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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]真空镀膜设备中避免粉尘微粒附着的遮挡装置及组装方法-CN202310655276.2在审
发明人：蔡明慧;娄国明;徐建柱;沈纬徵 -专利权人： 安徽越好电子装备有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空镀膜设备中避免粉尘微粒附着的遮挡装置及组装方法，包括：主遮挡组件，包括多块呈矩阵式排列的遮板，每块遮板的背面均带有沿横向延伸的滑轨，相邻遮板之间形成沿横向延伸的第一缝隙以及沿纵向延伸的第二缝隙；辅助遮挡组件，设置在所述主遮挡组件的背侧，包括多个与所述滑轨配合的滑块，用于遮蔽所述第二缝隙。本申请第一缝隙和第二缝隙均被遮挡，避免靶材原子微粒直接附着于腔体的内侧面。本申请形成遮罩的遮板呈矩阵式排列，降低了对遮板面积的要求，有助于遮板的存放运输和安装。
真空镀膜设备避免粉尘微粒附着遮挡装置组装方法

[发明专利]真空镀膜设备-CN202310655269.2在审
发明人：蔡明慧;娄国明;徐建柱;沈纬徵;郑博鸿 -专利权人： 安徽越好电子装备有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请公开了一种真空镀膜设备，包括：真空室，侧壁上设置有进出料口；可滑移的闸门，贴靠所述侧壁用于封闭关所述进出料口；滑轨，设置在所述进出料口的上方，具有长度方向和宽度方向；吊挂件，连接所述闸门将其挂载在所述滑轨上，所述吊挂件包括与所述滑轨配合的滑座，在闸门关闭所述进出料口的位置，所述滑座在宽度方向上与滑轨之间具有容许所述闸门脱离真空室侧壁的间隙。本申请先通过滑座与滑轨之间的间隙沿滑轨宽度方向滑动，使得闸门与真空室侧壁产生空隙即真空室进行破空，进一步的闸门不再由于负压被吸附住，两者进行脱离，最终能够省力的将闸门滑移开来。
真空镀膜设备

[发明专利]辊轴调节装置及真空卷绕镀膜设备-CN202310214862.3在审
发明人：郑博鸿;金逸奇 -专利权人： 安徽越好电子装备有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请公开了一种辊轴调节装置，包括：安装座；第一轴承座，与安装座万向转动配合；第一轴承，所述第一轴承为调心轴承，固定在所述第一轴承座上，并穿套在所述辊轴的第一位置；第二轴承座，活动装配于所述安装座；第二轴承，固定在所述第二轴承座上，并穿套在所述辊轴的第二位置；调节件，活动设置在所述安装座上，并作用于所述第一轴承座以调节其偏转方向和角度；锁紧件，待第一轴承座调整到位，用于将所述第二轴承座固定。本申请通过第一轴承座、调节件的配合实现辊轴位置的粗调，再实现平行度细调的效果。且调节过程中仅需在同一侧施力于调节件、锁紧件，调节方便，且节省安装空间，可适用于辊轴安装密集的设备中。
辊轴调节装置真空卷绕镀膜设备

[发明专利]薄膜真空镀膜设备-CN202310214873.1在审
发明人：郑博鸿;金逸奇 -专利权人： 安徽越好电子装备有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种薄膜真空镀膜设备，包括：真空镀膜腔；镀膜主辊，转动地装配在所述真空镀膜腔的中心位置，镀膜时用于支撑薄膜；多个内置阴极磁棒的阴极室，环绕所述镀膜主辊布置；离子源，设置于所述真空镀膜腔内；固定离子源的支架，可绕一平行所述镀膜主辊的轴线翻转，具有让离子源靠近所述薄膜的工作位置以及让所述离子源离开所述薄膜的待机位置；驱动装置，用于驱动所述支架，且与所述支架之间为可拆卸连接；承载组件，在所述支架处于待机位置并与所述驱动装置脱离时支撑所述支架。本申请的离子源与阴极室位于同一个真空镀膜腔，薄膜在离子束清洗后直接进入阴极室区域镀制，保证了整体镀膜效果，且离子源能便捷的取出，便于清洗。
薄膜真空镀膜设备

