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[发明专利]一种六氟化钼的纯化装置及纯化方法-CN202310688122.3在审
发明人： 冀嘉梁;彭立培;王亚峰;冯海波;倪珊珊;李丹丹;岳立平 -专利权人：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种六氟化钼的纯化装置及纯化方法，装置包括包括粗品罐、吸附塔、精馏塔以及冷凝器；方法采用步骤1.将粗品罐内不纯的六氟化钼气体通入吸附塔底部，保持温度在20～100℃,吸附塔内的氟化钠或氟化钾吸附大部分氟化氢；2.六氟化钼气体通过管路进入精馏塔中；3.进一步去除氮气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、氢气、三氟化氮、四氟化碳和氟化氢；4.高纯六氟化钼气体进入收集充装罐；本发明通过吸附与精馏的纯化方式，得到高纯度的六氟化钼，其纯化效果优异，得到的产品纯度可达99.999％，有效的解决了微电子工业领域六氟化钼产品纯度不足的问题。
一种氟化纯化装置方法

[发明专利]一种高纯铱的制备方法-CN202111256036.2有效
发明人：王亚峰;王占卫;彭立培;林坤;冀嘉梁;童莹;张长金;郭晓彬 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七一八研究所
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C22B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高纯铱的制备方法，属于难熔金属制备领域。所述方法通过将铱原料与三氟化氮在50～500℃下进行氟化反应，生成氟化铱和氮气；得到的氟化铱进行纯化处理，得到纯化后纯度为99.9～99.9999％的氟化铱；再利用化学气相沉积将纯化后的氟化铱与氢气进行反应，生成的高纯铱沉积在基体材料上，得到厚度为4.0～80.0mm的高纯铱。所述方法需要设备种类少，步骤简单，工艺稳定，能够批量化生产，制得高纯铱纯度提升至99.999％以上，达到国际领先水平；得到毫米级的厚度的高纯铱能够实现切割基材，突破了CVD工艺还只是制备铱薄膜或涂层的技术壁垒，有效拓宽了高纯铱产品的应用领域。
一种高纯制备方法

[发明专利]一种五氯化钽的制备方法及装置-CN202310451548.7在审
发明人：王亚峰;彭立培;徐海云;冀嘉梁;苗晓丽;张轩;吕随强;苏子杰 -专利权人：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C01G35/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种五氯化钽的制备方法，其包括以下步骤，S1，将钽装入反应釜中，用惰性气体置换反应釜内的气体然后抽真空；S2，将反应釜加热向反应釜内通入氯气或氯化氢，反应1.0‑5.0小时；S3，将步骤S2反应后的产物输送至精馏塔，对所述塔釜先降温，控制温度为‑90～0℃，保持0.5‑3.0小时，然后对塔釜加热，加热温度为200～650℃，控制精馏塔压力为0.01‑0.30MPa，保持0.5‑2.0小时；S4，对所述塔顶进行加热，五氯化钽指标合格后出料。本发明还提供了一种五氯化钽的制备装置，该方法和设备制备出的五氯化钽较现有产品相比纯度更高。
一种氯化制备方法装置

[发明专利]一种改善高纯钨加工性能的方法-CN202111162011.6有效
发明人：王亚峰;王占卫;彭立培;冀嘉梁;林坤;冯海波;孙秋丽;童莹 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七一八研究所
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C22F1/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种改善高纯钨加工性能的方法，属于钨材料加工技术领域。所述方法根据高纯钨金相组织的不同采用相应加工方法如下：对纯度达99.999％以上钨材料的金相组织进行检测，当所述钨材料的金相组织为等轴晶时，进行如下处理：高温处理、锻造、再结晶退火和随炉冷却，即可改善钨材料的加工性能；当所述钨材料的金相组织为柱状晶时，进行如下处理：高温处理、锻造、再结晶退火、随炉冷却、高温轧制、再结晶处理和随炉冷却，即可改善钨材料的加工性能。所述方法首次提出根据高纯钨的金相组织不同，再针对不同金相组织的高纯钨，采用对应的方法改善其加工性能，解决了高纯钨加工技术中存在的崩料、掉粒和开裂等加工成品率低的缺陷。
一种改善高纯加工性能方法

