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[发明专利]一种固体激光器的铌酸锂封锁电压设置方法-CN202111643346.X有效
发明人：曾璞;罗杰平;温锋;张伟;周忠燕;罗辉;刘从吉;陈君润;袁菲;余吉庆;胡少沛;王杰;刘海淞;张祎景;石磊;郑皓予;赖冬寅;龚磊 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01S3/115 文献下载
摘要：本发明属于固体激光器技术领域，具体涉及一种固体激光器的铌酸锂封锁电压设置方法。所述方法首先分别找出常温、高温和低温下铌酸锂晶体的封锁区间，然后找出常温封锁区间、高温封锁区间和低温封锁区间的共同区间，共同区间的最小封锁电压值表示为Vmin，最大封锁电压值Vmax；计算出共同封锁区间的最小封锁电压和最大封锁电压的中间值V＝(Vmax+Vmin)/2，则将V设置为激光器的铌酸锂封锁电压值。该方法对铌酸锂封锁电压设置方法进行了优化，使得在同样质量的铌酸锂晶体条件下，仅仅通过改变其封锁电压的调试设置方法，便可以提高铌酸锂晶体合格率，满足激光器使用要求。
一种固体激光器铌酸锂封锁电压设置方法

[发明专利]一种GD414C硅橡胶电阻率改变方法-CN202111091177.3有效
发明人：罗杰平;曾璞;刘从吉;陈君润;郑皓予;龚磊;关晟;张伟 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B29C35/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种GD414C硅橡胶电阻率改变方法，其包括如下步骤：S1：加热真空室；S2：将未固化的硅橡胶GD414C放置于真空室内，并通入高纯氮气；S3：保持真空室的温度和压强，等待硅橡胶完全固化后，自然冷却取出。本发明用了对未固化的GD414C硅橡胶放置在惰性气体高温高压环境下进行固化，可以在不改变其固化后化学结构的情况下，改变其固化后的电阻率，拓展了GD414硅橡胶可能的应用范围，具有较大的应用前景。
一种 gd414c 硅橡胶电阻率改变方法

[发明专利]一种提高硅APD制结工艺精度的方法-CN202011592448.9有效
发明人：邓杰;王鸥;李潇;郝昕;余丽波;谢修敏;刘从吉;宋海智 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种提高硅APD制结工艺精度的方法，其中，包括：活性区p、正面接触层n+、背面接触层p+制结工艺温度依次降低，工艺时间依次减少，以减少多步高温工艺对结深造成误差积累；在制结工艺过程中通入一定量的三氯乙烯进行含氯氧化，通过三氯乙烯在高温下分解产生水气控制氧化层生长速率，以抵消温度差异对结深造成的影响。本发明在硅APD制造工艺基础上，减少了多步高温工艺对结深造成的误差积累，尤其提高了硅APD活性区p、主结掺杂区n+的制结工艺精度，在制结工艺过程中控制三氯乙烯流量进行含氯氧化，通过三氯乙烯在高温下分解产生水气控制氧化层生长速率，抵消温度差异对结深造成的影响，因此提高了制结工艺精度。
一种提高 apd 工艺精度方法

[实用新型]一种光敏芯片钝化结构-CN202122177079.3有效
发明人：罗杰平;曾璞;刘从吉;周自希;赖冬寅;龚磊;罗丹;李敬;张志波;王兴伦;石晨 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本实用新型属于硅基探测器技术领域，旨在提供一种减少干扰，合格率高，易于实现的硅基探测器的光敏芯片钝化结构。本实用新型光敏芯片钝化结构包括保留原有在芯片表面的氧化硅钝化膜和聚酰亚胺膜，在氧化硅钝化膜同聚酰亚胺膜之间增加一层氮化硅钝化膜，用氮化硅钝化膜包裹氧化硅钝化膜，然后在用聚酰亚胺膜各个方向包裹氮化硅钝化膜，形成完整包裹型三层钝化膜结构。本实用新型钝化结构有效减少了离子污染，消除了器件在背景光照下输出干扰信号，提高了器件合格率。
一种光敏芯片钝化结构

[发明专利]一种GD414C硅橡胶红外吸收谱改变方法-CN202111640484.2在审
发明人：曾璞;刘从吉;罗杰平;龚磊;陈方军;公丕华;赖冬寅;王万祎;周忠燕;胡少沛;李刚;余吉庆;陈君润 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B29C59/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种GD414C硅橡胶红外吸收谱改变方法，其包括如下步骤：S1：将GD414C硅橡胶样品放置于真空室中的样品台上，将真空室抽真空；S2：真空室加热至85℃；S3：样品台4底部和上方的电压平板加电压，并通过样品台上方射频电源对GD414C硅橡胶样品进行电子轰击。本发明采用了在高温真空环境下对GD414C硅橡胶进行电子轰击的办法，目前的真空技术及电子轰击技术装置已经相当成熟，所以本发明易于实现，且成本较低。
一种 gd414c 硅橡胶红外吸收改变方法

