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[发明专利]谐振器、电子元器件和谐振系统-CN202310323859.5在审
发明人： 孙丰沛;冯志宏;徐景辉;黄林海 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H03H9/205 文献下载
摘要：本申请公开了一种谐振器、电子元器件和谐振系统，属于微机电技术领域。所述谐振器包括第一子谐振器和多个第二子谐振器，所述第一子谐振器在振动中，在至少两个不平行的方向上具有形变，所述第一子谐振器在所述至少两个不平行方向上均连接有所述第二子谐振器，且所述至少两个不平行的方向上的形变均能使第一子谐振器和第二子谐振器耦合。进而，谐振器能兼顾Q值和Rm，能够具备较高的Q值和较低的Rm，另外，在设计阶段，还可以根据需求设计谐振器的TCF拐点温度，实现TCF拐点温度的定制化。
谐振器电子元器件谐振系统

[发明专利]谐振器和谐振系统-CN202310370697.0在审
发明人：冯志宏;孙丰沛;徐景辉;黄林海 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H03H9/205 文献下载
摘要：一种谐振器和谐振系统，属于器件技术领域。该谐振器包括：压电谐振部、单晶谐振部和耦合部。压电谐振部包括：依次叠加的第一电极、压电层和第二电极。当第一电极和第二电极之间加载驱动信号时，压电谐振部能够在该驱动信号的作用下发生谐振。单晶谐振部的材质为单晶材质或掺杂后的单晶材质。压电谐振部与单晶谐振部能够谐振，且压电谐振部与单晶谐振部通过耦合部连接并耦合。由于压电谐振部和单晶谐振部能够通过耦合部耦合，因此，单晶谐振部位于压电谐振部的振动方向上。本申请解决了压电谐振器的性能较差的问题，本申请用于谐振器。
谐振器谐振系统

[发明专利]一种驱动组件及相关设备-CN202111017237.7在审
发明人： 孙丰沛;冯志宏;徐景辉;董晓诗;孙剑波 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种驱动组件及相关设备，可应用于OXC、VOA、WSS等光通信场景或投影显示领域。第一固定结构、第二固定结构和第三固定结构固定在衬底上。转动框架通过第一悬臂梁与第一固定结构连接，转动框架上形成有第一梳齿。第一梳齿与第二梳齿交错排列，第二梳齿形成在第二固定结构上。转动平台位于转动框架的内侧，转动平台通过第二悬臂梁与转动框架连接，转动平台上形成有第三梳齿。第三梳齿与第四梳齿交错排列，第四梳齿形成在转动结构上，转动结构通过第三悬臂梁与第三固定结构连接，转动结构与转动框架固定在一起。第一梳齿和第二梳齿用于驱动转动框架和转动结构绕着第一轴向转动。第三梳齿和第四梳齿用于驱动转动平台绕着第二轴向转动。
一种驱动组件相关设备

[发明专利]静电MEMS微镜-CN202110383730.4在审
发明人：董晓诗;徐景辉;孙丰沛 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2021-04-09 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本申请提供了一种静电MEMS微镜，可以应用在手机、麦克风、摄像头、雷达、光开光等器件上，包括：支撑梁、微镜和驱动组件；驱动组件包括梳齿框、以及位于梳齿框内的驱动梳齿；支撑梁和微镜通过梳齿框相连，梳齿框中与微镜连接的两条边框分别位于支撑梁的延伸线确定的旋转轴的两侧；驱动梳齿包括至少一对梳齿对，梳齿对包括动梳齿结构和静梳齿结构，动梳齿结构包括多个动梳齿，动梳齿的一端固定在梳齿框上，静梳齿结构用于与动梳齿结构产生静电力，其中，动梳齿的固定端到旋转轴的距离大于动梳齿的另一端到旋转轴的距离。该结构能够进一步提高静电MEMS微镜的转角范围和稳定性。
静电 mems 微镜

[发明专利]一种光学组件、拍摄装置和终端-CN202011639192.2在审
发明人：李明;冯军;徐景辉;孙丰沛 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H04N5/225 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种光学组件、拍摄装置和终端，可应用于拍照和终端等领域。在光学镜片和封装结构之间增加了应力隔离结构，减少了由封装结构向光学镜片传递的应力，从而降低了外部环境对光学镜片精度的影响。光学组件包括封装结构、应力隔离结构和光学镜片。应力隔离结构位于光学镜片和封装结构之间，应力隔离结构与光学镜片和封装结构相连。封装结构用于固定光学镜片和应力隔离结构，应力隔离结构具有镂空区域。应力隔离结构用于减少由封装结构向光学镜片传递的应力。
一种光学组件拍摄装置终端

