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- [发明专利]一种头架和尾架双电机驱动的超精密辊筒机床-CN202310276600.X在审
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王波;吴言功;李子腾;乔政;丁飞
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哈尔滨工业大学
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2023-03-20
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2023-07-25
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B23Q3/12
- 一种头架和尾架双电机驱动的超精密辊筒机床，属于超精密加工装备领域。主轴头架固定在辊筒机床床体上，主轴尾架与辊筒机床床体的Z轴导轨滑动连接，两套气体静压主轴系统分别固定装在主轴头架和主轴尾架上，主轴电机输出轴与气体静压主轴系统的主轴转子输入端同轴且固定连接，主轴转子输出端与主轴夹具同轴固定连接，两个主轴夹具同轴设置，辊筒模具通过固定在其两端的模辊支撑轴夹紧固定在两个主轴夹具上，刀具Z轴溜板组件位于主轴头架和主轴尾架之间，且与Z轴导轨滑动连接，X轴导轨固定在Z轴溜板组件上，刀具X轴溜板组件与X轴导轨滑动连接，刀具夹具固定装在刀具底座上，刀具底座固定装在X轴溜板组件上。本发明用于辊筒模具超精密加工。
- 一种尾架双电机驱动精密机床
- [发明专利]一种表面节流型气足-CN202310223712.9在审
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王波;吴言功;范雨欣;乔政;丁飞
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哈尔滨工业大学
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2023-03-09
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2023-06-06
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F16C32/06
- 一种表面节流型气足，属于超精密加工技术领域。它结构简单、稳定性好、工作精度高、加工装配方便。静压气浮轴承与承版台通过球铰链连接，静压气浮轴承上开设的腔室利用外部高压气源能够产生向上的推力，使静压气浮轴承受到的合力能够进行动态平衡。发明采用表面节流的方法，采用收敛式轴承间隙进行节流，降低了对过滤系统的要求；且加工简单，普通的研磨盘轻轻偏置即可制造出内部的锥形面，隔膜外缘的高度变化的轴承间隙用于进行刚度补偿，提高气足的气膜刚度，提高稳定性。本发明的表面节流型气足配合球铰与承版台连接，不要求气足的严格共面，提高了加工效率。本发明具有耗气量小，加工装配简单，稳定性好的优点。
- 一种表面节流型气足
- [发明专利]一种多气浮轴套的气体静压主轴-CN202310062204.7在审
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王波;吴言功;张凯文;乔政;丁飞
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哈尔滨工业大学
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2023-01-16
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2023-05-23
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F16C32/06
- 本发明公开了一种多气浮轴套的气体静压主轴，所述气体静压主轴包括底座、辅助轴套、轴套、主轴转子和辐板，其中：所述主轴转子由长轴和止推板组成；所述轴套设在主轴转子的长轴上，外侧固定在底座上；所述辅助轴套设在主轴转子的长轴尾部；所述辐板固定在轴套凸缘端面的一侧；所述轴套内圆表面与主轴转子的长轴形成主体径向轴承部分，所述辅助轴套内圆表面与主轴转子的长轴形成辅助径向轴承部分，所述轴套凸缘端面以及辐板内端面与主轴转子的止推板形成止推轴承部分。本发明只是在原有的气体静压主轴的结构中加设一辅助轴套的支承，原有的各部分结构大体不变，不需要对主轴的结构做出太大的改动，充分地利用了现有的加工工艺以及加工设备。
- 一种多气浮轴套气体静压主轴
- [发明专利]一种自定心的抗卡紧液压阀芯及液压阀-CN202310092984.X在审
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王波;吴言功;范雨欣;乔政;丁飞
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哈尔滨工业大学
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2023-02-09
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2023-05-16
