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[发明专利]减薄机砂轮主轴输出功率不确定度的确定方法及设备-CN202310645256.7有效
发明人： 周惠言;蒋继乐;寇明虎 -专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01L3/24 文献下载
摘要：本发明提供一种减薄机砂轮主轴输出功率不确定度的确定方法及设备，所述方法包括：获取砂轮扭矩和砂轮转速的测量数据；利用所述测量数据，确定砂轮扭矩和转速的相关系数和砂轮转速扭矩共同作用的相对测量不确定度；计算砂轮扭矩相对测量不确定度和砂轮转速相对测量不确定度；利用所述砂轮转速扭矩共同作用的相对测量不确定度、砂轮扭矩相对测量不确定度、砂轮转速相对测量不确定度和相关系数确定减薄机砂轮主轴输出功率的合成标准不确定度。
减薄机砂轮主轴输出功率不确定确定方法设备

[发明专利]晶圆激光改制中改制深度测量不确定度的确定方法及设备-CN202310723802.4有效
发明人：蒋继乐;周惠言;寇明虎 -专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工设备领域，具体涉及一种晶圆激光改制中改制深度测量不确定度的确定方法及设备，该方法根据晶圆激光改制装置及改制深度测量设备，确定需计算的改制槽晶圆改制深度测量不确定度的分量，包括静态不确定度分量和动态不确定度分量；计算所述静态不确定度分量和所述动态不确定度分量；利用所述静态不确定度分量和动态不确定度分量确定合成标准不确定度。本发明通过对晶圆激光改制的结构进行分解，形成了较为完善的不确定度来源分析，由此综合全部的不确定度分量得到合成标准不确定度，通过对上述不确定度分量进行评估和分析，可以获取影响不确定度的主要分量，进而对其主要分量进行控制，从而可以用于对晶圆改制深度进行精确控制。
激光改制深度测量不确定确定方法设备

[发明专利]减薄机晶圆厚度测量不确定度的确定方法及设备-CN202310580321.2有效
发明人：蒋继乐;周惠言;寇明虎 -专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明提供一种减薄机晶圆厚度测量不确定度的确定方法及设备，其中所述方法包括：根据晶圆减薄机中与减薄及厚度测量相关的子系统，确定需计算的设备不确定度分量；利用所述子系统的性能参数、已知误差和目标厚度计算相应的设备不确定度分量；根据晶圆参数计算晶圆不确定度分量；利用所述设备不确定度分量和晶圆不确定度分量确定合成标准不确定度。
减薄机晶圆厚度测量不确定确定方法设备

[实用新型]一种基于参考梁法的微纳力值标准测量装置-CN202023167542.8有效
发明人：蒋继乐;周惠言;张叶;吴实;吴鲲 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： G01Q40/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于参考梁法的微纳力值标准测量装置，包括：被测悬臂、已知悬臂、相机、线阵光源、纳米微动台、被测悬臂位置粗调单元、已知悬臂位置粗调单元、水平观测调整单元；微动台用于使被测悬臂与已知悬臂相互接触；被测悬臂位置粗调单元用于实现纳米微动台位移调整及角度调整；已知悬臂位置粗调单元用于保证已知悬臂的探针十字刻线中心处于被测悬臂针尖正下方；CCD相机用于实时显示、记录已知悬臂和被测悬臂的位置状态；还设置了控制计算单元，用于得到两悬臂的运动过程中的像素点变化，进而计算出被测悬臂刚度值。本实用新型极大的提高了被测悬臂刚度值的测量准确度。
一种基于参考微纳力值标准测量装置

[发明专利]一种基于参考梁法的微纳力值标准测量装置及其溯源方法-CN202011545543.3在审
发明人：蒋继乐;周惠言;张叶;吴实;吴鲲 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G01Q40/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基于参考梁法的微纳力值标准装置及其溯源方法，系统包括：被测悬臂、已知悬臂、相机、线阵光源、纳米微动台、被测悬臂位置粗调单元、已知悬臂位置粗调单元、水平观测调整单元；微动台用于使被测悬臂与已知悬臂相互接触；被测悬臂位置粗调单元用于实现纳米微动台位移调整及角度调整；已知悬臂位置粗调单元用于保证已知臂梁的十字刻线中心处于被测悬臂针尖正下方；相机用于实时显示、记录已知悬臂和被测悬臂的位置状态；在溯源方法中，通过比较两悬臂移动的像素点个数，即可求得悬臂的刚度。利用现有技术测得已知悬臂的刚度值，进而对被测悬臂进行量值溯源。
一种基于参考微纳力值标准测量装置及其溯源方法

[发明专利]一种基于振动的微量液体粘度测量装置及测量方法-CN201810444778.X在审
发明人：赵美蓉;薛卓阳;郑叶龙;宋乐;黄银国;周惠言;蔡青梅 -专利权人：天津大学
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01N11/16 文献下载
摘要：一种基于振动的微量液体粘度测量装置及测量方法，在支架上垂直向下的设置有平行四边形柔性铰链，所述平行四边形柔性铰链的下端的一侧连接有微悬臂梁，所述平行四边形柔性铰链的与所述微悬臂梁相对应的那一侧设置有反光镜，所述悬臂梁的下方通过电控位移台设置有用于容纳被测液体的容器，在电控位移台的一侧设置有与所述反光镜相对应用于向反光镜发射激光的激光干涉仪，所述激光干涉仪设置在手动位移台的上面，所述手动位移台设置在角度调节器的上面。本发明通过铰链机构带动悬臂梁探针做振荡衰减运动，探针受到较大的切应力，用激光干涉仪采集微小的相对位移量，能够将被测液体的体积减少至15μL，测量效果好，实现了微量液体的粘度测量。
反光镜激光干涉仪平行四边形柔性铰链微量液体粘度电控位移台手动位移台被测液体测量装置微悬臂梁悬臂梁探针测量角度调节器相对位移量测量效果垂直向下铰链机构衰减运动体积减少微量液体粘度测量切应力振荡支架激光采集容纳发射应用

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