[发明专利]可调光分插复用器-CN202011027812.7在审
发明人：欧阳奎;李腾浩;韩荦;董晓诗;孙丰沛;常志武 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本申请提供了可调光分插复用器T‑OADM，通过光束调整装置改变入射光束射到光学滤波片的入射角，并且在光学滤波片将入射光束分为透射光束和反射光束之后，进一步通过光束调整装置来调整从光学滤波片出射的透射光束的传输方向，以及调整从光学滤波片出射的反射光束的传输方向，使得透射光束和反射光束输出至相应的端口，从而实现一种灵活可控的T‑OADM装置。本申请可应用于光通信领域，例如可以用于实现长途干线、城域网等领域的光域中支路信号的分插和复用。
调光分插复用器

[发明专利]MEMS芯片及其制备方法、MEMS器件、电子设备-CN202011436611.2在审
发明人： 孙丰沛;冯志宏;徐景辉;董晓诗 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种MEMS芯片及其制备方法、用以提高MEMS芯片的结构可靠性，可广泛用于无线通信、生物医学、航空航天、消费电子、汽车电子以及仪器测量等诸多领域。MEMS芯片包括衬底、运动组件、固定组件和驱动组件，固定组件位于衬底与运动组件之间，其中：运动组件包括固定部、运动部以及第一支撑梁，第一支撑梁分别与运动部和固定部连接，且运动部朝向固定组件的第一面开设有第一避让槽；固定组件接地设置，固定组件朝向运动组件的一面具有凸台以及第一限位柱，凸台与固定部连接并用于支撑固定部，第一限位柱对应一个第一避让槽；驱动组件与运动部连接，用于驱动运动部运动。
mems 芯片及其制备方法器件电子设备

[发明专利]一种基于微镜的时分共享窗口激光雷达系统-CN201711106256.0有效
发明人：虞传庆;王鹏;陈文礼;王宏臣;孙丰沛;董珊 -专利权人：无锡英菲感知技术有限公司
申请日： 2017-11-10 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G01S17/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微镜的时分共享窗口激光雷达系统，第一单面反射镜上开设有第一通孔；第二单面反射镜上开设有第二通孔；激光器产生的激光光束分为两路，一路激光光束经过第一通孔出射到微镜后，经微镜出射至探测目标；另一路激光光束经延时光纤后出射到第二单面反射镜，通过第二通孔出射到微镜，经微镜出射至探测目标；从探测目标反射回的回波光束经微镜反射至第一单面反射镜和第二单面反射镜后，经会聚透镜会聚至光探测器。本发明采用延时光纤将两束出射激光的回波光束在时域上分开，实现了采用一组探测器就能同时探测两路回波光束，进一步简化了系统结构，减小系统体积和器件数量，节约成本，并降低了系统的装配精度。
一种基于时分共享窗口激光雷达系统

[发明专利]反射镜及其制造方法、镜头模组、电子设备-CN202010693017.5在审
发明人：徐景辉;孙丰沛;冯军;李明 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-07-17 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本申请提供了一种反射镜及其制造方法、镜头模组、电子设备，属于光学技术领域。本申请提供的反射镜采用平面结构的硅基衬底作为基材，相比于直角三棱镜，可以有效减小反射镜的体积和质量。并且，通过将硅基衬底的第二侧面与第二表面的夹角设计为钝角，可以确保将该反射镜倾斜设置后，该第二侧面与第二表面不会形成向外突出的直角。由此，不仅可以减小该反射镜应用于潜望式的摄像模组时所占用的空间，而且可以降低反射镜组装的过程中，该硅基衬底的侧边因碰撞或摩擦而发生碎裂或者崩边的风险。
反射及其制造方法镜头模组电子设备

[发明专利]一种动态形变可控微镜-CN201711104537.2有效
发明人：虞传庆;王鹏;陈文礼;王宏臣;孙丰沛;董珊 -专利权人：无锡英菲感知技术有限公司
申请日： 2017-11-10 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本发明涉及一种动态形变可控微镜，所述微镜包括：外镜，所述外镜具有第一结构；内镜，所述外镜具有第二结构；所述第一结构和第二结构相互分离，且通过具有第三结构的连接机构连接；所述第一结构，第二结构，第三结构是通过在晶圆表面上蚀刻具有第四结构的凹槽后形成的一体结构。基于内外镜面分离结构，可以有效地减小外镜面动态形变对内镜面的影响，从而将内镜面的动态形变降至最低。连接机构可以放置于外镜面动态形变较小处，从而有效减小动态形变的传递。该连接机构可以是多种不同的形状，拥有较大的设计自由度。
一种动态形变可控