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F15B13/02
- 一种自定心的抗卡紧液压阀芯及液压阀，属于液压阀技术领域。液压阀芯，包括阀芯及套设在阀芯上的薄壁结构，薄壁结构的内侧壁开设环状凹槽，阀芯内部开设有液压油流道，液压油流道的入口端设置在阀芯的端面上，液压油流道的出口端在与环状凹槽连通，液压油通过液压油流道流入环状凹槽，从而改变阀芯在液压阀内的液压降分布情况，以实现阀芯自定心。本发明的液压阀芯仅由两部分组成且结构简单，无需加工同心的均压槽或外加辅助装置避免卡紧，利用液压油的高压作用实现阀芯微变形进而实现自定心，提高加工效率；且无论在阀芯哪侧通高压都实现顺锥效果，能够提高装配效率；利用顺锥利于自定心的特点，提高阀芯工作精度和可靠度。
- 一种定心抗卡紧液压
- [发明专利]一种抗低头镗杆系统-CN202310141408.X在审
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王波;吴言功;谷东运;乔政;丁飞
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哈尔滨工业大学
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2023-02-20
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2023-05-16
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B23B29/02
- 一种抗低头镗杆系统，属于超精密装备制造技术领域。为了摆脱加工设备和镗杆低头现象对加精密镗削工精度的影响，提高精密镗削的加工精度。配气套内部设有若干气道，并在气道上安装小孔节流器，配气套、小孔节流器和镗杆共同形成气体静压轴承的径向轴承部分，镗杆采用气浮支撑的支撑形式。与传统镗杆系统相比，本发明由于采用分区域供气的方式，配气套在镗杆上圆周区域和轴向区域上分别形成具有不同压力的径向气膜，不需要额外的伺服轴/调整机构，通过电磁调压阀控制不同气膜的压力，即可实现刀高的调整，避免镗杆低头现象的出现，镗杆系统刚度好，抗振性能强。
- 一种低头系统
- [发明专利]一种晶圆平面度检测机-CN202310161350.5在审
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王波;乔政;谷东运;吴言功;丁飞
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哈尔滨工业大学
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2023-02-23
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2023-05-05
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G01B11/30
- 一种晶圆平面度检测机，属于超精密加工装备领域。四个隔振器对称设置并固定于检测机支架上，底座固定于四个隔振器上，气浮转台固定于底座上，三点支撑组件固定在气浮转台上，测量盘设置在三点支撑组件上，两个定心气缸组件分别固定在底座上，X轴组件两端固定在两个立柱上，两个立柱固定在底座上，X轴组件的X轴气体静压导轨与气浮转台轴垂直布置，非接触式传感器通过固定在其上的固定座固定在X轴组件的X轴溜板上，非接触式传感器在X轴组件的X轴直线电机驱动下，沿X轴气体静压导轨移动，对晶圆平面度进行检测。本发明的晶圆平面度检测机可以实现较高精度的检测，检测精度可达0.4μm，同时具有较大的测量范围，可测量直径在400mm以内的晶圆平面度。
- 一种平面检测
- [发明专利]表面节流型无摩擦气缸-CN202310148353.5在审
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王波;吴言功;范雨欣;乔政;丁飞
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哈尔滨工业大学
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2023-02-21
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2023-05-02
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F15B15/14
- 表面节流型无摩擦气缸，属于气缸技术领域。其结构简单、稳定性好、精度高、耗气量小、体积小、加工方便。活塞杆前端通过气体静压轴承支撑在缸筒内部，活塞杆后端与活塞连接，活塞设置在缸筒内部，缸筒后端设有后端盖，缸筒前端设有前端盖。本发明仅需要单路供气，高压气体在活塞与缸筒之间微米级的楔形间隙中进行表面节流形成压力气膜，利用活塞上开设的泄压槽将多余气体排出，利用气膜间隙不同，气体压力梯度分布不同，能够避免气体回流的同时保证气膜的承载能力，管路简单，加工装配方便，在所有的无摩擦气缸方案中耗气量最小，气动噪声最小；依据气浮原理实现无摩擦运动，利用顺锥能够自定心的特点，精度较高，提高可靠度。
- 表面节流摩擦气缸
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