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[发明专利]一种应变敏感电阻图形制作方法、设备及存储介质-CN202311063318.X在审
发明人：徐承义;杨雪梅;刘素夫;雷卫武 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2023-08-23 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B41M3/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种应变敏感电阻图形制作方法、设备及存储介质，涉及传感器技术领域。该方法步骤包括：获取液态状的应变电阻靶材，并将其装入设置在三坐标移动设备上点胶机内；应变电阻靶材材料包括金属微滴和硅胶，硅胶与金属微滴的质量比为3：2，金属微滴按质量百分数计包括47%Ni、47%Cr、3.5%ZrO2、1.6%Pt、0.2%W和0.7%Si；获取打印面以及打印面上的指定打印区域的信息；根据打印面、指定打印区域信息和预设电阻图形样式生成相应的运行制作指令；三坐标移动设备根据运行制作指令控制点胶机进行电阻图形制作。其能够解决薄膜电阻不能成形在曲面上的问题，简化了工艺，降低成本，实现智能自动化打印。
一种应变敏感电阻图形制作方法设备存储介质

[发明专利]一种多量程纳米薄膜压力传感器-CN202211640714.X在审
发明人：徐承义;杨雪梅;刘素夫;雷卫武 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本发明提出了一种多量程纳米薄膜压力传感器，涉及压力传感器领域。该压力传感器包括主控芯体、薄膜电阻应变片和引压嘴；主控芯体具有基础承载板，基础承载板开设有多个应力集中孔；薄膜电阻应变片的数量为多个，多个薄膜电阻应变片一一对应设置于多个应力集中孔，薄膜电阻应变片设置有惠斯顿敏感电桥，薄膜电阻应变片连接主控芯体，惠斯顿敏感电桥上的应变电阻通过焊接引线连接主控芯体；引压嘴的数量为多个，且引压嘴的数量等于应力集中孔的数量，多个引压嘴一一对应设置于多个应力集中孔的端口，引压嘴和薄膜电阻应变片挤压配合。本发明通过在一个主控芯体上布置多个压力测量区域(薄膜电阻应变片和应力集中孔的组合)，实现点位的同步测量。
一种多量纳米薄膜压力传感器

[发明专利]一种纳米薄膜芯体及复合传感器-CN202211674431.7在审
发明人：徐承义;唐运军;刘素夫 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明提出了一种纳米薄膜芯体及复合传感器，涉及传感器领域。该芯体包括由法兰形的弹性梁和管状探头形成的T型芯体，且弹性梁的顶部设有纳米薄膜敏感元件。该复合传感器包括纳米薄膜芯体、前盖、后盖、电气接头、温度传感器和PCB处理板，前盖穿过管状探头与弹性梁连接，弹性梁的另一端通过后盖与电气接头连接。PCB处理板设于后盖内，并间隔位于纳米薄膜敏感元件上方，温度传感器埋入T形芯体的管状探头内。通过采用T型结构，将管状探头与测量介质接触，将受力直接传递给纳米薄膜敏感元件，避免现有技术中将敏感元件直接与测量介质接触而导致变形的问题出现。并通过温度传感器检测温度，实现压力、温度的同时测量，使用更加方便。
一种纳米薄膜复合传感器

[发明专利]一种差压传感器-CN202211640700.8在审
发明人：徐承义;杨雪梅;刘素夫 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：本发明提出了一种差压传感器，涉及传感器领域。包括：芯体，芯体设置有调理电路，芯体具有多组高低压应力集中孔组，任意一组高低压应力集中孔组包括两个高压应力孔和两个低压应力孔，两个高压应力孔和两个低压应力孔均镀有薄膜，薄膜具有敏感电桥；其能够实现多个传统差压传感器配合使用才能实现的功能，降低了对安装空间、安装难度的要求，同时节省成本。
种差传感器

[发明专利]一种应变梁制造方法及压力传感器-CN202211545229.4有效
发明人：范敏;雷卫武;徐建;徐承义;杨雪梅;刘素夫 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种应变梁制造方法，涉及传感器领域。包括加工凹槽、研磨抛光、光刻电桥、分隔应变梁和将应变梁与弹性体结合的制作步骤；使用该方法制作的应变梁缩短了加工周期，减少了废料的产生，提升了成品率，有利于批量生产。此外本发明还提出一种压力传感器，包括由上述方法制得的应变梁，能够实现和上述同等的有益效果。
一种应变制造方法压力传感器

