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[发明专利]蒸发镀膜设备-CN201010131954.8在审
发明人：杨明生;叶宗峰;刘惠森;范继良;王曼媛;王勇;张华 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2010-03-23 - 公布日： 2010-11-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸发镀膜设备，其包括设置于真空腔体内的绕丝机构、送丝机构、蒸发源机构及挡板组件，其中，蒸发源机构包括电极、膜厚传感器及固定于电极上的蒸发器，蒸镀过程中，膜厚传感器适时地检测沉积于其上的膜厚，系统根据检测到的膜厚及一定的转换公式可得出沉积在工件上的膜厚，以便通过沉积效率或沉积时间来控制需要沉积于工件上的膜厚，使工件上的膜厚精确，进而提高膜层质量；根据实际需要将蒸发丝缠绕于绕丝机构上，通过送丝机构将蒸发丝平稳、均匀地送到蒸发器上，延长了蒸发丝更换的周期，不会因为跟换蒸发丝而破坏真空腔体内的真空环境，提高蒸发镀膜形成的膜层质量；使蒸发镀膜设备具有较高的自动化程度。
蒸发镀膜设备

[发明专利]自动升降系统-CN201010131871.9在审
发明人：杨明生;郭业祥;刘惠森;范继良;王曼媛;王勇;张华 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2010-03-23 - 公布日： 2010-11-03 - 主分类号： B66F7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动升降系统，包括电连接的控制装置、受控于所述控制装置的驱动装置以及升降装置。升降装置与外部工作台连接，控制装置驱动该驱动装置从而使升降装置带动外部工作台进行直线往复运动。其中，该升降装置包括第一固定板、第二固定板、活动板、丝杠、丝杠螺母以及若干支撑柱。活动板设置于第一固定板及第二固定板之间，驱动装置固定于第一固定板上，丝杠螺母穿设并固定于活动板上，丝杠的一端穿过第一固定板并与驱动装置连接，另一端穿过丝杠螺母后连接于第二固定板上。支撑柱的一端固定于活动板上，另一端穿过第二固定板并凸伸于第二固定板之上，以与外部工作台连接。本发明运动精度高、可靠性高、低噪音、低污染且结构简单。
自动升降系统

[发明专利]遮光板机构及具有该遮光板机构的真空腔体-CN201010131967.5在审
发明人：杨明生;雷振宇;刘惠森;范继良;王曼媛;王勇;张华 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2010-03-23 - 公布日： 2010-11-03 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种遮光板机构，用于遮挡提供真空环境的真空腔体上的观察窗，包括转轴、挡板、把手及两轴座，所述轴座固定于所述腔体上且位于所述观察窗的两侧，所述轴座上开有轴孔，所述转轴旋转地插设于所述轴孔内，并且所述转轴至少一端开设有把手孔并伸出至相应轴孔外，所述把手滑动地插设于所述把手孔内，所述挡板位于两所述轴座之间并固定于所述转轴上，转动所述手把使所述挡板对所述观察窗呈遮挡或敞开状。遮光板机构安装于真空腔体的观察窗位置上，挡板在关闭状态时遮盖住整个观察窗，防止观察窗内的强光或带辐射光线射出，保证了真空腔体工作人员的安全和健康；另，本发明还公开了一种具有该遮光板机构的真空腔体。
遮光板机构具有空腔

[发明专利]真空蒸镀装置-CN201010131993.8在审
发明人：杨明生;王曼媛;刘惠森;范继良;王勇;张华 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2010-03-23 - 公布日： 2010-11-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空蒸镀装置，其包括传输机构、蒸镀机构、传感控制装置及真空机构，传输机构包括主腔体、闸门，传输组件及驱动器，主腔体两侧开设有闸口，闸门安装于所述闸口处，主腔体底部开设有连接口，驱动器与闸门及传输组件连接，驱动器驱动基板在传输组件上移动；蒸镀机构包括副腔体、挡板、动力组件、蒸发舟及蒸发源，蒸发舟安装于副腔体内，蒸发源放置于蒸发舟内，副腔体正对主腔体的连接口处开设有对接口，挡板安装于连接口与对接口之间；传感控制装置包括传感器及与控制器，控制器与传输组件及蒸发舟电连接；真空机构包括粗抽管道、真空泵以及闸阀，粗抽管道与副腔体连通，粗抽管道与真空泵相连接。
真空装置

[发明专利]挡板冷却装置-CN201010131868.7在审
发明人：杨明生;叶宗峰;刘惠森;范继良;王曼媛;王勇;张华 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2010-03-23 - 公布日： 2010-11-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种挡板冷却装置，包括连接座、连接件、冷却腔、冷却管、输出管、输入接口及输出接口，挡板通过连接座与旋转轴固定连接，旋转轴位于真空腔体外的端部套设有连接件，连接件与旋转轴枢接并与输入接口固定连接，输入接口与输出接口固定连接，旋转轴、连接件、输入接口及输出接口均沿旋转轴的轴向方向开设有中空结构并相互连通形成冷却腔，输出管悬于冷却腔内并贯穿旋转轴、连接件、输入接口且与输出接口固定连接，冷却管铺设于挡板上，其输入端与旋转轴连通，输出端与输出管连通，输入接口、冷却腔、冷却管、输出管、输出接口连通形成冷却介质的循环回路，其冷却效果好、附着力强、清洁度高并能降低真空腔体温度、提高膜层形成质量。
挡板冷却装置

