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[发明专利]光掩膜版及其制作方法-CN202010412215.X有效
发明人： 孔志能;张秀璇 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2020-05-15 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G03F1/38 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种光掩膜版及其制作方法，光掩膜版包括：基底和位于所述基底上的遮光层，所述遮光层内具有暴露所述基底表面的开口；阻挡层，所述阻挡层覆盖所述开口的侧壁，且所述阻挡层底部与所述基底相接触。本发明有利于保证光掩膜版在使用过程中具有良好的性能。
光掩膜版及其制作方法

[发明专利]光罩摆放误差校正方法和装置-CN202110004432.X有效
发明人：张秀璇;孔志能 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-01-04 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供一种光罩摆放误差校正方法和装置，该方法包括获取光罩制作完成后，晶圆曝光时的曝光偏移量，所述晶圆曝光为晶圆表面被曝光形成电路图形的过程；根据所述曝光偏移量确定下次光罩制作时的补偿偏移量，以校正所述光罩的摆放误差；所述补偿偏移量与所述曝光偏移量均为向量值，且数值相等方向相反。本申请提供的光罩摆放误差校正方法和装置可以通过校正光罩的摆放误差，减小半导体器件的光刻工艺中存在的叠对误差。
摆放误差校正方法装置

[实用新型]一种台阶式后装膜片压力表-CN202223254085.5有效
发明人： 孔志能;楼艳 -专利权人：杭州捷安消防设备有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01L7/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种台阶式后装膜片压力表，包括圆筒形壳体、指针式机芯、压力膜片，壳体一端设有表盖、另一端设有接头，接头设有贯通接头两端的压力通孔，指针式机芯、压力膜片设于壳体内，所述的壳体内壁靠近表盖处设有凸出的定位台阶，所述的定位台阶与表盖之间设有指针空间，所述的压力膜片侧面设有向下翻折的固定翻边，所述的接头设有伸入壳体内的固定端头，所述的壳体与固定翻边、固定端头焊接固定，所述的压力膜片与固定端头之间设有与压力通孔连通的压力感应空间，所述的指针式机芯包括指针、机芯本体，所述的指针设于指针空间内。本实用新型结构合理，加工和安装方便。
一种台阶式后装膜片压力表

[实用新型]一种采用方形卡簧圈的膜片式压力表-CN202223237813.1有效
发明人： 孔志能;楼艳 -专利权人：杭州捷安消防设备有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G01L7/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种采用方形卡簧圈的膜片式压力表，包括壳体、指针式机芯、表盖，壳体一端设有机芯安装腔、另一端设有一体式压力通孔，所述的机芯安装腔开口处设有表盖安装台阶槽，所述的表盖紧配固定在表盖安装台阶槽内，所述的机芯安装腔内侧壁上设有向壳体内凹陷的环形卡槽，所述的环形卡槽截面为矩形，所述的环形卡槽内设有与环形卡槽配合的方形卡簧圈，所述的方形卡簧圈设有缺口，所述的机芯安装腔底部设有膜片，所述的指针式机芯设于机芯安装腔内，所述的指针式机芯顶部与方形卡簧圈底部贴紧，所述的指针式机芯底部与膜片顶部贴紧。本实用新型结构合理，安装方便，并大大降低表盖安装造成指针式机芯松动移位可能性。
一种采用方形卡簧膜片压力表

[实用新型]一种自动灭火系统压力监测传感数字显示报警装置-CN202222461274.3有效
发明人： 孔志能;楼艳 -专利权人：杭州捷安消防设备有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01L19/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动灭火系统压力监测传感数字显示报警装置，包括报警装置、设于药剂钢瓶上的压力传感器，压力传感器包括壳体，壳体设有压力腔、工作腔，压力腔内设有压力敏感组件，压力敏感组件包括金属壳体，工作腔内设有电源及信号处理组件，压力腔一侧设有与外界连通的压力通道，压力腔另一侧与工作腔连接且设有连接通孔，压力敏感组件一端与压力通道连通，压力敏感组件另一端端面与压力腔内侧平面紧配设置，连接通孔直径小于压力敏感组件金属壳体内径；压力敏感组件与电源及信号处理组件为线缆连接，线缆穿过连接通孔，压力敏感组件与报警装置电连接。本实用新型结构简单，使用方便，压力泄露可能性低。
一种自动灭火系统压力监测传感数字显示报警装置

