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[发明专利]应用于半导体的高纯度、高浓度、小型化臭氧发生器-CN202110485361.X在审
发明人： 冷白羽;白敏菂 -专利权人：大连博羽环保技术开发有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：本发明公开了应用于半导体的高纯度、高浓度、小型化臭氧发生器，所述高压放电组件为一体化高压放电组件；所述高压放电区域采用超窄间隙放电结构，该超窄间隙为0.025~0.1mm之间，所述高压放电组件的长度为兼顾臭氧产量和精加工精度的最大长度；所述氧气进口壳体、臭氧出口壳体、低压接地极板各为独立部件，相互之间采用多个螺栓连接；所述高压放电组件的厚度为0.92~2.2mm之间，用于兼顾电介质的最小耗能以及避免安全隐患；所述高压放电组件的电介质是通过改进、能够阻止放电的电介质材料；本发明将经过改造能够阻止放电的电介质材料、一体化高压放电组件、确保低压地电极和电介质之间为0.025~0.1mm的精加工结构进行有机结合，解决了本领域长期以来臭氧生产浓度不高技术难题。
应用于半导体纯度浓度小型化臭氧发生器

[发明专利]控制烟气中纳米级微细颗粒污染物的装置及方法-CN201810074185.9在审
发明人： 冷白羽;白敏菂 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2018-01-25 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： B03C3/01 文献下载
摘要：本发明属于高频交变电场、静电电场建立及其应用技术领域，涉及控制烟气中纳米级微细颗粒污染物的装置及方法。装置主要包括单极性离子源、荷电凝并装置、直流高压电源、微细颗粒污染物浓度测试仪、电收尘器、绝缘套管和烟道。将单极性离子源和荷电凝并装置均置于烟道中，单极性离子源将O2电离成单极性离子O2‑或O2+，单极性离子与烟道中烟气一并进入荷电凝并装置，烟气中微细颗粒污染物与单极性离子在交变电场中发生碰撞凝并成粒径大于4μm颗粒污染物，再经电收尘器捕集成固体颗粒回收物，变废为宝。本发明具有一次性投资和运行成本成倍降低特点，又不产生任何新污染物，对环境零污染。
单极性离子微细颗粒污染物烟气荷电凝并烟道电收尘器纳米级高频交变电场固体颗粒回收应用技术领域直流高压电源颗粒污染物浓度测试仪一次性投资极性离子交变电场静电电场绝缘套管运行成本零污染电离成粒污染物

[发明专利]一种低温氧等离子体超净水清洗硅片系统-CN201510500862.5有效
发明人：白敏菂;冷白羽 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2015-08-16 - 公布日： 2017-08-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种低温氧等离子体超净水清洗硅片系统与方法，其特征在于该系统主要包括等离子体源、高频高压电源、气液溶解器、气液混合器、气液分离器、剩余低温氧等离子体气体消除器、低温氧等离子体水溶液浓度检测仪、硅片清洗槽、硅片清洗支架、阀体、过滤器、离心泵、止回阀、流量计等。清洗方法是把制取浓度为20mg/L～50mg/L的低温氧等离子体超净水注入硅片清洗槽中，在水温为5℃～40℃时，清洗硅片时间为2s～1min，去除硅片表面有机污染物、金属沾污物、颗粒物和自然氧化膜，去除率高于O3/HF、SPM(H2SO4/H2O2)和HPM(HCl/H2O2)等传统方法。
一种低温等离子体净水清洗硅片系统

[发明专利]一种柴油机尾气污染物处理系统-CN201510646195.1在审
发明人：白敏菂;冷白羽 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2015-10-01 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： F01N9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种柴油机尾气污染物处理系统，该系统主要包括非平衡态氧等离子体源、高频高压电源、高频高压变压器、高频高压电源控制器、湿度调节器、湿度控制器、温度调节器、温度控制器、荷电凝并器、负离子源、中和吸收器、剩余非平衡态氧等离子体消除器、吸附罐等。该系统将非平衡态氧等离子体注入柴油机尾气排放烟道上的消音器中，消除柴油机尾气中NOx、SO₂、HC和碳粒等污染物，消除效率分别达到96％、85％、97％、98％。
一种柴油机尾气污染物处理系统

[发明专利]一种低温氧等离子体深度降解废水中难降解有机污染物系统-CN201510392162.9在审
发明人：白敏菂;冷白羽 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2015-07-04 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： C02F9/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种低温氧等离子体深度降解废水中难降解有机污染物系统，属于有机废水资源化利用技术，涉及一种处理含有难降解有机污染物废水资源化的系统及方法。其特征在于该系统包括废水初级处理系统、反应塔、低温氧等离子体产生器、高频高压电源、低温氧等离子体浓度在线检测仪、功率调控器、剩余氧等离子体消除器等。深度降解废水中难降解有机污染物方法：含有难降解有机污染物废水从反应塔上端注入；低温氧等离子体产生器形成的低温氧等离子体从反应塔下端进入反应塔中，在反应塔中低温氧等离子体深度降解废水中难降解有机污染物，有机污染物COD浓度从148.4mg/L降至27.4mg/L；反应后剩余低温氧等离子体经剩余氧等离子体消除器还原成氧气排空。
一种低温等离子体深度降解水中有机污染物系统

