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[实用新型]半导体硅片晶圆真空退火装置-CN202320734123.2有效
发明人：周佳崎;凤旭;曾立军;凤强 -专利权人：江苏微艾诺智能装备集团有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体硅片晶圆真空退火装置，包括箱体、设置在箱体内部的安装板、设置在箱体内部的退火腔、可升降的隔离罩、可升降的退火炉和放置架，退火炉可脱离地罩设于隔离罩外侧，隔离罩与安装板之间形成退火腔，放置架放置于退火腔中；退火炉包括可独立控制的第一热补偿段、核心加热段、第二热补偿段，核心加热段与放置架位置相对应，安装板上开设有给退火腔抽真空的抽气孔；核心加热段提供的温度达不到目标温度或难以维持在目标温度时，第一热补偿段和/或第二热补偿段提供额外温度补偿，还可以在预热时与核心加热段一起加热，缩短预热时间，实现真空快速退火，从而晶圆受热均匀，变形概率小，离子注入损伤能得到良好修复。
半导体硅片真空退火装置

[发明专利]并网逆变器全等效并联电阻有源阻尼控制方法-CN202110575045.1有效
发明人：李飞;朱江舸;吴金涛;凤强;张兴 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H02J3/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种并网逆变器全等效并联电阻有源阻尼控制方法，属分布式并网发电技术领域。该方法利用电容电压和电容电流同时作为反馈量进行控制，通过在基于电流环的虚拟电阻并联电容法基础上增加一条电容电压的反馈支路，为传递函数的特征方程中引入一次项系数1/Rd，使得主导极点得以左移从而减小了电流环相应的调节时间。反馈支路系数均为常数，可以通过计算得到，参数设计较方便。显著提高并网逆变器电流内环的响应速度，同时，无需在传统的电流环虚拟电阻并联电容法基础上额外增加传感器，不会增加工业成本。
并网逆变器等效并联电阻有源阻尼控制方法

[实用新型]一种热冲击试验箱-CN202220695923.3有效
发明人：周佳崎;凤旭;凤强;曾立军 -专利权人：昆山艾科迅机械有限公司
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01N3/60 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种热冲击试验箱，属于材料试验设备技术领域。本申请的一种热冲击试验箱，其特征在于，包括：箱体，设置有隔板将所述箱体分隔成第一腔体和第二腔体，所述隔板上设置有第一通孔贯通所述第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内设置有制热组件和保温组件，所述第二腔体内设置有传输组件，所述传输组件上设置有用于放置实验体的收容组件，所述收容组件可通过所述第一通孔进入所述第一腔体。本申请文件提供的热冲击试验箱中设置有用于进行热冲击试验的第一腔体，用于完成热冲击试验准备的第二腔体，实验体可放置在收容组件经传输组件的移动轻松送入第一腔体中，仪器结构简单，安全便捷地进行热冲击试验。
一种冲击试验

[实用新型]一种对开门箱式炉-CN202220710273.5有效
发明人：周佳崎;凤旭;凤强;曾立军 -专利权人：上海微行炉业有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： F27B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种对开门箱式炉，包括：底座；炉体，安装在底座上，炉体具有炉腔，炉腔内设有第一加热件；炉门机构，安装在底座上，炉门机构包括第一炉门组件和第二炉门组件，第一炉门组件和第二炉门组件相对设置在炉体两侧，第一炉门组件和第二炉门组件与炉体滑动连接；通过在炉体两侧设置第一炉门组件和第二炉门组件，在需要将工件放入到炉体内或者将工件从炉体内拿出时，可以从第一炉门组件和第二炉门组件处同时进行操作，大大提高了工件加工效率。
一种开门箱式

[实用新型]一种真空手套箱净化柱结构-CN201821041657.2有效
发明人：凤旭;周佳崎;徐晓伟;张杰豪;刘文兵;曾立军;凤强;梁民忠 -专利权人：科晶真空科技（苏州）有限公司
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： B25J21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空手套箱净化柱结构，包括真空手套箱净化罐体，所述净化罐体内部设置有上层净化混合物、中间层净化混合物、下层净化混合物、中间分隔网板，所述上层净化混合物对由进气口进入的气体进行初级过滤；过滤后的气体进入所述中间层净化混合物，接着过滤后气体进入所述下层净化混合物中，所述下层净化混合物的空间密度比中间层净化混合物的空间密度更大，最后过滤后的气体从出气口出来进入真空手套箱中。该实用新型通过合理的分层既节约了成本，又提高了净化效率，与传统的净化柱中不分层相比具有简化工艺，清洗便捷的优点。
净化混合物真空手套箱净化柱中间层下层过滤分层进气口上层本实用新型初级过滤分隔网板罐体内部净化效率出气口传统的密度比净化罐体清洗节约

[外观设计]真空手套箱-CN201830230244.8有效
发明人：凤旭;张杰豪;周佳崎;曾立军;凤强;徐晓伟;刘文兵;梁民忠 -专利权人：科晶真空科技（苏州）有限公司
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：真空手套箱。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于真空手套箱，主要对O2，H2O，有机气体的清除。3．本外观设计产品的设计要点：产品的外形。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：主视图。
外观设计真空手套箱有机气体图片