[实用新型]一种小型捶击振叩酸麻胀痛治疗机-CN202221605832.2有效
发明人： 孔志能;楼艳 -专利权人：康知园（杭州）健身器材有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： A61H23/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种小型捶击振叩酸麻胀痛治疗机，包括机身，还包括捶击装置、捶击驱动装置、旋转装置；所述的旋转装置包括旋转电机、传动齿轮、齿轮旋转盘、旋转中心轴，所述的旋转电机固定在机身一侧，所述的传动齿轮、齿轮旋转盘、固定在机身另一侧，所述的传动齿轮与旋转电机输出轴连接，所述的齿轮旋转盘外缘设有齿轮且与旋转中心轴连接，所述的旋转中心轴可旋转固定在机身上，所述的传动齿轮与齿轮旋转盘啮合；所述的捶击驱动装置包括连接板、驱动器、传动轴；所述的捶击装置包括转动轴、弹性臂、捶击振叩头。本实用新型体积小，成本低，可自我操作，使用方便，频率低、捶击振叩幅度大，可改变捶击振叩方向。
一种小型捶击酸麻胀痛治疗

[实用新型]一种捶击振叩酸麻胀痛治疗机-CN202221605833.7有效
发明人： 孔志能;楼艳 -专利权人：康知园（杭州）健身器材有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： A61H23/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种捶击振叩酸麻胀痛治疗机，包括机身、捶击装置、捶击驱动装置、旋转装置、升降装置；所述的升降装置包括升降台、升降机，所述的升降机设于机身内腔内，所述的升降台与升降机连接，所述的升降台为中空盒体结构，所述的升降台的侧板上设有与导向槽配合且伸入导向槽的滑动翼片；所述的旋转装置包括旋转电机、传动齿轮、齿轮旋转盘、旋转中心轴，所述的旋转电机固定在升降台盒体底板内侧，所述的传动齿轮、齿轮旋转盘、固定在升降台盒体底板另一侧。本实用新型噪音小，可调节捶击振叩角度，成本低，可自我操作，使用方便，频率低、捶击振叩幅度大，可通过升降、旋转改变捶击振叩方向。
一种捶击酸麻胀痛治疗

[发明专利]晶圆加热装置及光刻胶摇摆曲线的生成方法-CN201910303802.2在审
发明人： 孔志能 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明实施例涉及半导体制造领域，公开了一种晶圆加热装置及光刻胶摇摆曲线的生成方法，所述晶圆加热装置包括用于加热晶圆的热板、设置在所述热板上且用于固定晶圆的承载结构，所述承载结构远离所述热板的一端端面与所述热板表面形成的夹角可调节、所述承载结构在所述热板的轴向方向上可伸缩。本发明提供的晶圆加热装置及光刻胶摇摆曲线的生成方法能够使晶圆表面各区域的受热温度不同，为在晶圆上形成厚度不一的光刻胶膜创造工艺条件。
加热装置光刻摇摆曲线生成方法

[实用新型]晶圆加热装置-CN201920528620.0有效
发明人： 孔志能 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本实用新型实施例涉及半导体制造领域，公开了一种晶圆加热装置，所述晶圆加热装置包括用于加热晶圆的热板、设置在所述热板上且用于固定晶圆的承载结构，所述承载结构远离所述热板的一端端面与所述热板表面形成的夹角可调节、所述承载结构在所述热板的轴向方向上可伸缩。本实用新型提供的晶圆加热装置能够使晶圆表面各区域的受热温度不同，为在晶圆上形成厚度不一的光刻胶膜创造工艺条件。
热板承载结构晶圆晶圆加热装置本实用新型半导体制造领域工艺条件光刻胶膜加热装置晶圆表面热板表面轴向方向受热可调节可伸缩种晶加热

