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[发明专利]半导体结构及其制备方法-CN202111661669.1有效
发明人：艾仙雄;轩攀登;方超;魏禹农;吁卫东;袁元;陈安 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种半导体结构及其制备方法。本公开提供的半导体结构包括：衬底；多个存储堆叠结构，位于衬底上，相邻的存储堆叠结构之间通过切割道彼此分隔；对准标记，位于衬底的暴露于切割道内的区域中，用于实现光学对准；以及虚设辅形结构，位于衬底上，并位于包含对准标记的切割道中。
半导体结构及其制备方法

[发明专利]一种用于光刻胶的参数优化方法、装置、设备及存储介质-CN202211471556.X有效
发明人：何文峰;曾辉;韦亚一;吁卫东;李亮 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司;广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本申请提出了一种用于光刻胶的参数优化方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：采集实验数据，并对实验数据进行缺陷检测，获取通过缺陷检测的有效实验数据；基于有效实验数据，采用深度学习算法构建光刻胶减量模型；基于光刻胶减量模型进行预测，得到光刻胶减量模型的预测结果；当预测结果为合格时，对光刻胶减量模型进行反向训练；根据反向训练后的光刻胶减量模型，确定旋涂目标对应的工艺参数。本申请采用深度学习算法根据实际旋涂工艺参数构建光刻胶减量模型，并对模型进行优化，准确地对光刻胶减量进行预测，得到光刻胶目标厚度对应的所需工艺参数，从而有效提高光刻胶减量效率和适用性，并降低晶圆的制造成本。
一种用于光刻参数优化方法装置设备存储介质

[发明专利]一种半导体器件的形成方法-CN202210163308.2在审
发明人：方超;黄志宏;吁卫东;袁元;艾仙雄;魏禹农;刘云飞 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种半导体器件的形成方法，所述形成方法包括：提供衬底，所述衬底上具有堆叠结构；所述堆叠结构包括待形成的台阶区域，所述待形成的台阶区域包括多个子台阶区域，且每个所述子台阶区域的高度不同；在所述待形成的台阶区域上形成光刻胶层；根据所述待形成的台阶区域内的所述光刻胶层的最高处和最低处之间的高度差，确定对所述光刻胶层的光刻方案。本申请实施例提供的半导体器件的形成方法，根据光刻胶层的最高处和最低处之间的高度差，确定对光刻胶层的光刻方案，有助于光刻胶层形成的图案具有较好的形貌，从而显著地改善由于光刻胶胶层的图案变形而导致的半导体器件出现结构缺陷的问题。
一种半导体器件形成方法

[发明专利]显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备-CN202111388897.6在审
发明人： 吁卫东;韦亚一;杨尚 -专利权人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本申请公开了一种显影震荡装置、显影装置、显影方法、制造方法及设备。该显影震荡装置包括震荡控制装置以及两两连接的计算控制装置、水平探测装置和机械臂；震荡控制装置用于控制机械臂运动的速度、频率及方向；水平探测装置用于获取印制电路板基板的偏移数据，将偏移数据发送给计算控制装置，并在计算控制装置的控制下调整机械臂的位姿参数；计算控制装置用于根据偏移数据计算出水平探测装置的调整参数，基于调整参数控制水平探测装置调整机械臂的位姿参数。本申请的显影震荡装置能够通过控制机械臂的运动的频率与速度调整基板在显影液中的震荡参数，改善印制电路板在生产过程中由于光的衍射、漫反射等效应所导致的图像边缘有毛边的缺陷。
显影震荡装置方法制造设备

[发明专利]一种医用镁颗粒/聚乳酸复合材料的增材制造方法-CN201810351992.0在审
发明人：储成林;吁卫东;郭超;白晶;薛烽 -专利权人：东南大学
申请日： 2018-04-19 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： C08L67/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种医用镁颗粒/聚乳酸复合材料的增材制造方法，该制备方法首先在镁颗粒表面接入钛酸酯偶联剂，然后接枝聚乳酸，制备出镁颗粒‑聚乳酸的混合料，该混合料经模具挤压成丝状后，通过3D熔融沉积技术加工成不同形状的医用镁颗粒/聚乳酸复合材料。本发明通过接入钛酸酯键官能团，改善了镁颗粒与聚乳酸表面的结合性能；经过挤压方式改变了聚乳酸内部杂乱无章的大分子链从而实现聚乳酸自增强效果。
镁颗粒聚乳酸聚乳酸复合材料混合料制备钛酸酯偶联剂大分子链挤压方式技术加工结合性能模具挤压成丝状接枝聚自增强钛酸酯熔融乳酸沉积制造