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[发明专利]一种带有磁流体阻尼器的气体静压转台-CN202211219452.X在审
发明人：王波;张凯文;吴言功;乔政;丁飞 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：一种带有磁流体阻尼器的气体静压转台，属于超精密装备制造技术领域。为了提高气体静压转台的抗干扰能力。所述轴套上设置有气路总成，所述气路总成供气后，使上辐板下表面与轴套的上表面之间形成了上止推轴承，所述轴套的下表面与下辐板的上表面之间形成了下止推轴承，所述轴套内圆柱表面与主轴转子的外圆柱表面形成了径向轴承。本发明通过在下部增添磁流变阻尼器从而达到了对所设计气体静压转台的阻尼可控，可使转台实现快速启动与停止、高速旋转以及配合位置反馈元件实现超高精度定位等多种优良功能，大大提高了整体气体静压转台的抗干扰能力。
一种带有流体阻尼气体静压转台

[发明专利]一种高回转精度的开式平面静压气浮转台-CN202211215632.0在审
发明人：王波;吴言功;张凯文;乔政;丁飞 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，包括主轴转子、轴套和底座，轴套固定在底座上，主轴转子包括平台和设置在平台下表面中部的半球结构，轴套的上表面中部设置有容纳半球结构的凹槽Ⅰ，半球结构与凹槽Ⅰ形成半球轴承，轴套的上表面与平台的下表面形成止推轴承，从而形成一开式气浮轴承结构，配合表面节流的形式，使得本发明整体结构简单，加工制造方便，容易达到较高的精度。通过调节主轴转子及其负载的重力配合调节真空气路中的真空度来对气浮轴承施加一定预载，使得两个轴承面在气膜间隙合适的情况下达到一个最优刚度与承载的匹配，并具有较好的鲁棒性。
一种回转精度平面静压转台

[发明专利]一种抗振动飞刀刀盘-CN202211269140.X在审
发明人：王波;乔政;吴言功;张凯文;丁飞 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-10-17 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B23B27/08 文献下载
摘要：一种抗振动飞刀刀盘，属于超精密加工中飞刀切削技术领域，具体方案如下：一种抗振动飞刀刀盘，包括刀盘主体和两个刀盘旋臂，所述刀盘主体为回转体结构，所述两个刀盘旋臂对称固定在刀盘主体上，每个刀盘旋臂的背面均贴有抗振贴片。所述抗振贴片所用的材料为硬质合金材料。通过对飞刀刀盘的仿真分析得出在加工时飞刀刀盘的振动最剧烈处发生在刀盘旋臂上，采用硬质合金材料制成的抗振贴片粘接在两个刀盘旋臂背部，使得整体飞刀刀盘整体在工作过程中处于临界阻尼状态，以此来使得飞刀切入工件过程中所产生的振动快速衰减，大大提高了加工工件的精度。
一种振动飞刀

[发明专利]一种带有人字槽微结构的多孔质气体静压轴承-CN202211229764.9在审
发明人：王波;陈文韬;吴言功;乔政;丁飞 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本发明属于静压滑动轴承领域，具体方案如下：一种带有人字槽微结构的多孔质气体静压轴承，包括轴套、转子芯轴、上止推板和下止推板，轴套套设在转子芯轴上，上止推板和下止推板分别位于轴套的上方和下方并均固定在转子芯轴上，轴套的内侧壁上设置有径向多孔质材料，轴套的上表面和下表面均设置有止推多孔质材料，转子芯轴的侧壁上、上止推板的下表面和下止推板的上表面均均布设置有若干个人字槽结构，轴套上设置有供气管道和泄气管道，供气管道通至径向多孔质材料和止推多孔质材料，泄气管道通至转子芯轴、上止推板和下止推板的表面。本发明的多孔质气体静压轴承承载力更大、刚度更高、高转速下动态性能更好。
一种有人微结构多孔气体静压轴承

[发明专利]径向轴承分区域供气的高回转精度大承载气体静压轴承-CN202211132054.4在审
发明人：王波;张凯文;吴言功;乔政;丁飞;陈文韬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：一种径向轴承分区域供气的高回转精度大承载气体静压轴承，属于超精密装备制造技术领域，具体方案如下：一种径向轴承分区域供气的高回转精度大承载气体静压轴承，包括主轴转子、轴套和底座，所述轴套套设在主轴转子上并固定在底座上，所述轴套上沿圆周方向均布设置若干个轴向气道Ⅰ，每个轴向气道Ⅰ上均布设置有若干个径向气道Ⅰ，所述若干个径向气道Ⅰ与对应的轴向气道Ⅰ连通，每个径向气道Ⅰ近主轴转子的一端均设置有节流器Ⅰ，对轴向气道Ⅰ自底部至顶部的供气压力逐步减小。本发明在实际应用中可以通过微调各区域供气源的供气压力使得主轴转子在工作过程中实现较高的回转精度，并且整个主轴的承载能力可提高2倍以上。
径向轴承区域供气回转精度承载气体静压