[发明专利]一种纳米薄膜轴销力传感器及其制备方法与应用-CN202211612388.1在审
发明人：徐承义;刘素夫;雷卫武 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米薄膜轴销力传感器及其制备方法与应用，涉及传感器技术领域；该传感器包括：本体；所述本体上设置有两个敏感区域；所述敏感区域上设置有四个纳米敏感电阻；所述纳米敏感电阻形成惠斯通电桥；所述纳米敏感电阻包括：绝缘层、应变敏感层、焊盘和保护层；所述应变敏感层为NiCrMnMoSi层。本发明中传感器采用一体化弹性体设计，将纳米敏感电阻直接布有整体式弹性体上，减少纳米敏感电阻的装配过程；同时还能减少应力影响，从而有效提高精度，降低成本。
一种纳米薄膜轴销力传感器及其制备方法应用

[发明专利]一种应变梁与弹性体的装配结构和压力传感器-CN202211503330.3有效
发明人：雷卫武;范敏;徐建;刘素夫;彭山 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： C22C19/05 文献下载
摘要：本申请提出了一种高温恒弹性合金材料及其制备应变梁的工艺、应变梁与弹性体的装配结构和压力传感器，涉及传感器技术领域。该高温恒弹性合金材料包括以下原料：Ti、Al、Ni、V、Nb、Co、Cr、Mo+W、Cu、Ag、C、Si、S、P、Mn、Ce+La、Ru+Ir，其余为Fe。该材料具有力学性能好，耐高温的优点，由该材料制备的应变梁与弹性体的装配结构不会受到表面凹陷困扰，由此装配结构组成的压力传感器具有工作温度范围大，灵敏度高和稳定性好的优点。
一种应变弹性体装配结构压力传感器

[发明专利]一种纳米薄膜复合应变传感器及其制备方法与应用-CN202211239996.2有效
发明人：雷卫武;徐承义;徐建;刘素夫;曾朋辉 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米薄膜复合应变传感器及其制备方法与应用，涉及传感器技术领域；该传感器包括基底层，所述基底层表面设有过渡层；所述过渡层的表面设有绝缘层；所述绝缘层的部分表面设有应变层；所述绝缘层的剩余部分表面设有保护层；所述应变层的部分表面设有焊盘；所述应变层的剩余部分表面设有保护层。本发明中应变层由NiCrMnSi层和NiCrAlY层组成，其中NiCrMnSi层的致密程度高、表面缺陷少且与绝缘层的结合强度高，从而提升了应变层的测试精度；而NiCrAlY层中含有金属铝，金属铝在氧气存在的情况下会生成氧化铝，而氧化铝能够起到一定的抗氧化作用，有利于提升应变敏感层的抗氧化性能。
一种纳米薄膜复合应变传感器及其制备方法应用

[实用新型]机器人力矩传感器-CN202121372654.9有效
发明人：雷卫武;徐承义;陈兆仁;刘素夫;徐建 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： G01L3/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种机器人力矩传感器。机器人力矩传感器包括外轮、内轮、多个应变力臂及多个惠斯通电桥电路。内轮位于外轮内，并与外轮同轴设置。每个应变力臂的两端分别与外轮及内轮固定连接。多个应变力臂的数量为大于或等于四的偶数。多个应变力臂相对于外轮的中心呈中心对称设置。每个惠斯通电桥电路包括四个分别位于不同的四个应变力臂上的应变电阻。每个应变力臂上设置有一应变栅。每个应变栅包括两个应变电阻。在每个应变栅中，两个应变电阻的长度方向交叉设置。上述机器人力矩传感器在具有较高的测量精度的同时还具有较高的灵敏度。
机器人力矩传感器

[实用新型]具有过载保护功能的高灵敏度薄膜扭矩传感器-CN202121184165.0有效
发明人：雷卫武;徐承义;陈兆仁;刘素夫;徐建 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01L3/10 文献下载
摘要：本实用新型提供的具有过载保护功能的高灵敏度薄膜扭矩传感器，包括外轮、内轮、连接杆和应变梁，内轮位于外轮的内部，且二者同轴设置，连接杆设置在外轮和内轮之间，且连接杆的两端分别与外轮和内轮连接，至少两组应变梁设置在外轮和内轮之间，外轮的内侧壁上设置有限位槽，应变梁的一端与内轮连接、另一端嵌置在限位槽内，每组应变梁相对内轮的中心点呈中心对称设置，应变梁上设置有应变电阻；外轮和内轮之间通过连接杆连接，再结合设置在外轮和内轮之间的应变梁以及应变梁上的应变电阻进行扭矩的检测，因此本实用新型提供的扭矩传感器具有更高的灵敏度和精度；另外通过在外轮上设置用于对应变梁进行限位的限位槽，能起到很好的过载保护功能。
具有过载保护功能灵敏度薄膜扭矩传感器

