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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]溅镀靶结构-CN202010781370.9在审
发明人：黄呈加;吴智稳 -专利权人：住华科技股份有限公司
申请日： 2020-08-06 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：溅镀靶结构包括保护元件、载板及靶材板。载板包括承载面。靶材板在承载面上，并包括至少一侧壁靶材表面。靶材板只有在至少一侧壁靶材表面具有保护元件设置于其上。
溅镀靶结构

[发明专利]承载板、溅镀用靶材及其黏贴方法-CN201810290168.9有效
发明人：杨清河;吴智稳;苏梦鹏;孙璿程;翁基祥 -专利权人：住华科技股份有限公司
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种承载板、溅镀用靶材及其黏贴方法。靶材的黏贴方法包括以下步骤。首先，提供承载板，承载板具有承载面。然后，粗糙化承载面，使承载面具有一中心线平均粗糙度介于2.5Ra与7.5Ra之间的粗糙度。然后，形成黏合剂于粗糙化的承载面上。然后，配置靶材于黏合剂上。
承载溅镀用靶材及其黏贴方法

[发明专利]溅射靶材及其使用方法-CN201910183904.5在审
发明人：杨清河;吴智稳;翁基祥;苏梦鹏 -专利权人：住华科技股份有限公司
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：溅射靶材及其使用方法。溅射靶材包括背板、溅射板与保护单元。背板具有上表面。溅射板设置在上表面上，并具有一溅射板边缘。保护单元设置在上表面上，并相邻溅射板边缘。本发明技术方案通过保护单元、中间保护单元共同防止背板在溅射工艺中被溅射消耗而损坏的问题产生，以进一步延长背板的使用寿命，因此可降低制造成本，且更换保护单元等的方法简单、快速，可提升工艺效率。
保护单元溅射板背板上表面溅射靶材溅射工艺效率使用寿命制造成本消耗

[发明专利]背板、使用其的溅射靶材及其使用方法-CN201910184139.9在审
发明人：杨清河;吴智稳;翁基祥;苏梦鹏 -专利权人：住华科技股份有限公司
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：背板、使用其的溅射靶材及其使用方法。背板包括第一板体、第二板体与固定件。固定件可拆地连接第一板体及第二板体。本发明第一板体、第二板体与流体管路的组装方法简单、快速。相较于采用焊接工艺(bonding)的组装方式，本发明使用锁固方法可降低组装时间及制造成本，提升生产效率。
第一板板体固定件背板组装焊接工艺溅射靶材流体管路生产效率制造成本组装方式地连接可拆锁固

[发明专利]靶材结构-CN201910189394.2在审
发明人：杨清河;吴智稳;翁基祥;苏梦鹏 -专利权人：住华科技股份有限公司
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开一种靶材结构，包括载板、磁性元件及靶材。载板具有承载面。磁性元件配置在承载面。靶材配置在磁性元件且覆盖整个磁性元件。磁性元件的位置对应一强蚀位置。本发明的磁性元件能减弱磁场强度，因此能有效减少靶材在强蚀位置位置的消耗率(减少侵蚀深度)，进而让靶材在各位置的消耗率更为平均，以提升靶材的使用寿命。
磁性元件靶材承载面消耗率载板靶材结构使用寿命位置位置有效减少磁场配置侵蚀覆盖

[发明专利]靶材处理设备-CN201510488016.6有效
发明人：杨清河;吴智稳;苏梦鹏;翁基祥;孙璿程;林俊宏 -专利权人：住华科技股份有限公司
申请日： 2015-08-11 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：一种靶材处理设备，适用于处理包含正板与背板的靶材。靶材处理设备包含背板研磨装置、喷砂装置以及正板研磨装置。背板研磨装置用以研磨背板。喷砂装置设于背板研磨装置的一侧，用以粗糙化一部分的背板。正板研磨装置设于喷砂装置的一侧，用以研磨正板。
处理设备

[发明专利]焊料、溅镀靶材及制作溅镀靶材的方法-CN201610023433.8在审
发明人：杨清河;孙璿程;吴智稳;苏梦鹏;翁基祥 -专利权人：住华科技股份有限公司
申请日： 2016-01-14 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： B23K35/26 文献下载
摘要：本发明公开一种焊料、溅镀靶材及制作溅镀靶材的方法，焊料用来使靶材层与背板接合以制作溅镀靶材，此焊料包括重量百分浓度介于8至9的锌、重量百分浓度介于82至91.5的锡以及重量百分浓度介于0.5至10的铟，且锡和铟的含量总和小于等于重量百分浓度91。本发明的焊料可在大面积且高温的溅镀条件下维持靶材层与背板的接合强度。
焊料溅镀靶材制作方法

[发明专利]复合式靶材及其制作方法-CN201210242276.1在审
发明人：杨清河;吴智稳;苏梦鹏;翁基祥;孙璿程 -专利权人：住华科技股份有限公司
申请日： 2012-07-12 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种复合式靶材及其制作方法，根据废靶材的蚀刻状态而制作复合式靶材，且该废靶材是通过存在有第一磁力线分布的溅射机台对至少具有基板层与金属层的原始靶材进行溅射作用之后的产生物，通过判断在该废靶材所产生的该蚀刻状态，而决定在该原始靶材上设置具有第二磁力线分布的磁性层，又在该基板层及/或该磁性层的上方形成金属层，又通过接合层结合该基板层、磁性层与该金属层以形成该复合材式靶材，而该复合材式靶材可提供该第二磁力线分布调整该第一磁力线分布所产生的第三磁力线分布用以提高靶材的使用率(或称利用率)进而使该靶材均匀地消耗。
复合式靶材及其制作方法

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