专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体装置的制造方法-CN200610094020.5无效
  • 原一巳 - 精工爱普生株式会社
  • 2006-06-21 - 2006-12-27 - H01L21/306
  • 一种半导体装置的制造方法,准备半导体晶片,该半导体晶片具有有效面、侧面、与所述有效面相反一侧的背面、在所述有效面形成的多个半导体元件;所述半导体晶片的所述侧面的至少一部分与所述半导体晶片的所述背面所成角度形成为锐角;朝向所述半导体晶片的所述有效面以及所述半导体晶片的所述侧面吹送空气,同时实施一边使所述半导体晶片旋转,一边在所述半导体晶片的所述背面上滴下蚀刻液的旋转蚀刻。
  • 半导体装置制造方法

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