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- [发明专利]影像感应器-CN201510198679.4有效
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王伟吉;吴志忠;邱品涵;林国隆
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力晶科技股份有限公司
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2015-04-24
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2019-07-09
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H01L27/146
- 本发明公开一种影像感应器,包含有一半导体基底,其具有一主表面;至少一感光结构,设于该主表面;一内层介电层,覆盖于该感光结构上;以及一介电层堆叠结构,介于该内层介电层与该感光结构之间,其中该介电层堆叠结构包括一硅化金属阻挡层,具有第一折射率n1、一保护层,具有第二折射率n2,以及一接触蚀刻停止层,具有第三折射率n3,第二折射率n2小于或等于第三折射率n3,第三折射率n3与第二折射率n2之间的差小于或等于0.25,第三折射率n3与第一折射率n1之间的差小于或等于0.7。
- 影像感应器
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