本发明涉及化工生产领域，公开了一种用于高纯度一甲基三氯硅烷分离提纯用的填料塔。本方案所述填料塔包括：塔体、封头、接管、填料、裙座、除沫网、进料管、液体分布器和填料支撑板，与传统板式塔相比，不仅使具有工艺条件变得温和安全，同时减小了建设成本，经济性强，维护容易，能够高效去除一甲基三氯硅烷中的杂质，3‑甲基‑2戊烯低于0.06%wt、2‑甲基‑2戊烯纯度低于0.1%wt，符合国标GB T 20434‑2006对一甲基三氯硅烷一等品杂质含量低于0.1%wt的要求，最终得到纯度大于99.8%一甲基三氯硅烷。