[发明专利]一种复合式超精密加工机床-CN202211261158.5在审
发明人：王波;乔政;张凯文;吴言功;丁飞 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B23P23/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合式超精密加工机床，所述机床包括X轴组件、C轴组件、Z1轴组件、Z2轴组件、B轴组件、C轴组件、机床基座以及隔振支承部件，其中：所述机床基座布置在隔振支承部件上；所述机床基座上设置有X轴组件、Z1轴组件以及Z2轴组件；所述Z1轴与Z2轴平行布置，与X轴垂直；所述C轴安装在X轴上，呈卧式布置；所述B轴安装在Z1轴上，呈立式布置。该超精密加工机床整体结构较为紧凑，通过不同轴之间的联动可实现多种形式的加工，在大大减小制造成本的同时大大增加了其应用范围。
一种复合精密加工机床

[发明专利]一种径向节流器非均匀分布的大承载气体静压主轴-CN202211049813.0在审
发明人：王波;吴言功;张凯文;乔政;丁飞;陈文韬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B23B19/02 文献下载
摘要：一种径向节流器非均匀分布的大承载气体静压主轴，属于超精密机床技术领域，具体包括主轴转子、轴套和底座，所述主轴转子为回转体结构，所述轴套套设在主轴转子上，其外侧固定在底座上，所述轴套上沿圆周方向水平设置有若干个轴向气道Ⅰ，位于主轴转子1中心下方的轴向气道Ⅰ的密度大于位于主轴转子中心上方的轴向气道Ⅰ的密度，对应每个轴向气道Ⅰ设置有若干个径向气道Ⅰ，所述若干个径向气道Ⅰ与对应的轴向气道Ⅰ垂直连通，每个径向气道Ⅰ近主轴转子的一端均设置有节流器Ⅰ。高压空气经过径向的节流器Ⅰ在主轴转子表面形成径向气膜，承受径向载荷，使得非均匀分布的节流器Ⅰ为主轴提供更高的承载。
一种径向节流均匀分布承载气体静压主轴

[发明专利]一种抗倾覆载荷的大承载气浮主轴结构-CN202210674742.7在审
发明人：王波;吴言功;乔政;张凯文;丁飞;李铎 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：一种抗倾覆载荷的大承载气浮主轴结构，属于超精密装备制造技术领域，具体方案如下：一种抗倾覆载荷的大承载气浮主轴结构，包括主轴、轴套Ⅰ、前辐板、后辐板和底座，轴套Ⅰ套设在主轴的外侧并固定在底座上，前辐板中部开设有通孔Ⅰ，后辐板中部开设有通孔Ⅱ，主轴的前、后两端分别套设在通孔Ⅰ和通孔Ⅱ中，通孔Ⅰ的侧壁上开设半圆环形的气道Ⅰ，通孔Ⅱ的侧壁上开设半圆环形的气道Ⅱ，气道Ⅰ和气道Ⅱ分别位于主轴中轴线的下方和上方，前辐板上开设有进气孔Ⅰ，后辐板上设置有进气孔Ⅱ，所述进气孔Ⅰ与进气孔Ⅱ分别与气道Ⅰ与气道Ⅱ连通。本发明提高了气浮主轴的整体承载能力、刚度、回转精度以及抗倾覆能力，加工出的零件精度更高。
一种倾覆载荷承载主轴结构

[发明专利]多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制快速装调方法-CN202111194438.4有效
发明人：王波;廖秋岩;丁飞;薛家岱;李铎;乔政;吴言功;杨彦佶;陈勇 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G21K1/06 文献下载
摘要：多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制快速装调方法，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调方法用于保证多层嵌套镜片装配工艺的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。包括以下步骤：S1.取来待装调的镜筒；S2.悬吊镜筒；通过装调装置的吊装盘组件悬吊镜筒；S3.调整镜筒位姿：由装调装置的吊装盘组件实现；S4.调整轮毂位姿：由装调装置的轮毂调节组件实现；S5.安装调准遮光光阑；S6.镜筒入槽；S7.调整相机位置，测试焦前焦后光斑，确认聚焦镜片指向对齐；S8.计算聚焦镜焦距，调整镜筒入槽深度；S9.点胶固化镜筒；S10.装调下一个镜筒。本发明可实现自动化控制，同时避免了人为操作引入的不规范性。
多层嵌套射线聚焦主动控制快速方法

[发明专利]WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置-CN202111194457.7有效
发明人：王波;廖秋岩;李铎;丁飞;薛家岱;乔政;吴言功;杨彦佶;陈勇 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。该检测装置用于保证大批量镜片内壁的检测精度，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高检测效率。所述主动吊装装置通过支架支撑，用于吊起镜筒，所述测量装置用于测量镜筒的圆度误差和轮廓误差，测量装置安装在高精度气浮主轴上，由高精度气浮主轴带动其旋转测量，所述高精度气浮主轴安装在XY平移台上，所述XY平移台安装在支架上。本发明针对现有的通用测量仪器无法对WolterI型X射线聚焦镜内壁的面形精度进行直接检测，可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量，保证了检测过程中镜片的低变形、高精度，提高了检测效率，达到了降本增效的效果。
wolteri 射线聚焦内壁高精度检测装置