[发明专利]一种聚硅氧烷弹性体及其巯基-烯点击反应制备方法-CN201610835933.1有效
发明人：祁争健;吴保嬴;孔志能;杜文琦;周妍 -专利权人：东南大学
申请日： 2016-09-20 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： C08G81/00 文献下载
摘要：一种聚硅氧烷弹性体及其巯基‑烯点击反应制备方法。聚硅氧烷弹性体具有式(I)或式(II)的如下结构：或者，其中m，n均为整数且20＜m+n＜50；m或n的值均为10～25；PEO的结构如下：其中P为整数，20＜P＜50。制备方法是将巯基聚醚与侧链的乙烯基硅油为原料，将其溶在良性溶剂中，搅拌下加入光引发剂在紫外灯下反应，反应结束后将反应物料放在常温的真空干燥箱中12‑24h，得到具有式(I)或式(II)结构的聚硅氧烷弹性体。较传统的有机硅凝胶材料使用的贵金属催化剂以及残留的金属会从弹性体中浸出而限制其应用，固化后弹性体难处理等缺陷，此反应高效且无副反应。
式( I )聚硅氧烷弹性体巯基制备点击反应贵金属催化剂乙烯基硅油有机硅凝胶真空干燥箱材料使用反应物料光引发剂良性溶剂传统的副反应紫外灯侧链浸出聚醚固化残留金属应用

[发明专利]有机硅表面活性剂及其巯基-烯点击化学法制备方法-CN201610112280.4在审
发明人：祁争健;夏勇;孔志能 -专利权人：东南大学
申请日： 2016-02-29 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： C08G77/46 文献下载
摘要：一种有机硅表面活性剂及其巯基‑烯点击化学法制备方法。有机硅表面活性剂具有式(I)所示结构：其中m，n均为整数且20＜m+n＜100；x的值为10～100；y的值为0～80，且x，y均为整数；R为C_1～10的直链或异构长链烷基，或为烷基苯基。制备方法是将巯基聚醚与乙烯基聚硅氧烷作为原料，将其溶于良性溶剂中，搅拌下加入光引发剂反应，反应结束后将反应物料在25～45℃下真空旋蒸以脱除溶剂，然后在30～60℃下真空干燥2～48h，得到具式(I)结构特征的有机硅表面活性剂。摒弃了现有技术中合成有机硅表面活性剂所使用的贵金属催化剂(如金属铂催化剂)，得以保障环保安全及扩大产品应用领域。
有机硅表面活性剂及其巯基点击化学法制方法

[实用新型]膜片式塑料夹板机芯小型压力表-CN200820168212.0无效
发明人： 孔志能 -专利权人： 孔志能
申请日： 2008-11-28 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： G01L7/08 文献下载
摘要：膜片式塑料夹板机芯小型压力表，属于测量装置领域。现有技术为金属机芯，造价高，加工不便。本实用新型表壳内自上而下依次设有表盖、指针、嵌接于表壳内侧壁的上C形卡圈、刻度盘和机芯，表壳底部连通孔的上开口处设有膜片，其特征在于所述的机芯与膜片之间设有中央开有翻边通孔并卡接在表壳内壁的片状限位件，机芯的感应端穿过翻边通孔与膜片触接，所述的限位件与机芯之间设有嵌接于表壳内侧壁的下C形卡圈，其优点在于通过增设限位件、下C形卡圈及结构独特的膜片，限制膜片在压力超常时令机芯变形、甚至脱出表壳，实现在保证测量范围和使用安全的前提下，采用塑料制造机芯的上、下夹板和立柱，明显降低了生产成本，且便于加工。
膜片塑料夹板机芯小型压力表

[实用新型]膜片式塑料夹板机芯小型压力表-CN200820163714.4无效
发明人： 孔志能 -专利权人： 孔志能
申请日： 2008-09-04 - 公布日： 2009-06-03 - 主分类号： G01L7/08 文献下载
摘要：膜片式塑料夹板机芯小型压力表，属于测量装置领域。现有技术中机芯采用金属制造，造价高，加工不便。本实用新型表壳内自上而下依次设有表壳、指针、嵌接于表壳内侧壁的上C形卡圈、刻度盘和机芯，表壳底部焊接有膜片且其覆盖在连通孔的上开口上，其特征在于所述的机芯和膜片之间设有一中央开有通孔的限位件，限位件底部设有环绕通孔的容纳腔，一碟形弹簧的周缘间隙地置于容纳腔中，其优点在于通过增设限位件和置于其内的碟形弹簧及下C形卡圈，在保证测量范围和使用安全的前提下，机芯上、下夹板和立柱采用塑料材质制造，明显降低了生产成本且便于加工，碟形弹簧与限位件容纳腔间隙配合，压力表灵敏度亦得到保证。
膜片塑料夹板机芯小型压力表

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