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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]晶圆烘干槽、晶圆烘干装置-CN202120768649.3有效
发明人：左国军;陈雷;成旭;李雄朋;申斌;谈丽文;邱瑞;饶相松 -专利权人： 创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆烘干设备技术领域，提供了一种晶圆烘干槽、晶圆烘干装置，用于对晶圆进行烘干。晶圆烘干槽包括：槽体；管道系统，管道系统用于朝向槽体内的不同方向通入气体，以在槽体内交汇形成混合气流场。本申请将多个晶圆置于槽体内，通过管道系统从多个方向朝向槽体内通入气体，可以在槽体内形成混合气流场，混合气流场是流动的，因此，在槽体内形成的烘干区域能够覆盖整个晶圆尺寸范围，以保证晶圆表面的洁净度。
烘干装置

[实用新型]烘干设备-CN202120761513.X有效
发明人：左国军;成旭;谈丽文;陈雷;申斌;邱瑞 -专利权人： 创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请属于晶圆干燥技术领域，提供烘干设备。烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封闭的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽风腔与烘干腔相互连通；气路安装区，与烘干腔通过管路连接，气路安装区用于为烘干腔输入加热氮气；主抽风管道，与烘干区连接，主抽风管道用于排出废气；框架，用于设置烘干区、气路安装区与主抽风管道。本申请通过框架实现了结构优化，提升了安装空间，更有利于操作，且可以防止外部厂务空气对内部晶圆的污染。通过向烘干腔充入加热氮气，能够减少现场操作人员以及设备的安全隐患，还降低了处理废气的成本。
烘干设备

[发明专利]晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法-CN202110316188.0在审
发明人：左国军;任金枝;范生刚;马冠男 -专利权人： 创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法。其中，晶圆视觉检测方法包括：在上料区检测晶圆盒的位置偏移；在工作区检测晶圆的损坏情况；在下料区检测晶圆的第一数量。从而利用在不同区域的晶圆盒定位、晶圆损坏情况、晶圆数量检测，完善晶圆的检测机制，保证检测数据的准确性，使得用户可以实时监控晶圆和晶圆盒的状态，有效的避免设备异常造成的成本损失。
视觉检测方法系统损坏

[发明专利]载体摆动机构和处理设备-CN202110402756.9在审
发明人：左国军;申斌;饶相松;成旭;李雄朋;陈雷;任金枝 -专利权人： 创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种载体摆动机构和处理设备，其中载体摆动机构包括：摆动平台，摆动平台的底部设有摆动轴；动力组件；传动组件，传动组件的两端分别连接动力组件和摆动平台，动力组件用于通过传动组件带动摆动平台绕摆动轴摆动。本发明的技术方案中，动力组件能够通过传动组件驱动摆动平台摆动，即摆动平台能够相对处理槽进行摆动，放置在摆动平台上的待处理件可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件在处理槽内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗干燥死区，提升清洗效果及清洗效率。
载体摆动机构处理设备

[发明专利]烘干设备和晶圆烘干方法-CN202110401958.1在审
发明人：左国军;成旭;谈丽文;陈雷;申斌;邱瑞 -专利权人： 创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请属于晶圆干燥技术领域，提供烘干设备和晶圆烘干方法。烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封闭的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽风腔与烘干腔相互连通；气路安装区，与烘干腔通过管路连接，气路安装区用于为烘干腔输入加热氮气；主抽风管道，与烘干区连接，主抽风管道用于排出废气；框架，用于设置烘干区、气路安装区与主抽风管道。本申请通过框架实现了结构优化，提升了安装空间，更有利于操作，且可以防止外部厂务空气对内部晶圆的污染。通过向烘干腔充入加热氮气，能够减少现场操作人员以及设备的安全隐患，还降低了处理废气的成本。
烘干设备方法

[发明专利]晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置-CN202110402817.1在审
发明人：左国军;陈雷;成旭;李雄朋;申斌;谈丽文;邱瑞;饶相松 -专利权人： 创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆烘干设备技术领域，提供了一种晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置，用于对晶圆进行烘干。晶圆烘干槽包括：槽体；管道系统，管道系统用于朝向槽体内的不同方向通入气体，以在槽体内交汇形成混合气流场。本申请将多个晶圆置于槽体内，通过管道系统从多个方向朝向槽体内通入气体，可以在槽体内形成混合气流场，混合气流场是流动的，因此，在槽体内形成的烘干区域能够覆盖整个晶圆尺寸范围，以保证晶圆表面的洁净度。
烘干方法装置

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