[发明专利]多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制装调装置-CN202111194455.8有效
发明人：王波;廖秋岩;丁飞;薛家岱;李铎;乔政;吴言功;杨彦佶;陈勇 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制装调装置，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调装置用于保证大批量装配的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。吊装盘组件、轮毂调节组件和光源组件从上到下依次安装在支架上，相机调节组件设置在吊装盘组件的正上方，吊装盘组件用于将镜筒吊装在相机调节组件和轮毂调节组件之间，光源组件发出的平行光经轮毂调节组件筛选后，经镜筒反射后聚焦于相机调节组件的相机成像平面上，根据相机所形成的光斑位置调节镜筒或者轮毂调节组件的轮毂。本发明避免了人为操作引入的不规范性，实现了装调的一致性和可靠性，保证了装配过程中镜片的低变形，节省人力，提高整体装调效率。
多层嵌套射线聚焦主动控制装置

[发明专利]WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法-CN202111193022.0有效
发明人：王波;廖秋岩;李铎;丁飞;薛家岱;乔政;吴言功;杨彦佶;陈勇 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。包括以下步骤：S5.用激光自准直仪确定镜筒主轴回转和垂直轴的偏心量、记录；S6.调整X位移台、长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头到合适的位置，使其处于有效工作范围内；S7.控制高精度气浮主轴带动长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头旋转一周，测量此处截面圆度；S8.移动升降导轨，根据需要测量多个截面圆度；S9.实时调整X位移台位置，通过控制升降导轨测量母线精度；S10.控制高精度气浮主轴旋转到一定角度，测量多条母线精度；S11.分析测量数据，得到镜筒内壁的面形精度。本发明可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量。
wolteri 射线聚焦内壁高精度检测方法

[发明专利]一种表面节流的流体静压轴承、流体静压转台和流体静压主轴-CN202010421285.1有效
发明人：王波;吴言功;乔政;丁飞;韩睿 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-05-18 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：为了提供一种结构稳定性好、超高精度的流体静压轴承，本发明记载一种表面节流的流体静压轴承，包括轴套、主轴、上辐板和下辐板，轴套套设在主轴上，上辐板和下辐板分别位于轴套的上方和下方并均固定在主轴上，上辐板、下辐板与主轴承“工字型”结构，轴套与主轴之间上下设置有相互连通的环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ，环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ结构相同且相互对称，环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ的纵剖面均呈阶梯状结构；轴套上设置有进孔和出孔，进孔与环形孔缝Ⅰ或环形孔缝Ⅱ连通，出孔与环形孔缝Ⅰ或环形孔缝Ⅱ连通。本发明润滑介质可以是液体或气体，本发明无需额外安装节流器，极大的提高了装配效率和可靠度，轴承结构简单可靠，易于加工。
一种表面节流流体静压轴承转台主轴

[发明专利]一种流体静压轴承、流体静压转台和流体静压主轴-CN202010421847.2有效
发明人：王波;吴言功;乔政;丁飞;韩睿 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-05-18 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：为了提供一种结构简单、加工方便、稳定性好、回转精度高的流体静压轴承，本发明记载一种流体静压轴承，包括主轴和轴套，主轴为中部设置有环状凸缘的圆柱状结构，轴套为中部设置有环状凹槽的圆柱筒状结构，轴套套设在主轴上，环状凸缘位于环状凹槽内部，位于环状凸缘上方的圆柱状结构与轴套之间设置有环形孔缝Ⅰ，位于环状凸缘下方的圆柱状结构与轴套之间设置有环形孔缝Ⅱ，环状凸缘的上表面与轴套之间设置有环形孔缝Ⅲ，所述环状凸缘的下表面与轴套之间设置有环形孔缝Ⅳ，环形孔缝Ⅰ、环形孔缝Ⅱ、环形孔缝Ⅲ和环形孔缝Ⅳ的纵剖面均呈阶梯状结构。本发明零件数量少，加工简单，装配方便，无需额外安装节流器，工作时更加稳定，可靠度更高。
一种流体静压轴承转台主轴

[发明专利]一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法-CN201810074312.5有效
发明人：王波;吴言功;乔政;韩睿;刘远航;刘玉涛;张鹏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-01-25 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G05B19/19 文献下载
摘要：本发明公开了一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法，所述方法步骤如下：一、分析超精密机床加工过程中温度变化造成的影响，当温度变化引起辊筒尺寸变化的范围在微米量级，同时要求的辊筒模具微结构闭合节距误差非常小时，则通过对加工程序进行优化以减小微结构闭合节距误差；二、根据加工的辊筒模具直径尺寸与微结构数目及温度变化范围选定多分法需要分区的数目；三、根据步骤二选定的分割次数计算有/无余数时各微结构的角度位置，写出其通项公式并对余数进行处理；四、根据步骤三中计算得到的微结构空间角度分布编写加工程序，实现多分法加工。本发明对提高微结构辊筒模具加工质量、制造超大尺寸光学转印膜片等具有重要意义。
一种减小模具精密机床加工微结构闭合误差方法