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[发明专利]蚀刻方法-CN202280005713.X在审
发明人：筱田和典;滨村浩孝;前田贤治;横川贤悦;阮氏翠儿;石川健治;堀胜 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2022-02-01 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：提供蚀刻量的均匀性高且蚀刻处理的成品率得以提升的蚀刻技术。在对配置于晶片的表面的包含SiGe的处理对象的膜层进行蚀刻的蚀刻方法中，具备如下工序：对膜层的表面供给包含氟、氢、氮的反应性的粒子，来在该膜层的表面形成包含氮‑氢键的反应层；和加热膜层来使反应层脱离。
蚀刻方法

[发明专利]蚀刻方法-CN202180005025.9在审
发明人：筱田和典;滨村浩孝;前田贤治;横川贤悦;石川健治;堀胜 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：提供蚀刻量的均匀性高且蚀刻处理的成品率得以提升的蚀刻技术。蚀刻方法对配置于晶片的表面的包含过渡金属的氮化物的处理对象的膜层进行蚀刻，该蚀刻方法具备如下工序：对膜层的表面供给包含氟、氢而不含氧的反应性的粒子，来在该膜层的表面形成反应层；和加热膜层来使反应层脱离。
蚀刻方法

[发明专利]蚀刻方法以及蚀刻装置-CN202180005347.3在审
发明人：黑崎洋辅;前田贤治;大竹浩人 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2021-02-19 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：本发明提供在保证原子层等级的高加工尺寸控制性、图案深度方向上的高均匀性、以及与氧化硅的高选择性的状态下能够以高蚀刻速率蚀刻加工氮化硅膜的蚀刻方法以及蚀刻装置。蚀刻方法包括：第一工序，在所述第一工序中，通过将具有氢的蚀刻剂向表面露出氮化硅的试样供给，从而形成氢与氮化硅结合得到的第一改质层；第二工序，在所述第二工序中，将具有氟的蚀刻剂向所述试样供给，从而在所述第一改质层之上形成氢及氟与氮化硅结合得到的第二改质层；以及第三工序，在所述第三工序中，向所述第一改质层和所述第二改质层照射红外线。
蚀刻方法以及装置

[发明专利]半导体元件的制造方法以及等离子体处理装置-CN202010115040.6在审
发明人：三浦真;石井洋平;酒井哲;前田贤治 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体元件的制造方法以及等离子体处理装置。在具有SiGe沟道的半导体元件的制造工序中，能够不对SiGe沟道造成损伤地形成保护SiGe沟道的Si偏析层。半导体元件的制造方法包括：第1工序，对至少具有硅层和在硅层上形成的硅锗层的半导体基板实施基于第1条件的等离子体处理而使硅锗层露出；以及第2工序，对半导体基板实施基于第2条件的等离子体处理而使硅偏析至露出的硅锗层的表面，第1条件是能够对硅锗层或与硅锗层相邻的层进行蚀刻的条件，第2条件是实施氢等离子体处理的条件，第1工序以及第2工序在同一等离子体处理装置的处理室内连续进行。
半导体元件制造方法以及等离子体处理装置

[实用新型]进气格栅装置-CN201320130365.7有效
发明人：浅野喜正;前田贤治;堀健二;斋藤孝;铃木祐司 -专利权人：爱信精机株式会社
申请日： 2013-03-21 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： B60K11/08 文献下载
摘要：本实用新型提供进气格栅装置，能够利用简单的结构实现百叶窗机构的可靠的打开动作与关闭状态的稳定性。各活动翅片（14）的隔着其转动中心（P）的两个方向的翅片长度（L1、L2）设定成不相等的长度（L1＞L2），以基于从格栅开口部流入的空气的压力在各活动翅片（14）产生朝向打开方向的转矩。进而，在框架（13）的上框部（16）及下框部（26）分别设置有具有壁面（31a、32a）的第一突部（31）及第二突部（32），壁面位于当各活动翅片朝关闭方向转动时翅片前端（21a、22a）的移动方向上，且在壁面与翅片前端之间形成空气的流路（X1、X2）。
格栅装置

[实用新型]格栅风门装置-CN201320130364.2有效
发明人：浅野喜正;前田贤治;堀健二;斋藤孝;铃木祐司 -专利权人：爱信精机株式会社
申请日： 2013-03-21 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： B60K11/08 文献下载
摘要：本实用新型提供格栅风门装置，在车辆碰撞时能够减轻施加于在后方配置的车身内部的收纳设备的碰撞载荷。格栅风门装置（10）具备：能够基于其开闭动作来控制空气的流量的风门机构（11）；将该风门机构（11）支承于格栅开口部内的框架（12）；以及保持于框架（12）并开闭驱动风门机构（11）的致动器（13）。并且，框架（12）具有保持构造，该保持构造基于车辆碰撞时的碰撞载荷，能够使致动器（13）朝框架（12）的前方侧相对移动。
格栅风门装置