[实用新型]一种红外-紫外信号转换装置-CN202122206292.2有效
发明人：罗杰平;曾璞;刘从吉;周自希;赖冬寅;龚磊;罗丹;李敬;石磊;牟惠蓉 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种红外‑紫外信号转换装置，其包括：分路器和同轴布置在分路器后方的硅基F‑P薄膜谐振腔，分路器透射红外并反射紫外，红外入射信号通过分路器垂直入射到硅基F‑P薄膜谐振腔上，同时紫外参考信号通过分路器垂直入射到硅基F‑P薄膜谐振腔上，经由硅基F‑P薄膜谐振腔出射紫外出射信号。本实用新型采用了硅基薄膜结构，基于硅基材料制备技术成熟的特点，达到了成本低、体积小、集成化高等效果。
一种红外紫外信号转换装置

[发明专利]一种非晶硅材料电阻率调节方法-CN202011592450.6在审
发明人：曾璞;陈方军;刘从吉;公丕华;赖冬寅;王万祎;梁松林;周忠燕;李刚;陈君润 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种简单可行的非晶硅材料电阻率的调节方法，其中，包括：采用化学气相沉积PECVD硅烷辉光放电制备非晶硅材料，平行板结构装置衬底放在具有温控装置的平板上，射频电压加在上下平行板之间；反应腔体内采用热丝控制气体温度，在辉光放电前，先将沉积室温抽真空到5x10‑4Pa；然后在辉光放电沉积过程的反应室中，通入少量N2O与硅烷作为非晶硅材料反应气体，并且在反应过程中使反应腔中保持46Pa～55Pa的压强，对衬底进行加热到300℃，让上下平板间出现电容耦合式的气体放电，将氧原子掺杂入非晶硅材料中，使氧原子在非晶硅中与Si形成新键，形成含氧的氢化非晶硅。本发明提出的一个非晶硅材料电阻率的调节方法，简单可行。
一种非晶硅材料电阻率调节方法

[发明专利]一种改善探测器芯片清洗工艺碎片的工装夹具-CN202011587479.5在审
发明人： 刘从吉;蒲勋;胡卫英;王鸥;周红轮;钱煜;曾璞 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及一种改善探测器芯片清洗工艺碎片的工装夹具，属于芯片制造领域。本发明的工装夹具的清洗舟高度为65mm，为50mm直径的硅片留有足够的空间；所述清洗舟的顶部设置一个压条，使得硅片在清洗的过程中被限制在了清洗舟内部；所述清洗舟两端各增加了一个提手，便于清洗硅片的操作人员操作。本发明能提高清洗效率并大大降低了清洗过程中由于水流不稳定造成的碎片，本发明在硅基四象限激光探测器光敏芯片清洗过程中的碎片率明显改善，并且改进的方法应用到其余科研项目上效果明显。
一种改善探测器芯片清洗工艺碎片工装夹具

[发明专利]一种象限类光电探测器通电振动试验工装-CN201811594505.X有效
发明人：钱煜;蒲勋;周小燕;柯尊贵;袁鎏;孔繁林;刘从吉 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G01D18/00 文献下载
摘要：本发明属于光电探测器测试技术领域，具体涉及一种象限类光电探测器通电振动试验工装。该工装包括器件工装座、器件连接器和器件压环。本发明在原有不可通电振动试验工装的基础上进行改进，加入器件连接器装置，并用导线将各插针引出。将器件光窗朝下放入工装孔中，器件背面引脚插入连接装置，并用压环固定在器件工装座上，使其实现通电振动试验的功能。器件压环为中空结构，可将引线由压环中心引出，并不影响压环的压接使用。
一种象限光电探测器通电振动试验工装

[发明专利]非晶硅光学薄膜折射率调节方法-CN201210566151.4无效
发明人：曾璞;周小燕;苏洁梅;刘从吉;陈逢彬;赖冬寅;柯尊贵;罗成思;袁菲 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： C23C16/24 文献下载
摘要：本发明提出的一个非晶硅薄膜折射率的调节方法，简单可行，折射率可调节范围较大，精度易于控制。本发明可以通过下述技术方案予以实现：在采用化学气相沉积PECVD硅烷辉光放电制备非晶硅薄膜中，平行板结构装置衬底放在具有温控装置的平板上，射频电压加在上下平行板之间；反应腔体内采用热丝控制气体温度，在辉光放电前，先将沉积室温抽真空，保持50Pa压强；然后在辉光放电沉积过程的反应室中，通入少量N2O与硅烷作为非晶硅薄膜反应气体，同时掺杂比例低于百分之十的微量氧元素；对衬底进行加热，让上下平板间出现电容耦合式的气体放电，使氧原子在非晶硅中形成载流子复合中心，将氧原子掺杂入非晶硅薄膜中，形成含氧的氢化非晶硅。
非晶硅光学薄膜折射率调节方法

