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[发明专利]一种电主轴角接触球轴承预紧力调节机构-CN201710705764.4有效
发明人：张珂;安爱博;王子男;白晓天 -专利权人：沈阳建筑大学
申请日： 2017-08-17 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B23B19/02 文献下载
摘要：发明公开了一种电主轴转子轴承预紧力自动调节机构，孔用弹性挡圈、角接触球轴承、挡油环依次套装在主轴上，三层套筒安装于成对安装的轴承之间，非接触式温度传感器安装于轴承与挡油环之间，角加速度振动传感器安装于电主轴末端，喷油嘴安装于轴承外侧一面。压电陶瓷驱动电源、接插件、油接咀和水接咀安装在电主轴尾部的端盖上。压电陶瓷驱动电源通过线路与两个环形堆叠压电陶瓷套筒相连接。本发明的技术方案通过良好的自动调节预紧力技术，有效调节电主轴轴承的预紧力，调控电主轴温升，降低噪声，提高轴承的支撑精度、旋转精度、寿命，从而提高电主轴的动态性能，提高应用电主轴单元的机床的加工精度和工作效率。
一种主轴接触球轴承预紧力调节机构

[实用新型]一种边抛液pH值自动调节装置-CN202120638775.7有效
发明人： 安爱博;张晋英;张碧波;严政先;许普增;李文磊;赵欣;董建斌;徐小占;宋春明;边卓利;田浩;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种边抛液pH值自动调节装置，包括架体、安装在架体上的边抛液液箱、氢氧化钾补液箱；架体包括第一放置板、第二放置板，第二放置板位于第一放置板上方，边抛液液箱放置在第一放置板上通过第一夹紧组件固定，氢氧化钾补液箱放置在第二放置板上通过第二夹紧组件固定，边抛液液箱与氢氧化钾补液箱之间通过控制阀组连接。本实用新型所述的pH值自动调节装置，增加了边抛液自动调节pH的功能、降低了辅料成本、避免了频繁换液和补液和人工成本、易于制造、故障率低、安全可靠、节能环保、便于操作。
一种边抛液 ph 自动调节装置

[实用新型]一种硅片下料装置-CN202121747377.5有效
发明人：宋春明;张晋英;王洪亮;严政先;安爱博;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B65G47/82 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片下料装置，包括机架、横支撑臂、竖支撑臂、推板、陶瓷板底座，所述横支撑臂通过Y轴直线运动组件与机架配合安装，所述竖支撑臂一端通过Z轴直线运动组件与横支撑臂配合安装，另一端设有推板，所述推板与竖支撑臂之间设有缓冲组件，所述陶瓷板底座设置于推板下方，所述陶瓷板底座下端面通过转动组件与机架配合安装。本实用新型有益效果：该装置可以取代人工下料，提高了工作效率，缓冲组件可以减少推板下压过程中对陶瓷板造成的损伤，延长了陶瓷板的使用寿命。
一种硅片装置

[实用新型]一种硅片脱胶清洗机上料装置-CN202121747409.1有效
发明人：严政先;张晋英;李文磊;安爱博;赵欣;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片脱胶清洗机上料装置，包括机架、夹爪、清洗槽、横支撑臂、竖支撑臂，所述竖支撑臂底端通过X轴直线运动组件与机架配合安装，所述横支撑臂一端通过Z轴直线运动组件与竖支撑臂配合安装，另一端通过转动组件与夹爪配合安装，所述清洗槽设置于夹爪下方。本实用新型有益效果：实现了硅片清洗以及脱胶清洗机上料的机械化运行，操作过程不需要人工手动搬运，降低了生产成本、提高了生产效率和产品合格率。
一种硅片脱胶清洗机上料装置

[实用新型]一种贴片机防飘片检测装置-CN202121340261.X有效
发明人：张晋英;安爱博;许普增;刘子申;严政先;赵欣;郭会波;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种贴片机防飘片检测装置，包括陶瓷盘、贴片机和图像采集单元，陶瓷盘上表面形成用于放置硅片的放置区，贴片机设置在陶瓷盘的上方，用于向陶瓷盘上放置硅片；图像采集单元包括摄像头和图像处理系统，摄像头设置在陶瓷盘上方，摄像头与图像处理系统连接。本实用新型有益效果：一种贴片机防飘片检测装置增加了贴片机防飘片的检测功能，改系统易于制造、故障率低、安全可靠、便于操作；经过车间现场实际使用效果得知，该系统能有效避免因贴片机飘片而造成硅片碎裂，抛光垫、陶瓷盘、中心导轮、边导轮、抛光机大盘等部件的损坏，规避了巨大的经济损失和减少了维修工时。
一种贴片机防飘片检测装置

