专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种单面电镀挂具中的快锁机构-CN202223520195.1有效
  • 余丞宏 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-06-20 - C25D17/08
  • 本实用新型公开了一种单面电镀挂具中的快锁机构,其包括快锁机构桶身,快锁机构桶身的内部设置有柱状内芯,内芯的顶部设置有销钉孔,内芯的上部套设有环状的锁付滑动块,快锁机构桶身的上方固定有中间开孔的上封盖,锁付滑动块的底部有多个支撑弹簧,所述支撑弹簧位于锁付滑动块与内芯的下部凸台之间,上封盖与锁付滑动块的锥形孔之间形成一环形钢珠活动槽,钢珠活动槽为一腔体,环绕着所述腔体内安装有多个锁付钢珠,内芯的下部设置有开锁气孔,开锁气孔的一端与支撑弹簧处的空间连通,开锁气孔的另一端与开锁气路连通。本实用新型可以实现单面电镀挂具的封盖结构与挂具本体的快速开合,亦可以提高半导体晶圆片在电镀时上下料的效率。
  • 一种单面电镀中的机构
  • [发明专利]一种半导体晶圆片双面电镀挂具-CN202211700816.6在审
  • 余丞宏 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-05-02 - C25D17/08
  • 本发明公开了一种半导体晶圆片双面电镀挂具,其包括A面挂具本体和B面挂具本体,A面挂具本体和B面挂具本体上均设置有导电机构和通气机构,A面挂具本体的外侧和B面挂具本体的外侧均设置有可拆卸的环形导电上盖,A面挂具本体和B面挂具本体上分别设置有用于将导电上盖与对应的A面挂具本体或B面挂具本体连接在一起的快锁机构,A面挂具本体与对应的导电上盖之间设置有晶圆底板,B面挂具本体与对应的导电上盖之间设置有晶圆底板,待电镀的半导体晶圆片被固定在晶圆底板与对应的导电上盖之间,导电机构与导电上盖和待电镀的半导体晶圆片电路导通,通气机构与快锁机构气体导通。本发明可以实现挂具的导电上盖与挂具本体的快速合盖与开盖。
  • 一种半导体晶圆片双面电镀
  • [发明专利]一种水平式自动上片机-CN202211320056.6在审
  • 余丞宏 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2022-10-26 - 2023-04-04 - C25D17/08
  • 本发明公开了一种水平式自动上片机,包括主机架,挂具夹持机构,挂具翻转机构,挂具平移机构,开关盖机构,升降式清洁检测机构及探测机构,其中挂具夹持机构安装在挂具翻转机构上,对挂具进行定位夹紧,同时由翻转机构将竖直的挂具翻转成水平,由挂具平移机构将水平状态的挂具移送至晶圆片上料处,所述开关盖机构安装在主机架上,对挂具进行外盖开关操作,所述升降式清洁检测机构安装在主机架上,对开盖后的挂具进行清洁检测,所述探测机构安装在主机架上,对上片后的挂具密封性及导电性进行探测。本发明为通用型上片机,通过更换不同的开关盖结构实现不同密封方式的解密封操作。
  • 一种水平自动上片
  • [发明专利]一种旋转式晶圆挂具的自动上下料装置-CN202211045756.9在审
  • 余丞宏 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2022-08-30 - 2023-01-13 - B65G47/90
  • 本发明公开了一种旋转式晶圆挂具的自动上下料装置,包括机架,安装在机架上的挂具周转机构,挂具夹持翻转机构,横移模组,巡边机构,清洗机构,多个晶圆供料机构及转运机械手,同时横移模组上安装有外盖开合机构和内圈搬移机构,挂具夹持翻转机构位于中间位置,夹持挂具周转机构内的导电挂具,将其翻转移动至上下料工位,外盖开合机构与内圈搬移机构位于上下料工位两侧,分别实现外盖旋开及内圈搬移操作,转运机械手位于上下料工位一侧,巡边机构,清洗机构,多个晶圆供料机构环设在转运机械手四周,并位于转运机械手的操作范围内。
  • 一种旋转式晶圆挂具自动上下装置
  • [发明专利]一种多工位密封环自动修边机-CN202211138753.X在审
  • 余丞宏;蓝德源 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2022-09-19 - 2023-01-10 - B26D1/06
  • 本发明公开了一种多工位密封环自动修边机,其包括主机架,主机架上设置有工作平台,主机架的一端外侧设置有取放料机械手,主机架的一侧设置有振动盘,工作平台上方设置有转盘,工作平台上设置有用于驱动转盘转动的分割器和驱动分割器工作的分割器马达,转盘上设置有多处卡盘旋转机构,多处卡盘旋转机构的顶部分别设置有环形的密封环卡盘,工作平台上设置有多处用于对密封环进行修边的修边刀机构,工作平台上设置有多处电磁离合器机构,电磁离合器机构在通电时与卡盘旋转机构结合在一起,电磁离合器机构在断电时与卡盘旋转机构分离。本发明的多工位密封环自动修边机可以实现多工位同时进行多个密封环的修边,产出量和生产效率高。
