及其程序-CN200810136129.X有效
发明人： 山本真弘;山田大吾 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2008-07-10 - 公布日： 2009-04-01 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置的计划生成方法及其程序。在通过具有多个用于对基板实施处理的处理部的基板处理装置来处理多个批组时，控制部为了按照包含有多个处理工序的处理次序在各处理部中顺次处理各批组而确定各批组的处理顺序，所述方法包括以下步骤。即，执行基本配置方法和第一配置方法，从而生成多个计划的步骤，以及在生成所述多个计划的同时，从其中选择在规定时间内完成了计划的一个计划的步骤；上述的两步骤由所述控制部执行。
处理装置计划生成方法及其程序

[实用新型]基板处理装置-CN200720005970.6无效
发明人： 山本真弘 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-03-29 - 公布日： 2009-01-21 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基板处理装置，其具有：处理部；以及控制部，其特征在于，前述控制部具有时序安排部，其能够生成在伴有附随液体更换处理的特定处理工序与定期液体更换处理在时间上重叠或相邻或接近的情况下删除前述定期液体更换处理而优先配置前述特定处理工序的时序表。因此，可以防止附随液体更换处理与定期液体更换处理在短时间内进行，即使是在处理中有附随液体更换处理的情况也能够防止处理液的浪费。
处理装置

[实用新型]基板处理装置-CN200720000398.4无效
发明人： 山本真弘 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-03-28 - 公布日： 2008-12-24 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型的基板处理装置具有：多个处理部，其用于对基板进行处理；预备单元，其进行在处理部中使用的处理液的准备；以及控制部。前述控制部具有：时序安排部，其对应于包括多个处理工序的工艺处方，生成时序表；以及预备单元时序安排部，其与时序安排部连接，参照前述时序安排部生成的时序表，生成前述预备单元的时序表，以使前述预备单元中的准备处理所需时间与前述处理部的使用定时配合而提前进行配置。通过将预备单元的准备处理纳入时序表，在进行处理液的准备处理的情况下，也可以提高装置的运转率。
处理装置

[实用新型]基板处理装置及其控制装置-CN200720140104.8无效
发明人： 山本真弘 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-03-27 - 公布日： 2008-03-05 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：通过允许批次向替代处理部调换，即使在处理部发生异常的情况下也可以防止运转率下降。对于按照对发生异常的优先处理部指定替代处理部的工艺处方进行处理的第2批次，以调换到替代处理部进行第2批次的处理的方式，控制部(25)变更时序表，同时控制部(25)按照该变更后的时序表继续执行第2批次的处理。因此，由于即使优先处理部发生异常，也不必使从第1批次到第3批次的所有批次停止处理，因而可以防止基板处理装置的运转率下降。
处理装置及其控制

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