[发明专利]载荷检测装置的安装结构及安装方法、以及座椅装置-CN201080057675.X有效
发明人：梁井庆一;前田贤治;宅间摄;川尻尚加 -专利权人：爱信精机株式会社
申请日： 2010-12-14 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： B60N2/44 文献下载
摘要：一种载荷检测装置的安装结构及安装方法、以及座椅装置。在载荷检测装置的安装结构中，能够利用设置于载荷检测装置的安装位置的凹部来调整检测部之间的间距，实现载荷检测装置的共用化，进而实现低成本化。以如下方式将载荷检测装置安装于座垫部件：各检测部分别配设于各检测部配设部位，一个以上连结部分别配设于连结部配设部位，并且，跨过槽部的第三连结部配设于该槽部内。由此，将检测部配设在设置于座垫部件的槽部的两侧，即隔着槽部配设检测部。如此，通过利用槽部、即将第三连结部配设在槽部内，由此能够调整检测部之间的间距。
载荷检测装置安装结构方法以及座椅

[发明专利]折叠装置-CN201110438990.3有效
发明人： 前田贤治;井上贤治 -专利权人：株式会社东京机械制作所
申请日： 2011-12-23 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： B65H45/16 文献下载
摘要：本发明提供一种能够进行折页滚筒外周面上的单页纸重叠为期望数量的集中折叠的折叠装置。该折叠装置(1)具有：折页刀机构动作控制机构(16)，其使设于折页滚筒(13)的折页刀机构(13C)动作；和纸端保持机构动作控制机构(15)，其使设于折页滚筒(13)的纸端保持机构(13B)动作，该折叠装置(1)将折页刀机构动作控制机构(16)和纸端保持机构动作控制机构(15)设置成能够基于预定的工作信号进行工作。
折叠装置

[发明专利]车辆用开闭体的驱动装置-CN200510076836.0无效
发明人：长嶋洋二;前田贤治;上奥直人;铃木康治 -专利权人：爱信精机株式会社
申请日： 2005-06-17 - 公布日： 2005-12-21 - 主分类号： B60J7/057 文献下载
摘要：车辆用开闭体(13)的驱动装置包括：驱动单元(4)，其包括：旋转驱动装置(41)、与所述旋转驱动装置的旋转轴(41a)连接的减速齿轮机构(42)，以及通过所述减速齿轮机构与所述旋转轴连接并通过连接部件(23，3)与所述开闭体连接的输出部件(46c)；第一脉冲信号发生器(6)，设置于所述驱动单元并且基于所述旋转轴的旋转产生第一脉冲信号；以及控制装置(5)，用来基于所述第一脉冲信号发生器发出的所述第一脉冲信号计算所述开闭体的打开/关闭位置，和控制所述旋转驱动装置使之与所述开闭体的打开/关闭位置对应。该车辆用开闭体的驱动装置特征在于：所述打开/关闭装置中进一步包括第二脉冲信号发生器(8)，其设置于所述驱动单元，以及基于所述减速齿轮机构和所述输出部件之中任何一个的旋转产生第二脉冲信号；以及所述的控制装置基于所述第一脉冲信号发生器发出的所述第一脉冲信号，利用所述第二脉冲信号发生器发出的所述第二脉冲信号作为基准点，计算所述开闭体的打开/关闭位置，以及对应所述开闭体的所述打开/关闭位置控制所述旋转驱动装置。
车辆开闭驱动装置

[发明专利]用于车辆的滑动车顶设备-CN200410031328.6有效
发明人：长嶋洋二;加藤胜敏;前田贤治 -专利权人：爱信精机株式会社
申请日： 2004-03-26 - 公布日： 2004-10-06 - 主分类号： B60J7/02 文献下载
摘要：一种车用滑动车顶设备，包括用于开启或者关闭位于车顶的开口部分的活动板，配备在沿开口部分宽度方向的两侧并沿车辆纵向方向延伸的一对导轨，由导轨引导并支撑活动板的操作机构，用于驱动操作机构的驱动设备，用于连接操作机构和驱动设备的正齿齿条带，其中驱动设备包括与正齿齿条带啮合的驱动齿轮，而且驱动齿轮沿着齿轮厚度方向形成可变的齿厚。
用于车辆滑动车顶设备

[发明专利]车辆天窗装置-CN03140642.4有效
发明人： 前田贤治;加藤胜敏 -专利权人：爱信精机株式会社
申请日： 2003-05-30 - 公布日： 2004-01-21 - 主分类号： B60J7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种车辆天窗装置，其包括：一个设置在车顶的用来打开和关闭车顶天窗口的可移动板栅，和一个设置在车顶天窗口前端的导风板。所述导风板根据所述可移动板栅的位置在车顶上方可向上移动，在车顶下方可合拢。所述导风板具有啮合部分，而止动部件具有被啮合部分，该被啮合部分可与啮合部分相啮合，并且相对于所述啮合部分可移动一个第一预定距离，直到所述啮合部分与所述被啮合部分的一端啮合。在所述啮合部分与所述被啮合部分的一端啮合之后，所述止动部件可与所述导风板一起相对于车顶进一步移动一个第二预定距离。
车辆天窗装置

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