  • 一种多工位密封自动修边机
  • [发明专利]一种阳极可侧向抽拉式晶圆水平电镀池及晶圆水平电镀装置-CN202110021812.4有效
  • 何志刚;余丞宏 - 上海戴丰科技有限公司
  • 2021-01-08 - 2022-08-26 - C25D17/02
  • 本发明提供一种阳极可侧向抽拉式晶圆水平电镀池及晶圆水平电镀装置。晶圆水平电镀装置的电镀液池的一侧壁上设有抽拉开口,在电镀液池内还设有导电插座,阳极组件穿过所述抽拉开口安装到电镀液池内,并与所述导电插座导电连接,阳极组件的端板经锁付件锁付并压靠在所述抽拉开口外侧的电镀液池外侧壁上,在所述端板与电镀液池外侧壁之间设有密封件。阳极组件可以整体直接从电镀液池的侧向抽拉开口抽出,方便了阳极金属的更换,极大提升了维护效率。进一步地,在晶圆水平电镀装置的阴极电镀液池体内还设置阴极电镀液喷头,通过阴极电镀液喷头产生平行于晶圆表面的流体,从而将积存在晶圆待电镀结构层内的气泡顺着流体而排出,防止电镀空穴产生。
  • 一种阳极侧向抽拉式晶圆水平电镀装置
  • [实用新型]一种用于柔性圆环的夹取装置-CN202123401677.0有效
  • 余丞宏 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2021-12-30 - 2022-07-12 - B25J15/00
  • 本实用新型公开了一种用于柔性圆环的夹取装置,包括:连接轴法兰、连接板、两个气缸、两个铰链和两个单工装组件,所述单工装组件包括若干夹爪、夹爪固定盘、若干下盖板、转轴盘、夹爪拨杆和上盖板,两个所述气缸分别通过两个所述铰链连接两个所述单工装组件的所述夹爪拨杆,两个所述气缸通过所述连接轴法兰连接。通过上述方式,本实用新型用于柔性圆环的夹取装置通过采用夹爪拨杆带动转轴盘旋转、弧形导向槽推动夹爪限位在一字形导向槽内移动,夹爪在轴心往外辐射的线性运动,且能同时保持各个夹爪的同心位置,结构新颖、通用性高,在用于柔性圆环的夹取装置的普及上有着广泛的市场前景。
  • 一种用于柔性圆环装置
  • [实用新型]一种晶圆机械手臂快速定位装置-CN202123405698.X有效
  • 余丞宏 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2021-12-31 - 2022-07-12 - H01L21/683
  • 本实用新型公开了一种晶圆机械手臂快速定位装置,包括:底座、吸附圆盘避让孔、晶圆手臂对位导向槽边、晶圆置放台阶和干涉避让区,所述吸附圆盘避让孔同心设置在所述底座的中间,所述晶圆手臂对位导向槽边、所述晶圆置放台阶设置在所述底座的一面,所述干涉避让区设置在所述底座的另一面。通过上述方式,本实用新型晶圆机械手臂快速定位装置通过将吸附圆盘套在本装置的吸附圆盘避让孔实现本装置的圆心与吸附圆盘的圆心快速重和,并与晶圆手臂对位导向槽边、晶圆置放台阶配合使用,达到晶圆放置位置的圆心与吸附圆盘的圆心重和、取得动态旋转时的动平衡,结构新颖、方便实用,在晶圆机械手臂快速定位装置的普及上有着广泛的市场前景。
  • 一种机械手臂快速定位装置
  • [发明专利]一种晶圆水平电镀装置及阴极电镀液的喷流方法-CN202110021822.8有效
  • 何志刚;余丞宏 - 上海戴丰科技有限公司
  • 2021-01-08 - 2022-04-08 - C25D17/00
  • 本发明提供一种晶圆水平电镀装置及阴极电镀液的喷流方法,晶圆水平电镀装置包括晶圆载具、电镀液池和至少1组阴极电镀液喷头组合,电镀液池包括阳极电镀液池体和阴极电镀液池体,在阴极电镀液池体和阳极电镀液池体之间设置离子膜,每组阴极电镀液喷头组合包括2个相对设置的阴极电镀液喷头。通过阴极电镀液喷头产生平行于晶圆表面的流体,从而将积存在晶圆待电镀结构层内的气泡顺着流体而排出,防止电镀空穴产生;电镀时,两个相对设置的阴极电镀液喷头分别对应于晶圆外圆周下方的两侧,所有的阴极电镀液喷头轮流喷液,进而产生不同方向的液流,防止单一液流方向造成的镀层厚度不均匀,确保晶圆镀层均一稳定。
  • 一种水平电镀装置阴极喷流方法
  • [实用新型]一种伺服冲床一体机-CN202120408449.7有效
  • 余丞宏 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2021-02-25 - 2021-12-21 - B26F1/38
