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[发明专利]太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备-CN201710435949.8有效
发明人：上官泉元;庄正军;朱广东;侯岳明;杨玉杰 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其是涉及一种太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备。太阳能电池镀膜设备包括传输装置、预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；传输装置用于将载板依次传输至预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；预热腔室的出口与氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，第一封闭腔室的内部设置有第一隔离机构，第一隔离机构用于使预热腔室与氧化腔室连通或断开；氧化腔室的出口与镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，第二隔离机构用于使氧化腔室与镀膜腔室连通或断开。本发明能够在一个设备中连续对硅片进行镀膜，无需对硅片反复上料和下料，从而降低了硅片的污染程度和破碎率。
太阳能电池镀膜设备链式生产

[实用新型]一种封闭式镀膜系统-CN201821420783.9有效
发明人：朱广东;上官泉元;喻大伟;赵慧超;庄正军;侯岳明 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C23C16/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种封闭式镀膜系统，包括依次线性循环设置的上料端、缓存台、加热腔、正表面镀膜腔一、加热腔、缓冲腔、正表面镀膜腔二、缓冲腔、卸载腔、缓存台、载板移载机构、硅片翻转机构、缓存台、加热腔、缓冲腔、背表面镀膜腔一、缓冲腔、加热腔、缓冲腔、背表面镀膜腔二、缓冲腔、卸载腔、缓存台及下料端。本实用新型具有产能高、成本投入低、硅片无卡点印痕、外界环境对硅片表面的污染少及系统通用性高等优点。
缓冲腔缓存镀膜腔加热腔本实用新型镀膜系统背表面卸载腔正表面系统通用性硅片表面硅片翻转外界环境循环设置移载机构上料端下料端硅片产能卡点印痕载板污染

[发明专利]太阳能电池镀膜方法及太阳能电池-CN201710435946.4有效
发明人：上官泉元;庄正军;朱广东;侯岳明;杨玉杰 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其是涉及一种太阳能电池镀膜方法及太阳能电池。所述方法包括以下步骤：将放置有硅片的载板放置在传输装置上；关闭第一隔离机构，使预热腔室与氧化腔室断开，关闭第二隔离机构，使氧化腔室与镀膜腔室断开；对氧化腔室和镀膜腔室分别抽真空；将载板传送至预热腔室中，对预热腔室抽真空，对硅片进行预热；开启第一隔离机构，传输装置将载板传送至氧化腔室中，再次关闭第一隔离机构，形成氧化硅薄膜；开启第二隔离机构，将载板传送至镀膜腔室，再次关闭第二隔离机构，在镀膜腔室中沉积氮化硅薄膜、非晶硅薄膜和/或氧化铝薄膜。本发明能够在真空环境下连续完成全部的镀膜过程，降低了硅片的污染程度和破碎率。
太阳能电池镀膜方法

[实用新型]一种真空铸铝加热器-CN201821279637.9有效
发明人： 侯岳明;庄正军;上官泉元 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： H05B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空铸铝加热器，包括导热板、套线管、不锈钢加热管及温度传感器；导热板安装在镀膜腔室内部，其材质为铝合金材质；套线管、不锈钢加热管及温度传感器的导线管穿过镀膜腔室的腔室下板并与导热板连接，不锈钢加热管及温度传感器的导线管置于套线管内部。导热板和不锈钢加热管及温度传感器的探头端铸造融合，传热效果好且测温更准确；密封垫片实现了套线管和法兰一的真空密封；法兰一与不锈钢加热管及温度传感器的导线管焊接或采用金属胶以实现真空密封及冷却降温；水冷却法兰密封件与镀膜腔室及套线管之间采用密封圈实现真空密封及冷却降温。
不锈钢加热管温度传感器套线导热板真空密封导线管铸铝加热器镀膜腔室冷却降温法兰密封圈本实用新型铝合金材质传热效果密封垫片水冷却法镀膜腔管内部金属胶密封件室内部探头端测温腔室下板焊接铸造穿过融合

