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- [实用新型]半导体硅片晶圆真空退火装置-CN202320734123.2有效
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周佳崎;凤旭;曾立军;凤强
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江苏微艾诺智能装备集团有限公司
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2023-04-06
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2023-07-07
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C30B33/02
- 本实用新型涉及一种半导体硅片晶圆真空退火装置，包括箱体、设置在箱体内部的安装板、设置在箱体内部的退火腔、可升降的隔离罩、可升降的退火炉和放置架，退火炉可脱离地罩设于隔离罩外侧，隔离罩与安装板之间形成退火腔，放置架放置于退火腔中；退火炉包括可独立控制的第一热补偿段、核心加热段、第二热补偿段，核心加热段与放置架位置相对应，安装板上开设有给退火腔抽真空的抽气孔；核心加热段提供的温度达不到目标温度或难以维持在目标温度时，第一热补偿段和/或第二热补偿段提供额外温度补偿，还可以在预热时与核心加热段一起加热，缩短预热时间，实现真空快速退火，从而晶圆受热均匀，变形概率小，离子注入损伤能得到良好修复。
- 半导体硅片真空退火装置
- [实用新型]一种热冲击试验箱-CN202220695923.3有效
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周佳崎;凤旭;凤强;曾立军
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昆山艾科迅机械有限公司
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2022-03-28
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2022-08-05
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G01N3/60
- 本实用新型涉及一种热冲击试验箱，属于材料试验设备技术领域。本申请的一种热冲击试验箱，其特征在于，包括：箱体，设置有隔板将所述箱体分隔成第一腔体和第二腔体，所述隔板上设置有第一通孔贯通所述第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内设置有制热组件和保温组件，所述第二腔体内设置有传输组件，所述传输组件上设置有用于放置实验体的收容组件，所述收容组件可通过所述第一通孔进入所述第一腔体。本申请文件提供的热冲击试验箱中设置有用于进行热冲击试验的第一腔体，用于完成热冲击试验准备的第二腔体，实验体可放置在收容组件经传输组件的移动轻松送入第一腔体中，仪器结构简单，安全便捷地进行热冲击试验。
- 一种冲击试验
- [实用新型]一种自动熔炼系统-CN202121766588.3有效
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周佳崎;凤旭;徐晓伟
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上海微行炉业有限公司
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2021-07-30
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2022-02-15
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F27D7/06
- 一种自动熔炼系统，包括：支架；气氛炉，可上下移动设于所述支架上，所述气氛炉底部为炉口；原料箱，可水平移动设于所述支架上，所述原料箱具有位于所述气氛炉正下方投影中的第一水平位置和位于所述气氛炉正下方投影外的第二水平位置；竖直驱动组件，设于所述支架上，并与所述气氛炉相连；水平驱动组件，设于所述支架上，并与所述原料箱相连；电控箱，分别连接并控制所述气氛炉、竖直驱动组件和水平驱动组件。本实用新型具有如下有益效果：本实用新型自动熔炼系统，采用若干驱动组件，使气氛炉本体和原料可自动移动，进行自动进料、自动密封和自动开启熔炼，无需人力参与，安全高效，节约成本，提高了生产效率。
- 一种自动熔炼系统
- [实用新型]一种钢材热处理设备-CN202121750609.2有效
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周佳崎;凤旭;徐晓伟
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上海微行炉业有限公司
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2021-07-30
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2022-01-07
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C21D9/00
- 一种钢材热处理设备，包括：支架；退火炉，可上下移动设于所述支架上，所述退火炉底部为炉口；输送平台，装载有待退火工件，所述输送平台可水平移动设于所述支架上；水平驱动组件，设于所述支架上，所述水平驱动组件与所述输送平台相连；竖直驱动组件，设于所述支架上，所述竖直驱动组件与所述退火炉相连；其中，所述输送平台与所述退火炉底部炉口相匹配，准备退火时，所述输送平台水平运动至所述退火炉正下方，所述退火炉竖直向下运动并与所述输送平台围设形成炉膛，所述待退火工件封闭于所述炉膛内。本实用新型钢材热处理设备，采用若干驱动组件，使退火炉和装载有待退火工件的输送平台可自动移动，进行自动进料、退火。
- 一种钢材热处理设备
- [实用新型]一种退火炉原料输送装置-CN202121766602.X有效
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周佳崎;凤旭;徐晓伟
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上海微行炉业有限公司
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2021-07-30
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2021-12-31
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C21D9/00
- 一种退火炉原料输送装置，包括底部支架、电机、滑轨、导轨和输送平台，所述底部支架设置于所述退火炉下方，所述滑轨和导轨平行设于所述底部支架上，所述输送平台滑动设置在所述滑轨上，其中，所述电机与所述输送平台固定，所述电机输出端连接有与所述导轨相配合的转动件，所述电机驱动所述转动件转动，进而带动所述输送平台随电机沿所述导轨沿水平方向进入或离开所述退火炉正下方。本实用新型退火炉原料输送装置，结构简单，设计巧妙，采用滑轨和导轨组合，将退火炉所需原料运送给退火炉，该输送装置运输安全有效，无需手工操作，提高退火炉的整体工作效率。
- 一种退火炉原料输送装置
- [实用新型]热处理系统-CN202121746950.0有效
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周佳崎;凤旭;徐晓伟
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上海微行炉业有限公司
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2021-07-29
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2021-12-31
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C21D9/00
- 本申请涉及一种热处理系统，其包括：炉体，所述炉体内设有容置空间；炉膛，设置在所述容置空间内，所述炉膛包括膛口和炉门，所述炉门与膛口为可拆卸连接；驱动组件，所述驱动组件包括移动组件和顶升组件，所述移动组件用于将所述炉门和样品移动至第一位置，所述顶升组件用于将位于所述第一位置的物品顶升至第二位置；所述炉门位于所述第二位置时，可与所述膛口密封连接。该热处理系统能实现样品从运输到加热再到运出的全自动化过程，增加了处理效率并减少了人力成本。
- 热处理系统
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