[实用新型]具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器-CN202121184865.X有效
发明人：雷卫武;徐承义;陈兆仁;刘素夫;徐建 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01L3/10 文献下载
摘要：本实用新型提供的具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器，包括外轮、内轮和应变梁，内轮位于外轮的内部，且二者同轴设置，至少两组应变梁设置在外轮和内轮之间以连接外轮和内轮，每组应变梁相对所述内轮的中心点呈中心对称设置，应变梁上设置有安装面，安装面上设置有应变电阻，任意一组应变梁上的安装面之间相互平行设置，任意两组应变梁上的安装面之间交叉设置，通过在应变梁的不同维面上制造扭矩检测薄膜电阻以形成扭矩检测惠斯通电桥，克服了粘贴应变片带来的固有缺陷，同时也提高了传感器的检测精度，其次，通过在外轮和内轮之间设置限位杆以及限位槽，能够有效的避免因负载过大而损坏传感器。
具有过载保护功能多维薄膜扭矩传感器

[实用新型]扭矩传感器-CN202121357519.7有效
发明人：雷卫武;徐承义;陈兆仁;刘素夫;徐建 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01L3/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种扭矩传感器。扭矩传感器包括外轮、内轮、连接梁、应变梁及四个应变电阻。内轮位于外轮内，并与外轮同轴设置。内轮的相对两个部位分别形成有第一卡槽及第二卡槽。连接梁的两端分别与外轮及内轮固定连接。应变梁依次卡持并固定于第一卡槽及第二卡槽内。应变梁的两端均与外轮固定连接。应变梁上形成有应变部。应变部位于内轮内。四个应变电阻均设置于应变部上，并电连接以形成惠斯通电桥电路。上述扭矩传感器在具有较小体积的同时，还兼顾较大的测量灵敏度。
扭矩传感器

[实用新型]扭矩传感器力臂结构及扭矩传感器-CN202120218114.9有效
发明人：徐承义;雷卫武;刘永年;张剑波;刘素夫 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G01L1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种扭矩传感器力臂结构及扭矩传感器。扭矩传感器力臂结构包括外圈、连接件及至少两个力臂。外圈具有第一连接位。连接件位于外圈内，并与外圈同轴设置。连接件上具有第二连接位。每个力臂的两端分别与外圈的内壁及连接件固定连接。每个力臂上设置有用于检测对应力臂上的应变信息的应变栅。载荷输入点在第一连接位处或第二连接位处。载荷输入点在第一连接位处时，载荷由第一连接位向力臂设置有应变栅的部位传导的传导路径呈非直线形。载荷输入点在第二连接位处时，载荷由第二连接位向力臂设置有应变栅的部位传导的传导路径呈非直线形。扭矩传感器力臂结构的设置，使得扭矩传感器在具有较小体积的同时，还兼顾较高的测量灵敏度。
扭矩传感器力臂结构

[发明专利]传感器芯体元件的制备方法-CN202110231010.6在审
发明人： 刘素夫;徐建;雷卫武;彭山 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2021-03-02 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种传感器芯体元件的制备方法。传感器芯体元件的制备方法包括步骤：提供一敏感弹性体，敏感弹性体包括弹性基体及制作于弹性基体上的敏感电路；对敏感弹性体进行均胶、曝光、显影、竖膜、蚀刻等处理，以得到传感器芯体；对传感器芯体进行二氧化硅镀膜，以在传感器芯体表面形成保护膜；利用二价酸酯溶剂去除传感器芯体焊盘位上的光刻胶及附着于光刻胶上的二氧化硅，以得到芯体元件；对芯体元件进行清洗处理；对清洗后的芯体元件进行烘干处理。上述方法的使用，在芯体元件的制备过程中可避免使用剧毒且环境极不友好的氢氟酸、氟化氨，降低了在芯体元件加工过程中对人体健康及生态环境所造成的伤害，使得传感器芯体元件的制备更为安全。
传感器元件制备方法

[发明专利]扭矩传感器力臂结构及扭矩传感器-CN202110114546.X在审
发明人：徐承义;雷卫武;刘永年;张剑波;刘素夫 -专利权人：松诺盟科技有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： G01L1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种扭矩传感器力臂结构及扭矩传感器。扭矩传感器力臂结构包括外圈、连接件及至少两个力臂。外圈具有第一连接位。连接件位于外圈内，并与外圈同轴设置。连接件上具有第二连接位。每个力臂的两端分别与外圈的内壁及连接件固定连接。每个力臂上设置有用于检测对应力臂上的应变信息的应变栅。载荷输入点在第一连接位处或第二连接位处。载荷输入点在第一连接位处时，载荷由第一连接位向力臂设置有应变栅的部位传导的传导路径呈非直线形。载荷输入点在第二连接位处时，载荷由第二连接位向力臂设置有应变栅的部位传导的传导路径呈非直线形。扭矩传感器力臂结构的设置，使得扭矩传感器在具有较小体积的同时，还兼顾较高的测量灵敏度。
扭矩传感器力臂结构

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