  • 本实用新型公开了一种伺服冲床一体机,包括机架、设置于机架的冲压装置和上下料机构以及设置于冲压装置的冲裁模具,冲压装置包括下模架和设置于下模架正上方的上模架,上模架能够相对于下模架竖直升降运动;冲裁模具包括下模组件和上模组件,下模组件设置于下模架的顶部,上模组件设置于上模架的底部,上模组件包括上模,下模组件包括下模,上模和/或下模能够沿冲压装置的纵向平移运动,上模架能够带动上模与下模压合以冲裁物料,且上模和下模的运动范围位于上模架在下模架顶面的投影范围内;上下料机构沿冲压装置的横向布置于冲压装置的相对两侧,且上下料机构能够沿冲压装置的横向动作,并能够将物料移送至冲裁模具和将物料由冲裁模具移出。
  • 一种伺服冲床一体机
  • [实用新型]一种镭雕机自动化设备-CN202022691866.5有效
  • 余丞宏;刘子龙 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2020-11-19 - 2021-12-14 - B23K26/362
  • 本实用新型公开了一种镭雕机自动化设备,包括打黑镭雕机、破氧机、翻转机构、防护栏、六轴机械手和自动上下料机,所述自动上下料机固定在工作台A上,所述自动上下料机的一侧对称放置上料盘和下料盘,所述上料盘和下料盘均放置在桌面上,所述自动上下料机的另一侧对称设有上料定位机构和下料定位机构,所述上料定位机构和下料定位机构安装在两条流道的末端,所述上料定位机构背离自动上下料机的一侧设有两台打黑镭雕机,两台打黑镭雕机并排固定在一起,所述六轴机械手固定在下料定位机构与翻转机构之间。本实用新型通过将打黑镭雕机、破氧机和自动翻面机整合在一起,实现自动化生产,能够提高生产效率,节省时间和人力成本,大大提高经济效益。
  • 一种镭雕机自动化设备
  • [实用新型]一种板材自动堆叠摆放设备-CN202022636836.4有效
  • 余丞宏;曹子伟 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2020-11-16 - 2021-11-12 - B65G57/04
  • 本实用新型公开了一种板材自动堆叠摆放设备,其包括机架,所述机架上设置有工作平台,所述工作平台上横向设置有传送带流水线和至少两个用于移动板材的机械手,所述至少两个机械手分别位于所述传送带流水线的两侧,所述传送带流水线的两侧分别设置有一处可以升降的板材升降板,两处所述板材升降板的外侧分别设置有向所述板材升降板上送纸的送纸机构。本实用新型的板材自动堆叠摆放设备可以把板材整齐地堆叠摆放起来,方便板材的周转,堆叠效率高,节省人力。
  • 一种板材自动堆叠摆放设备
  • [实用新型]一种双工位数控机床自动上下料机-CN202022827215.4有效
  • 余丞宏 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2020-11-30 - 2021-09-28 - B23Q7/04
  • 本实用新型公开了一种双工位数控机床自动上下料机,包括数控机床A1、自动上下料机、数控机床B、六轴机械手臂和二次定位机构,所述自动上下料机的一侧设有六轴机械手臂,所述六轴机械手臂的一端安装在固定底座上,所述六轴机械手臂的另一端固定有机械手夹爪,所述机械手夹爪的上端面固定有下料吸盘,所述机械手夹爪的下端面固定有上料吸盘,所述自动上下料机的两侧分别固定有两台数控机床A和数控机床B,所述自动上下料机的上表面内部安装有上料倾斜平台,所述上料倾斜平台较低的一侧靠近六轴机械手臂。本实用新型双工位自动上下料机采用自动化配套设备,能够取代人工,提高工作效率,节省时间,降低人力成本,增加经济效益。
  • 一种双工数控机床自动上下
  • [实用新型]多零件包塑自动化机-CN202022830622.0有效
  • 余丞宏 - 苏州汇富弘自动化科技有限公司
  • 2020-12-01 - 2021-09-28 - B29C45/14
  • 本实用新型公开了一种多零件包塑自动化机,包括夹具供料机和治具回转输送带,所述夹具供料机的前后两端均设置有Tray盘移载机,且Tray盘移载机的上方固定连接有报警灯,所述治具回转输送带的上方设置有治具载盘,且治具回转输送带位于夹具供料机的内部,所述治具载盘的上方固定连接有固定治具,且固定治具的左侧设置有第一六轴机械手,所述第一六轴机械手的后端设置有治具加热工站,且治具加热工站的后端设置有第二六轴机械手。该多零件包塑自动化机,在使用的时候可以实现对零件的自动送料和自动收料,同时能够很好的对预热、注塑、冷却等操作进行自动化流水作业,生产效率较高,且降低了人工成本,能很好的满足人们的使用需求。
  • 零件自动化

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