[实用新型]一种精抛液回收装置-CN202120851181.4有效
发明人： 安爱博;李文磊;严政先;许普增;赵欣;张晋英;张碧波;边卓利;刘子申;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本发明创造提供了一种精抛液回收装置，包括分液盒，用于向分液盒内排精抛液的分液管，以及控制分液管旋转的旋转组件；分液盒安装在机台安装板其中一侧壁上，分液管通过旋转组件转动安装在机台安装板另一侧壁上，分液管贯穿机台架后延伸至分液盒上方。本发明创造所述的一种精抛液回收装置通过分液盒对精抛液进行回收，回收后供中抛机的中抛工艺二次利用，节省材料，节省成本。
一种精抛液回收装置

[实用新型]一种硅片去边机新型暂存台-CN202120280601.8有效
发明人： 安爱博;边卓利;严政先;左严;郭会波;李文磊;董建斌;赵欣;卢健;许普增;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片去边机新型暂存台，包括安装座和台板，所述安装座与去边机台面固定安装；所述支撑台通过升降柱安装于安装座的上方，所述升降柱为多根并等间距设置，通过多根升降柱调节台板的高度和水平度。本实用新型所述的硅片去边机新型暂存台能够显示吸盘吸取硅片时，对暂存台不同方位的压力数值，可根据此压力数值，进行暂存台倾角的调整，使得调节过程可视化、数字化，也能够使调节更加准确。
一种硅片去边机新型暂存

[实用新型]一种硅片背封机定心台-CN202120847442.5有效
发明人： 安爱博;李文磊;严政先;左严;郭会波;张晋英;张碧波;边卓利;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片背封机定心台，包括安装支架、定位块，定位块与安装支架可拆卸连接；定位块上表面向下凹陷形成用于放置硅片的定位槽；所述定位槽在定位块上设有多个。本实用新型有益效果：本实用新型所述的一种硅片背封机定心台能够实现多种不同尺寸的硅片的定心、易于制造、故障率低、安全可靠、便于操作；设置有检测装置，通过光电传感器感知定位块上是否放置硅片。
一种硅片背封机定心

[实用新型]一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板-CN202120852168.0有效
发明人： 安爱博;李文磊;严政先;左严;郭会波;张晋英;张碧波;边卓利;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片背封机用兼容托盘及兼容顶针托板，包括托盘、放置在托盘上的硅片、以及用于推动硅片上升的顶升机构，顶升机构包括顶针托板，安装在顶针托板上的顶针；托盘上设有多个顶针孔，顶针托板上设有滑槽，顶针通过顶针基座可调节安装在滑槽内，顶针贯穿顶针孔后将硅片顶起。本实用新型所述的硅片背封机能够实现一台背封机可以加工多种不同尺寸的硅片；增加了托盘和背封机的利用率，拓展了机台的加工能力；加工不同尺寸的硅片时，不用再频繁的更换托盘和机台；易于制造、故障率低、安全可靠、便于操作。
一种硅片背封机用兼容托盘顶针

[实用新型]一种超声波测量治具-CN202120856028.0有效
发明人： 安爱博;李文磊;严政先;张晋英;张碧波;徐小占;边卓利;李嘉蔚;赵欣;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超声波测量治具，包括架体，通过调节组件移动安装在架体上的移动座，以及通过横移组件移动安装在移动座上的超声测量探棒；架体两侧壁对称设有滑槽，调节组件对称安装在滑槽内，移动座设有两个，两个移动座对称安装在调节组件上，横移组件一端转动安装在其中一个移动座上，另一端贯穿另一个移动座后连接有调节头，超声测量探测棒通过探棒安装座安装在横移组件上。本实用新型所述的超声波测量治具通过调节组件与横移组件的配合，以及架体与横移组件上的刻度尺，从而实现超声测量探棒的准确位置调整，并且调节好位置后，不会自动移动能够使得每次测量的位置都一样，方便对测量结果进行比对和分析。
一种超声波测量

