专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]含硅层形成组合物和使用其制造带图案的基板的方法-CN201980015743.7在审
  • 中辻惇也;山中一广 - 中央硝子株式会社
  • 2019-02-21 - 2020-10-20 - G03F7/11
  • 本发明提供一种含硅层形成组合物,其用于形成在多层抗蚀法中的曝光时具有防反射功能,在干蚀刻时对于氟系气体的等离子体的蚀刻速度快且对于氧系气体的等离子体的蚀刻速度慢的含硅层。一种含硅层形成组合物,其包含:含有式(1)所示结构单元的聚硅氧烷化合物(A)以及溶剂(B)。[(R1)bR2mSiOn/2n/2](1)[式中,R1为下式所示的基团。(a为1~5的整数。波浪线表示交叉的线段为结合键。)R2各自独立地为氢原子、碳原子数1以上且3以下的烷基、苯基、羟基、碳原子数1以上且3以下的烷氧基、或者碳原子数1以上且3以下的氟烷基,b为1~3的整数,m为0~2的整数,n为1~3的整数,b+m+n=4。]
  • 含硅层形成组合使用制造图案方法

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