[实用新型]组合销钉-CN200920269167.2无效
发明人：杨明生;刘惠森;范继良;郭远伦;余超平;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-12-30 - 公布日： 2010-10-27 - 主分类号： F16B19/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种组合销钉，所述组合销钉包括销杆、销体、销尾及弹性体，所述销体开设有空腔，所述空腔贯穿所述销体，所述销杆的下端滑动地卡设于所述空腔内，所述销杆的上端穿过所述空腔外并凸伸出所述销体的上端，所述销尾的上端可拆卸地固定于所述空腔内，所述销尾的下端穿过所述空腔外并凸伸出所述销体的下端，所述弹性体容设于所述空腔内并抵触于所述销杆的下端和所述销尾的上端之间。所述组合销钉同时具有导向、定位和缓冲等功能，因此在受到载体抵压的时候不会弯折变形、且不会损坏与其连接的载体或使载体变形。
组合销钉

[实用新型]腔门固定结构及具有该结构的密封腔体机构-CN200920269153.0无效
发明人：杨明生;刘惠森;范继良;郭叶祥;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-12-30 - 公布日： 2010-10-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种腔门固定结构，包括安装座、压杆、第一转动轴、手轮以及卡座，所述安装座包括底座以及从所述底座延伸出的两侧块，所述底座对应两所述侧块的外侧分别设有安装孔，两所述侧块分别开有安装座轴孔，所述压杆一端夹持于两所述侧块之间，所述压杆对应所述轴孔开有压杆轴孔，所述转动轴穿过所述安装座轴孔以及所述压杆轴孔，所述压杆的另一端安装有手轮，所述卡座一端固定于所述腔门上，另一端设有卡槽，所述卡座设于所述侧块与所述手轮之间，并通过所述卡槽与所述压杆固定卡接。只需把压杆扳动到卡座的卡槽内，然后旋紧手轮，便可把腔门牢固的压紧。使用方便，易于制造和安装，而且可靠性高。
固定结构具有密封机构

[实用新型]同步传输装置及具有该装置的直线传输系统-CN200920274208.7无效
发明人：杨明生;刘惠森;范继良;雷振宇;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-12-01 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种直线传输系统的同步传输装置，包括用于承载器件的承载体、定位导向轨道、基座、滑动机构及若干相互对应的驱动机构和传动机构，驱动机构与所述传动机构连接，所述传动机构与基座枢接，所述传动机构分布于承载体的一侧且与承载体啮合，所述定位导向轨道平行地铺设于基座两侧并位于承载体下方，所述滑动机构呈滚轮结构，所述滑动机构设置在承载体上并与所述定位导向轨道滑动地卡合连接。所述同步传输装置整体结构紧凑、维修与维护方便、具有较高清洁度，且整个传输过程平稳、准直度高。本实用新型还公开了一种能够保证器件的平稳、高准直度地传输且具有较高稳定性的直线传输系统。
同步传输装置具有直线系统

[实用新型]真空热处理腔-CN200920269152.6无效
发明人：杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;郭远伦;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-12-30 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空热处理腔，包括底座、内腔壳及腔盖，内腔壳呈中空结构，内腔壳的下端与底座密封连接，内腔壳的上端与腔盖密封连接，底座、内腔壳及腔盖形成密封的处理腔，其中，还包括呈中空结构的外腔壳，内腔壳收容于外腔壳内，外腔壳的下端与底座密封连接，外腔壳的上端与腔盖密封连接底座、腔盖、内腔壳的外壁及外腔壳的内壁形成密闭的传热腔，传热腔内设置有导流板，导流板自底座至腔盖呈螺旋状的密封连接与内腔壳的外壁与外腔壳的内壁之间，导流板、内腔壳的外壁与外腔壳的内壁形成螺旋通道。本实用新型真空热处理腔能够通过流体将处理腔原位的冷却或者是加热，能够迅速降低或者提高真空热处理腔内温度的真空热处理腔。
真空热处理

[实用新型]真空腔定位装置-CN200920274209.1在审
发明人：杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;郭远伦;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-12-01 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空腔定位装置，适用于对提供真空环境的真空腔体进行密封的腔盖进行定位及支撑，所述真空腔定位装置包括支架、支臂、铰链轴及定位杆，所述支架的起始端与所述真空腔体固定连接，所述支臂的起始端与所述腔盖固定连接，所述支架的末端与所述支臂的末端相互重叠且均开设有相互对应的容置孔，所述铰链轴枢接地穿过所述容置孔使所述支架与所述支臂枢接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心为圆心等径地开设有定位孔，所述定位杆可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔内实现支臂与支架的固定。本实用新型具有定位及支撑功能，结构简单、性能安全可靠。
空腔定位装置