[发明专利]一种真空铸铝加热器-CN201810898927.X在审
发明人： 侯岳明;庄正军;上官泉元 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： H05B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空铸铝加热器，包括导热板、套线管、不锈钢加热管及温度传感器；导热板安装在镀膜腔室内部，其材质为铝合金材质；套线管、不锈钢加热管及温度传感器的导线管穿过镀膜腔室的腔室下板并与导热板连接，不锈钢加热管及温度传感器的导线管置于套线管内部。导热板和不锈钢加热管及温度传感器的探头端铸造融合，传热效果好且测温更准确；密封垫片实现了套线管和法兰一的真空密封；法兰一与不锈钢加热管及温度传感器的导线管焊接或采用金属胶以实现真空密封及冷却降温；水冷却法兰密封件与镀膜腔室及套线管之间采用密封圈实现真空密封及冷却降温。
不锈钢加热管温度传感器套线导热板真空密封导线管铸铝加热器镀膜腔室冷却降温法兰密封圈铝合金材质传热效果密封垫片水冷却法镀膜腔管内部金属胶密封件室内部探头端测温腔室下板焊接铸造穿过融合

[发明专利]一种封闭式镀膜系统-CN201811003398.9在审
发明人：朱广东;上官泉元;喻大伟;赵慧超;庄正军;侯岳明 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： C23C16/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种封闭式镀膜系统，包括依次线性循环设置的上料端、缓存台、加热腔、正表面镀膜腔一、加热腔、缓冲腔、正表面镀膜腔二、缓冲腔、卸载腔、缓存台、载板移载机构、硅片翻转机构、缓存台、加热腔、缓冲腔、背表面镀膜腔一、缓冲腔、加热腔、缓冲腔、背表面镀膜腔二、缓冲腔、卸载腔、缓存台及下料端。本发明具有产能高、成本投入低、硅片无卡点印痕、外界环境对硅片表面的污染少及系统通用性高等优点。
缓冲腔缓存镀膜腔加热腔镀膜系统背表面卸载腔正表面系统通用性硅片表面硅片翻转外界环境循环设置移载机构上料端下料端硅片产能卡点印痕载板污染

[发明专利]一种链式传输系统-CN201610557371.9有效
发明人： 侯岳明;谭兴波;上官泉元 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2016-07-14 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池生产技术领域，提供了一种链式传输系统。该链式传输系统包括下传输系统，及依次连接的自动化上料台、抽真空腔体、工艺腔体、放气腔体和自动化下料台；所述下传输系统分别与所述自动化下料台及自动化上料台连接，所述自动化下料台与所述放气腔体之间设置有载板缓存冷却台。本发明提供的链式传输系统中采用缓存单元能够使载板在该单元有一定的停留时间使载板冷却，同时在上下料工位或其它传输工位发故障时能收存载板，使已经进入真空的载板完成工艺过程，将完成处理的载板缓存起来，避免了废品的产生，也节约了再启动时间；具有生产率高和成品率高的优点。
载板链式传输系统自动化下料台缓存传输系统放气腔体上料台太阳能电池生产上下料工位抽真空腔传输工位工艺过程工艺腔体缓存单元依次连接成品率冷却台再启动收存废品冷却停留节约

[实用新型]太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备-CN201720671986.4有效
发明人：上官泉元;庄正军;朱广东;侯岳明;杨玉杰 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，尤其是涉及一种太阳能电池镀膜设备及太阳能电池链式生产设备。太阳能电池镀膜设备包括传输装置、预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；传输装置用于将载板依次传输至预热腔室、氧化腔室和镀膜腔室；预热腔室的出口与氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，第一封闭腔室的内部设置有第一隔离机构，第一隔离机构用于使预热腔室与氧化腔室连通或断开；氧化腔室的出口与镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，第二封闭腔室的内部设置有第二隔离机构，第二隔离机构用于使氧化腔室与镀膜腔室连通或断开。本实用新型能够在一个设备中连续对硅片镀膜，无需对硅片反复上料和下料，从而降低了硅片的污染程度和破碎率。
太阳能电池镀膜设备链式生产

[实用新型]一种用于下镀膜的硅片载板-CN201521128976.3有效
发明人：上官泉元;侯岳明;庄正军;杨玉杰;李延槐 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片载板技术领域，尤其是涉及一种用于下镀膜的硅片载板。本实用新型提供的一种用于下镀膜的硅片载板，硅片载板至少包括一个单元；每个单元包括：框架和固定片，框架的每个边框上设置有至少一个固定片，固定片的一端固定在框架下侧的表面上，固定片的另一端沿框架下侧表面向框架的内侧延伸并伸出框架的内侧表面。该硅片载板的每个单元由框架和固定片组成，固定片设置在框架的底部，固定片的上表面与框架的下表面平齐，两者之间无高度差。硅片采用下镀膜时，硅片放置在框架内，硅片的镀膜面与固定片接触，固定片支撑硅片，硅片的下表面与框架的下表面处于同一平面，硅片与载板之间无高度差，防止绕射现象，还解决了掉渣等技术问题。
一种用于镀膜硅片

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