[发明专利]聚酰亚胺钝化膜钝化制备工艺-CN201210566860.2无效
发明人：邱月瓴;苏洁梅;刘期斌;刘从吉;周小燕;刘小会;王鸥;胡卫英 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提出的一种聚酰亚胺钝化膜制备工艺，旨在提供一种工艺可靠，返工几率低，合格率高，易于实现的硅基光电探测器芯片表面钝化膜的制备工艺方法。本发明通过下述技术方案予以实现：在曝光和显影工序步骤之间增加显影前检查、补正胶步骤，及时对曝光后的光刻胶进行检查，对钝化区域内正胶破损的芯片，用正胶覆盖针孔和破损处，然后放入85℃的烘箱烘10min后进入下步工艺。本发明在显影前增加了一步“镜检、补正胶”工艺，虽然光刻工艺的操作步骤增多了，但是工艺质量得到很好的控制，有效消除了产生的工艺针孔，使PI-5钝化膜制作工艺一次性合格率大幅提高，减少了返工的数量，降低了成本。
聚酰亚胺钝化制备工艺

[实用新型]光敏芯片钝化结构-CN201220720861.3有效
发明人：王鸥;邱月瓴;曾璞;刘小会;周红轮;胡卫英;刘从吉;罗成思 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本实用新型提出的一种光敏芯片钝化结构，旨在提供一种减少干扰，合格率高，易于实现的硅基探测器的光敏芯片钝化结构。本实用新型通过下述技术方案予以实现：硅基探测器的光敏芯片钝化结构，包括光刻保留在工艺芯片表面的氧化硅钝化膜，氧化硅钝化膜同P型隔离区氧化硅断开，用聚酰亚胺胶膜包裹P型隔离区氧化硅钝化膜，各个方向包裹了氧化硅钝化膜，形成完整包裹型双层钝化膜。本实用新型包含了聚酰亚胺与氧化硅薄膜，芯片表面保留氧化硅钝化膜，并同P型隔离区氧化硅断开，让聚酰亚胺胶包裹隔离区氧化硅，形成完整包裹型钝化膜，有效减少了离子污染。消除了器件在背景光照下输出干扰信号，减少了不合格品的数量，提高了器件性能。
光敏芯片钝化结构

[发明专利]多象限光电探测器高低温测试系统-CN201110370352.2无效
发明人：钱煜;余永琦;周小燕;苏洁梅;王鸥;李潇;郭勇;周红轮;何伟;祁祖峰;向秋澄;柯尊贵;刘从吉;胡卫英 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2011-11-21 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01R31/01 文献下载
摘要：本发明一种多象限光电探测器高低温测试系统，用于测试多象限光电探测器在高低温条件下的电参数。它包括，一个电连接直流稳压电源的示波器，内置测试夹具的高低温箱，在示波器与所述高低温箱之间，电连接有一个带有选通控制面板的选通电路控制箱，选通控制面板上设有对应测试器件位置的数码管信号灯，高低温箱输入端相连选通电路控制箱的输出端，高低温箱输出端相连激光光源，激光光源通过光纤耦合头连接被测试器件。本发明可以一次性测试多只多象限光电探测器，相比以往每次只能测试一只器件的测试系统，可以节约大量的时间和人力。由于器件在测试时一直置于高低温箱中，可以保证其环境温度的稳定。使测试状态真实可靠。
象限光电探测器低温测试系统

[发明专利]带光子陷阱的光电探测芯片-CN201010593239.6无效
发明人：王鸥;王平秋;周红轮;郭勇;李丰;马孜;苏洁梅;何伟;石柱;钱煜;向秋澄;覃文治;李潇;刘小会;周小燕;刘从吉;柯尊贵;胡卫英 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2010-12-17 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本发明提出的一种带光子陷阱的光电探测芯片，旨在提供一种可以解决传统直接光电探测芯片元件在吸收长度较长的波长时响应速度和量子效率的矛盾限制，实现高速和高量子效率的兼容，适合各种半导体材料的芯片，增强波长范围可以覆盖芯片全部工作波长范围的光电探测芯片。本发明通过下述技术方案予以实现：它具有光电探测元件(PD)，在所述PD芯片本体(12)上制有由反射腔体和微透镜阵列构成的光子陷阱，该光子陷阱使到达芯片表面光束经过微透镜阵列进入反射腔体，局限在芯片吸收区中反复反射，直至被完全吸收。
光子陷阱光电探测芯片

[实用新型]彩色定距绳-CN92214294.7无效
发明人：陈明祥;刘从吉 -专利权人：射洪县农技站;四川省射洪县城北塑料厂
申请日： 1992-03-19 - 公布日： 1992-09-23 - 主分类号： G01B3/02 文献下载
摘要：本实用新型是彩色定距绳，用延伸率小的绳带染成间距相等的不同色彩段，每1尺和每1丈长度处分别用另一种色彩作标记。具有简单、方便，易于推广应用；定距准确，能保证密度合理，定距栽种的植物行株距整齐一致，通风透光性好，提高农作物的产量；色泽鲜明，经久耐用；价格低廉等特点。适宜栽种水稻、玉米、棉花、油菜、蔬菜、树苗等植物使用。
彩色定距绳

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