[发明专利]一种贴片机防飘片检测装置及方法-CN202110677440.0在审
发明人：李文磊;严政先;安爱博;赵欣;郭会波;刘子申;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种贴片机防飘片检测装置及方法，包括陶瓷盘、贴片机和图像采集单元，陶瓷盘上表面形成用于放置硅片的放置区，贴片机设置在陶瓷盘的上方，用于向陶瓷盘上放置硅片；图像采集单元包括摄像头和图像处理系统，摄像头设置在陶瓷盘上方，摄像头与图像处理系统连接。本发明有益效果：一种贴片机防飘片检测装置及方法增加了贴片机防飘片的检测功能，改系统易于制造、故障率低、安全可靠、便于操作；经过车间现场实际使用效果得知，该系统能有效避免因贴片机飘片而造成硅片碎裂，抛光垫、陶瓷盘、中心导轮、边导轮、抛光机大盘等部件的损坏，规避了巨大的经济损失和减少了维修工时。
一种贴片机防飘片检测装置方法

[发明专利]一种精抛液回收装置-CN202110444064.0在审
发明人： 安爱博;李文磊;严政先;许普增;赵欣;张晋英;张碧波;边卓利;刘子申;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本发明创造提供了一种精抛液回收装置，包括分液盒，用于向分液盒内排精抛液的分液管，以及控制分液管旋转的旋转组件；分液盒安装在机台安装板其中一侧壁上，分液管通过旋转组件转动安装在机台安装板另一侧壁上，分液管贯穿机台架后延伸至分液盒上方。本发明创造所述的一种精抛液回收装置通过分液盒对精抛液进行回收，回收后供中抛机的中抛工艺二次利用，节省材料，节省成本。
一种精抛液回收装置

[发明专利]一种硅片去边机新型暂存台-CN202110136961.5在审
发明人： 安爱博;边卓利;严政先;左严;郭会波;李文磊;董建斌;赵欣;卢健;许普增;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅片去边机新型暂存台，包括安装座和台板，所述安装座与去边机台面固定安装；所述支撑台通过升降柱安装于安装座的上方，所述升降柱为多根并等间距设置，通过多根升降柱调节台板的高度和水平度。本发明所述的硅片去边机新型暂存台能够显示吸盘吸取硅片时，对暂存台不同方位的压力数值，可根据此压力数值，进行暂存台倾角的调整，使得调节过程可视化、数字化，也能够使调节更加准确。
一种硅片去边机新型暂存

[实用新型]一种抛光机所用的新型抛光头及其治具-CN202020807518.7有效
发明人：张晋英;安爱博;张碧波;严政先;赵欣;郭旭;霍立强;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2020-05-14 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： B24B41/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种抛光机所用的新型抛光头及其治具，抛光头包括抛光头本体，所述抛光头本体底部装有压力分配环，所述抛光头侧壁上安装有拆卸压力分配环的拆卸件。治具包括治具本体，所述治具本体用于安装压力分配环的治具。本实用新型所述的抛光头本体侧面安装有拆卸压力分配环的四氟螺纹顶杆，四氟螺纹顶杆与抛光头本体螺纹连接，通过旋转四氟螺纹顶杆将压力分配环进行拆卸，实现了压力分配环的快速拆卸；通过治具实现了压力分配环的快速安装。
一种抛光机所用新型抛光及其

[实用新型]便携式手持电动理片器-CN202020466634.7有效
发明人： 安爱博;张晋英;张碧波;严政先;郭旭;李文磊;霍立强;郭会波;孙晨光 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种便携式手持电动理片器，包括手柄、理片辊，所述理片辊的一端与所述手柄转动连接，所述手柄包括手柄本体、电机和驱动电机工作的电源，所述电机、电源安装于所述手柄本体内部，所述电源与所述电机相连，所述手柄本体靠近所述电机的一端开有通孔，所述电机的输出轴通过通孔伸出到所述手柄本体外部与所述理片辊的一端固定连接。本实用新型所述的便携式手持电动理片器提高了工作的灵活性，简化了操作流程，也提高工作效率。
便携式手持电动理片器

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