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- [发明专利]一种微波等离子清洗机-CN202010696231.6有效
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刘依婷;刘争辉;万军;蔡晋辉
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中国计量大学
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2020-07-20
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2023-06-13
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H01J37/18
- 本发明公开了一种微波等离子清洗机，包括上料装置、等离子清洗本体，所述的上料装置包括门把手，电磁门、观察窗、产品支架、载物板、真空吸盘、导轨，所述的等离子清洗本体包括外壳、微波屏蔽板、微波屏蔽罩，石英腔体、微波本体、微波腔、电源、PLC、气体流量控制器、三通配管、真空计、电风扇、微波开关、电磁门开关，控制面板，底座，石英腔体安装在微波屏蔽罩内部，微波腔固定在微波屏蔽板上，微波本体安装在微波腔上部，三通配管固定于出气法兰，与石英腔体相通，真空计固定在三通配管上部，气体流量控制器通过固定板固定在底座上。将待清洗产品放置在产品架上，送入石英腔体，对电子产品进行清洗，清洗效率高。
- 一种微波等离子清洗
- [实用新型]一种ALD镀膜装置-CN202121001415.2有效
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刘争辉;钱丽娟
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中国计量大学
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2021-05-11
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2021-12-03
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C23C16/455
- 本实用新型公开了一种ALD镀膜装置，包括进料装置、镀膜装置，所述进料装置包括步进电机、滚珠丝杠、连接板、气缸、安装台、样品槽、进料腔，所述镀膜装置包括缓冲隔离腔、外腔、前躯体存储器、匀气板、进气法兰、出气法兰，所述步进电机固定在外腔内壁，电机与滚珠丝杠相连，样品槽固定在安装台上，进料腔固定于外腔侧面，所述缓冲隔离腔位于外腔内部，前躯体存储器和进气法兰均安装在外腔底面，并与缓冲隔离腔相通，出气法兰安装在外腔侧面，与外腔侧面的通孔相连。将待镀样品固定在样品槽内部，利用滚珠丝杠和气缸的协调作用依次对样品进行如下循环操作：通入前躯体A,吹扫氮气，通入前躯体B,吹扫氮气，整个镀膜过程高效有序。
- 一种ald镀膜装置
- [发明专利]一种电驱动轴非调质钢材料及生产工艺-CN202010262911.7有效
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丁金根;边翊;金康;刘争辉
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中机精密成形产业技术研究院（安徽）股份有限公司
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2020-04-07
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2021-08-17
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B23P15/14
- 本发明实施例公开了一种电驱动轴非调质钢材料，按照质量百分比由如下原料组成：C元素0.48～0.52％、Si元素0.30～0.50％、Mn元素1.00～1.40％、P元素0～0.02％、S元素0～0.02％、Cr元素0～0.03％、Mo元素0～0.03％、Ni元素0～0.03％、Cu元素0～0.025％、Ti元素0.015～0.020％、V元素0.05～0.15％、余量为Fe元素；在本发明中还提供了一种电驱动轴的生产工艺，包括如下步骤：下料和控轧、控冷、粗加工、中频感应淬火、精加工和探伤；本发明通过采用新材料，制作流程减少了等温正火和渗碳淬火工序，代替锻后控制冷却和中频局部表面淬火，提高加工效率50％和降低生产成本15％，精加工过程中采用双头车床和搓齿冷成形工艺加工，提高生产效率18％，减少产品的加工多次定位，稳定产品质量，同时采用了环保方式的热处理工艺，获得显著社会效益。
- 一种驱动轴非调质钢材料及生产工艺
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