[发明专利]一种基于微镜的加倍扫描视场共享窗口激光雷达系统-CN201711105482.7有效
发明人：虞传庆;王鹏;陈文礼;王宏臣;孙丰沛;董珊 -专利权人：无锡英菲感知技术有限公司
申请日： 2017-11-10 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微镜的加倍扫描视场共享窗口激光雷达系统，激光器产生的激光光束经激光分束器分为两路，一路激光光束经过第一通孔出射到微镜后，经微镜出射至探测目标；另一路激光光束经反射镜反射后通过第二通孔出射到微镜，经微镜出射至探测目标；经第一通孔和第二通孔出射到微镜的激光光束具有第一夹角θ；从探测目标反射回的回波光束经微镜反射至第一单面反射镜和第二单面反射镜后，被对应的光探测器接收。本发明利用激光分束器加倍扫描视场，本发明的激光雷达系统能够实现足够大的扫描角度，特别适用于对扫描视场要求高的全自动驾驶等应用。
一种基于加倍扫描视场共享窗口激光雷达系统

[发明专利]一种基于微镜的共享窗口激光雷达系统-CN201711106258.X有效
发明人：虞传庆;王鹏;陈文礼;王宏臣;孙丰沛;董珊 -专利权人：无锡英菲感知技术有限公司
申请日： 2017-11-10 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微镜的共享窗口激光雷达系统，包括：激光器、单面反射镜、微镜、会聚透镜和光探测器；所述单面反射镜上开设有第一通孔；所述激光器产生的激光光束经过所述第一通孔出射到所述微镜后，经所述微镜出射至探测目标；从探测目标反射回的回波光束经所述微镜反射至所述单面反射镜后，经所述单面发射镜反射至所述会聚透镜，并经所述会聚透镜会聚至所述光探测器。本发明使用微镜替代机械旋转结构，可以大幅减小设备体积，提高扫描频率，并且耗能更少。
一种基于共享窗口激光雷达系统

[发明专利]MEMS惯性传感器、惯性测量单元及惯性导航系统-CN202010195682.1在审
发明人：胡启方;徐景辉;李展信;孙丰沛 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G01C21/18 文献下载
摘要：本申请提供了一种MEMS惯性传感器，可用于智能汽车、新能源汽车、传统汽车、高铁列车、无人机、智能机器人、摄像稳定平台、智能手机等载体中。所述MEMS惯性传感器包括：衬底；传感组件，所述传感组件包括MEMS悬浮框架，以及，内嵌于所述MEMS悬浮框架内的MEMS功能结构；第一支撑臂，所述第一支撑臂分别与所述MEMS悬浮框架和所述衬底固定连接，所述第一支撑臂用于使所述传感组件悬浮于所述衬底上。本申请提供的MEMS惯性传感器能够阻断封装应力通过衬底、盖板耦合到MEMS惯性器件功能结构上，提升了MEMS惯性传感器的稳定性，并且有利于提升导航的定位精度。
mems 惯性传感器测量单元导航系统

[发明专利]一种微机电系统及其制备方法-CN201911408207.1在审
发明人： 孙丰沛;冯志宏;徐景辉 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机电系统MEMS装置，包括：第一固定梳齿，第二固定梳齿，支撑梁，活动平台和活动梳齿；其中：所述第一固定梳齿和第二固定梳齿固定在基板上，所述第一固定梳齿和第二固定梳齿之间电学隔离；所述支撑梁的两端固定在基板上，所述活动平台连接在支撑梁上；所述活动梳齿连接在所述活动平台上，并与所述第一固定梳齿和第二固定梳齿形成三层梳齿结构。这样的结构提高了MEMS装置的驱动效率。
一种微机系统及其制备方法

[发明专利]一种兼具平动和转动工作模式的微镜-CN201711310171.4有效
发明人：王鹏;虞传庆;陈文礼;王宏臣;孙丰沛;董珊 -专利权人：无锡英菲感知技术有限公司
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种兼具平动和转动工作模式的微镜，其特征在于，所述微镜包括：镜面；第一外框架，所述第一外框架环绕所述镜面设置，且所述第一外框架与所述镜面之间通过第一分布式弹簧动态连接；所述第一外框架外侧设置有动梳齿；第二外框架，所述第二外框架环绕所述第一外框架设置，且在所述第二外框架内侧与所述动梳齿对应的位置设置静梳齿；所述第一外框架与所述第二外框架之间通过第二分布式弹簧链接。该结构拥有镜面以及外框架结构，并且将梳齿布置在了外框架的四周，既可以在垂直于微镜表面的方向上平行振动，也可以微镜的转轴转动。
一种兼具平动转动工作模式

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