[实用新型]薄板传输装置-CN200920269156.4在审
发明人：杨明生;刘惠森;范继良;王银果;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-12-30 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种薄板传输装置，包括驱动电机、主动滚动轴、被动滚动轴、主动滚轮、被动滚轮传动带以及底座，底座包括两侧板以及连接两所述侧板的连接座，主动滚动轴旋转的连接于两侧板之间，且主动滚动轴的一端穿过侧板与驱动电机固接，被动滚动轴旋转的连接于侧板上，主动滚轮与被动滚轮固套于相应的滚轮轴上，主动滚轮及被动滚轮的上端位于同一平面上，两侧板之间对应滚轮的上方形成传输区域，传动带缠绕主动滚轮及被动滚轮形成闭合回路，传动带的横截面为圆形或者所述传动带与所述薄板接触的部分为弧形。薄板传输装置的传动带的横截面为圆形或者传动带与所述薄板接触的部分为弧形，使传动带与薄板保持线接触，提高了薄板表面的光洁度、良品率。
薄板传输装置

[实用新型]真空镀膜用遮挡装置-CN200920269172.3在审
发明人：杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-12-30 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空镀膜用遮挡装置，包括支撑座、驱动机构、转动轴以及挡板，所述驱动机构包括马达、主动齿轮和从动齿轮，所述马达固定在所述支撑座上，所述马达的输出轴与所述主动齿轮枢接，所述从动齿轮与所述主动齿轮啮合，所述转动轴的一端与所述从动齿轮枢接，另一端密封地穿入所述真空腔体的腔壁并与所述挡板垂直固定连接，所述挡板容置于所述真空腔体内且位于所述真空腔体内的所述蒸发源与所述处理板之间，所述驱动机构驱动所述转动轴，所述转动轴带动所述挡板隔离或开通所述蒸发源与所述处理板的空间连接。本实用新型的真空镀膜用遮挡装置的结构简单、蒸镀的效率高且可延长蒸发源的使用寿命。
真空镀膜遮挡装置

[实用新型]汽缸式升降装置-CN200920274211.9在审
发明人：杨明生;刘惠森;范继良;雷振宇;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-12-01 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种汽缸式升降装置，包括安装座、汽缸马达、托架及导向组件，汽缸马达安装在安装座上，所述汽缸马达具有活塞杆，活塞杆一端与汽缸马达活动连接，另一端与托架固定连接，导向组件包括导向轴以及滑动地套于导向轴外的轴套，导向轴的一端与托架固定连接，导向轴的另一端悬空，导向轴的轴向平行于活塞杆的长度方向，轴套固定设置在托架与安装座之间。由于本实用新型的汽缸式升降装置利用汽缸马达提供动力，通过活塞杆输出动力来使托架做升降运动，传动简单，通过导向组件对托架的运动起导向作用，有效的保障了升降的平稳、精确、可靠。其组合新颖，整体结构紧凑且易于控制，推动距离可根据需要选择不同行程的汽缸马达和导向组件进行调节。
汽缸升降装置

[实用新型]齿条传动侧隙调节装置-CN200920353428.9无效
发明人：杨明生;刘惠森;范继良;余超平;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-12-23 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： F16H55/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种齿条传动侧隙调节装置，适用于与齿轮配对使用，包括齿条与支架，齿条安装在支架上并与齿轮啮合，支架的一侧水平凸伸出台阶，该台阶具有相互垂直的安装面和支承面，安装面呈水平状，安装面上开设有螺孔，齿条上开设有与螺孔一一对应的调节孔，一弹性元件的一端固定在支承面上，另一端与齿条抵触，一调节螺钉的一端与螺孔啮合，另一端穿设于调节孔中并在调节孔中可水平地滑动，齿轮与齿条啮合时调节孔沿调节螺钉滑动。利用弹性元件的弹性性能来实现调节孔相对调节螺钉具有可调距离，使齿轮与齿条啮合时相互之间的作用力能达到动态平衡，自动调节齿轮齿条中心距，使齿条紧贴齿轮啮合，达到调节侧隙的目的，使传动更准确、平稳。
齿条传动调节装置

[实用新型]电阻式蒸镀装置-CN200920353304.0在审
发明人：杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;王曼媛;王勇 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2009-12-23 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电阻式蒸镀装置，其包括蒸发舟以及分别与所述蒸发舟的两末端相连的两支撑台。其中，每一所述支撑台包括支撑座、电极块、压紧件。所述支撑座具有支撑所述蒸发舟的支撑表面，所述蒸发舟的末端固定于所述支撑表面上。所述电极块具有承载所述支撑座的配合表面，所述支撑座连接于所述配合表面上以实现电连接。所述压紧件抵压于所述蒸发舟的末端之上并与所述支撑座可拆卸地连接。本实用新型电阻式蒸镀装置结构简单、更换便捷，而且电连接性能良好，从而使得工作效率高、稳定性好，且使用寿命长久。
电阻式蒸镀装置