[发明专利]一种低温氧等离子体消除烟气中氮氧化物系统-CN201510500882.2在审
发明人：白敏菂;冷白羽 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2015-08-16 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种低温氧等离子体消除烟气中氮氧化物系统与方法，其特征在于该系统主要包括低温氧等离子体产生器、高频高压电源、高频高压变压器、高频高压控制器、温度调节器、湿度调节器、负离子发生器、荷电凝并器、电除酸雾系统、剩余氧等离子体消除器、气体流量控制器、温度和湿度传感变换器件、管道、气瓶、流量计和阀体等。处理方法是：配制烟气经温度调节在5℃～120℃；再经湿度调节器调节在6％～15％；高频高压电源、低温氧等离子体产生器将氧气加工成高浓度低温氧等离子体，经管道输入主管道中，在主管道低温氧等离子体将烟气中氮氧化物氧化成硝酸雾，酸雾经与离子碰撞荷电凝并后经电除酸雾系统收集成硝酸溶液。
一种低温等离子体消除烟气氧化物系统

[发明专利]一种消除烟气中粒径小于二点五微米的二次颗粒前体物方法-CN201310746396.X无效
发明人：白敏菂;冷白羽 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： B01D53/60 文献下载
摘要：一种消除烟气中粒径小于二点五微米的二次颗粒前体物方法，属于燃烧学、环境工程、高电压技术、气体电离放电及等离子体技术等领域，涉及一种利用氧活性粒子注入烟道中消除烟气中粒径小于二点五微米的二次颗粒大气污染物的方法。其特征把氧活性粒子O2+、O3注入烟道中，O2+与烟气气中水反应生成羟基自由基OH，O3与气体中NO反应生成NO2，OH与烟气中NO2、SO2反应生成硝酸、硫酸雾，酸雾经电除酸雾器回收成资源物资硝酸、硫酸溶液；OH与VOC反应生成CO2、H2O；PM2.5二次颗粒前体物消除率达到85%以上。本发明的效果和益处是不用添置庞大设备，不用任何催化剂、氧化剂和还原剂，进而大幅度降低一次投资和运行成本。
一种消除烟气粒径小于二点五微米二次颗粒前体物方法

[发明专利]一次颗粒物扩散消除方法及其装置-CN201310224083.8无效
发明人：白敏菂;毛首蕾;李超群;朱玉鹏;冷白羽 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2013-06-06 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： B03C3/016 文献下载
摘要：一次颗粒物扩散消除方法及其装置属于环境科学与工程技术领域，涉及注入单极性离子通过扩散荷电增粗使PM2.5荷电增粗而后捕集消除的方法及其装置。其特征在于它包括单极性离子产生部分、扩散荷电部分和电捕集部分，将PM2.5一次颗粒物和高浓度单极性离子一并注入高频高压交变电场，经扩散荷电凝聚增粗成粒径＞2μm一次颗粒物，后在静电电场作用力作用下被捕集，消除了PM2.5一次颗粒物污染，消除率达到85%～99.8%。本发明为消除PM2.5一次颗粒物大气污染提供一种有效的方法，也可用于除尘器的超微细粉尘扩散荷电凝聚预处理上，且具有捕集效率高、一次投资、运行成本、能耗等均大幅度的降低等优点。
一次颗粒扩散消除方法及其装置

[发明专利]一种颗粒物扩散荷电增粗的方法-CN201310225173.9无效
发明人：白敏菂;毛首蕾;朱玉鹏;李超群;冷白羽 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2013-06-06 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： B03C3/34 文献下载
摘要：一种颗粒物扩散荷电增粗的方法，属于环境工程等技术领域。其特征在于把PM0.1一次颗粒物与单极性离子一并注入高频高压交变电场中，单极性离子在高频高电压交变电场中进行103～104次上下往复运动，每个PM0.1一次颗粒物与单极性离子发生数万次，甚至数十万次碰撞荷电增粗，进而使其粒径增大10～103倍，凝聚成粒径＞2μm一次颗粒物。本发明的效果和益处是为消除PM0.1一次颗粒物大气污染物提供一种有效的方法，也可用于除尘器的超微细粉尘扩散荷电凝聚预处理上，且具有一次投资、运行成本、能耗等均大幅度的降低等优点。
一种颗粒扩散荷电增粗方法

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