[实用新型]气体均匀分布的真空镀膜设备-CN202321407011.2有效
发明人：江嘉;娄国明;徐建柱;沈纬徵 -专利权人： 安徽越好电子装备有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请公开了一种气体均匀分布的真空镀膜设备，包括：镀膜腔，具有进料口和出料口；阴极室，内部设置旋转阴极，且具有朝向所述镀膜腔的开口；气体管路，置于所述阴极室内，且与所述旋转阴极并行布置；所述气体管路为多层管结构，每根管路的管壁上均设置有出气孔；阻挡件，布置在所述气体管路和旋转阴极之间，使气体迂回地扩散至所述旋转阴极。本申请的气体先后经过多次迂回，包括在多层管内部迂回扩散及沿阻挡件侧壁方向迂回扩散，不仅避免现有技术中出气孔直接朝向旋转阴极且出气孔附近气体浓度偏高的不利情况，且使得阴极室内空间尤其是气体管路与阴极室侧壁之间空间的气体分布更均匀。
气体均匀分布真空镀膜设备

[实用新型]用于固定待镀膜工件的基板架-CN202321407001.9有效
发明人：林佳全;娄国明;徐建柱;沈纬徵 -专利权人： 安徽越好电子装备有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于固定待镀膜工件的基板架，包括：下盖，用于承载所述待镀膜工件；上盖，包括使用时叠置在所述待镀膜工件上的工作区以及超出待镀膜工件的非工作区；锁止件，活动穿设在所述非工作区上，具有结合下盖限制上盖和下盖分离的锁止位置以及释锁位置；所述锁止件包括接受外力从释锁位置切换至锁止位置的操作部；第一弹性件，作用于所述锁止件，使其从锁止位置复位到释锁位置。本申请先通过锁止件限制上盖、下盖分离，再通过第一弹性件的弹性势能由缓渐增的释放方式将上盖、下盖夹紧，即基板架夹紧待镀膜工件的过程也是由缓渐增、逐步夹紧，避免了玻璃基本夹紧过程破损的不利影响，且锁止件的结构简单、施力方便、拆卸效率高。
用于固定镀膜工件基板架

[实用新型]真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮-CN202321407037.7有效
发明人：江嘉;娄国明;徐建柱;沈纬徵;郑博鸿 -专利权人： 安徽越好电子装备有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮，包括：输出轴；环形结构的外壳，包括外径均一的支撑部以及相对支撑部径向扩大的限位部；电绝缘件，嵌装于所述外壳的内孔中，并连接所述输出轴。本申请支撑部能够支撑基板架，限位部能够限制基板架爬坡脱离支撑部，电绝缘件嵌装于内孔连接至输出轴，实现了外壳和输出轴之间的电力绝缘。此时外壳材质不需采用陶瓷等绝缘材质，而可以选择耐磕碰的其他材质。本申请在满足驱动轮电力绝缘的基础上，解决了驱动轮易磕碰破碎的问题，降低了维护成本。
真空镀膜设备用于传送基板架驱动

[发明专利]中转室、磁控溅射镀膜系统和方法-CN202210594170.1有效
发明人：邱国维 -专利权人： 安徽越好电子装备有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于磁控溅射镀膜系统的中转室、磁控溅射镀膜系统和方法，其中所述中转室的侧壁上设置有多个供工件进出中转室的接驳口，所述中转室的内部设置有可绕一竖直轴线旋转的转动平台，所述转动平台上设置有接纳所述工件并将所述工件经接驳口移出所述中转室的转运装置。能够根据安装场地的不同，各单元室可以做出相应调整。
中转磁控溅射镀膜系统方法

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