[发明专利]一种六氟化钨电子气体多吸口微调收集分离器-CN202310194170.7在审
发明人：梁树峄;冀嘉梁;胡阳;陈良;赵鹏举;王利军;陈泽锴;裴文源 -专利权人：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B01J12/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种六氟化钨电子气体多吸口微调收集分离器，包括罐体，罐体上连接上进气管、分气管和下进气管，上进气管与分气管连接，多根下进气管与分气管连接，罐体外侧设置有两个温度调节腔室，罐体上设置上下两个出气口，出气口处分别设置温度压力测量装置。本发明结构设计简单合理，调节方便，控制精准，安全性高，能高效完成对气体的收集和分离，减少废物的排放。
一种氟化电子气体多吸口微调收集分离器

[发明专利]一种五氟化钽的制备装置及制备方法-CN202310129044.3在审
发明人：王亚峰;彭立培;冀嘉梁;梁树峄;郭晓彬;胡阳;冯海波;赵星 -专利权人：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C01G35/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种五氟化钽的制备装置，包括反应釜和精馏塔，反应釜连接精馏塔，精馏塔的塔底安装铠装加热器，精馏塔外侧壁设置冷却夹套，精馏塔塔顶设置加热器，精馏塔塔顶设置塔顶取样口和出料口。本发明先将一定纯度以上的钽通过与含氟气体进行氟化反应，生成的五氟化钽再进入精馏塔进行多次精馏排出杂质气体，再通过对产品进行分析检测，检测合格后方可进行产品收集。采用此装置及方法制备出的五氟化钽使用范围广，可操作性强，收率高，成本低，有利于工业化生产。
一种氟化制备装置方法

[发明专利]一种六氟化钼的制备及提纯方法-CN202310171988.7在审
发明人： 冀嘉梁;彭立培;王亚峰;梁树峄;田金金;冯海波;王蒙蒙 -专利权人：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C01G39/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种六氟化钼的制备及提纯方法，包括如下步骤：S1：将原料钼加入反应器后端，反应器预热至200℃，使用氮气对反应器进行置换，然后抽真空；S2：将三氟化氮通入反应器内，三氟化氮在反应器前端进行分解反应，分解产生氟气与氮气；S3：S2得到的氟气与钼在反应器后端发生反应，生成六氟化钼粗品；S4：使用低温收集器对六氟化钼粗品进行收集，抽真空除去低沸点杂质，得到纯度不低于99.5％的六氟化钼产品。本发明通过三氟化氮的分解得到氟气，再通过氟气与钼进行反应，制得粗品六氟化钼，最后抽真空除去低沸点杂质，得到高纯六氟化钼，方法简单安全，产品纯度高，避免了六氟化钼中含有大量氟化氢等杂质的问题。
一种氟化制备提纯方法

[发明专利]一种高纯钽靶材的制备方法-CN202111153226.1在审
发明人：王亚峰;王占卫;彭立培;冀嘉梁;梁树峄;林坤;张长金;孙秋丽;李丹丹;郭晓彬 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七一八研究所
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种高纯钽靶材的制备方法，属于难熔金属制备特种技术领域。所。所述方法通过：以五氟化钽和氢气为反应原料，或五氯化钽和氢气为反应原料进行化学气相沉积，线切割加工去基体，得到纯度为99.999％以上的高纯钽板；将所述高纯钽板进行轧制，得到轧制坯料；将所述轧制坯料在真空或惰性气体气氛保护下进行热处理再结晶得到钽靶坯料，经过机械加工，将加工后的钽靶坯料与背板焊接得高纯钽靶材。所述方法制备出的钽靶材纯度高达99.999％以上，较传统工艺粉末冶金制备出的钽靶材相比纯度更高，有效避免了溅射过程中钽靶材在电子轰击作用下内部杂质元素被转移到终端产品上，有效提高了终端产品的稳定性。
一种高纯钽靶材制备方法

[发明专利]一种高纯钨靶材的制备方法-CN202111161994.1在审
发明人：王亚峰;王占卫;彭立培;冀延治;冀嘉梁;林坤;王志民;冯海波 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七一八研究所
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C23C16/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种高纯钨靶材的制备方法，属于难熔金属制备特种技术领域。所述方法利用化学气相沉积通过控制核心参数制备高纯钨板，进一步采用高温轧制和热处理再结晶进行加工，最后通过机械加工后与背板焊接得到高纯钨靶。所述方法制备出的钨靶材纯度高达99.9999％以上，较利用粉末冶金制备出的钨靶材相比纯度更高，杂质更少，这使得在磁控溅射中，有效避免了钨靶材在电子轰击作用下内部杂质元素被转移到终端产品上，可大幅度提高终端产品的良率。
一种高纯钨靶材制备方法

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