专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果5个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]一种扭摆式硅MEMS角加速度传感器-CN200610011906.9有效
  • 房建成;李建利;张海鹏;张延顺;俞文伯 - 北京航空航天大学
  • 2006-05-16 - 2006-10-11 - G01P15/125
  • 扭摆式硅MEMS角加速度传感器由敏感元件、电容式变换器、反馈静电力矩器、信号处理电路以及壳体组成,壳体包括真空封装和基座,敏感元件包括两个固连在基座上的锚点、一个活动极板、两个两端分别固连在锚点和活动极板上的挠性支撑梁和两个对称分布在活动极板上表面的质量块,挠性支撑梁位于活动极板的中心线上,在活动极板下面的基座上,埋置两对对称分布的固定极板,一对为电容式变换器的敏感电极,一对为反馈静电力矩器的施力电极,通过导线分别与电容式变换电路和反馈静电力矩器连接,敏感元件敏感角加速度产生绕着挠性梁轴向的角位移,以此检测角加速度。本发明体积小,成本低,可应用于惯性稳定控制系统,角振动测试系统以及惯性导航系统。
  • 一种扭摆mems角加速度传感器

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top