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[发明专利]一种用于射频离子源的放电室及射频离子源-CN202310479641.9在审
发明人：袁祖浩;李勇;龚俊;李明;鲁彤;袁伟;何秋福 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于射频离子源的放电室及射频离子源，放电室包括：支撑筒、第一栅格和第二栅格，第二栅格嵌套在第一栅格内周，第一栅格嵌套在支撑筒内周，支撑筒的中心位置设有进气接口，第一栅格上均布有n个第一通孔，第二栅格上均布有n个第二通孔，第一通孔的体积大于第二通孔的体积，且第一通孔的中心与第二通孔的中心对齐。本发明还公开了包含上述放电室的射频离子源。本发明具有结构紧凑、原理简单且能够延长离子源使用寿命等优点，解决了因放电室表面生成污染物而导致电磁场无法进入放电室、加速放电室的屏蔽、射频离子源无法电离等问题，提高了装置的稳定性，降低了装置的使用和维护成本。
一种用于射频离子源放电

[实用新型]一种用于生产型多靶磁控溅射系统的基片架升降装置-CN202320684440.8有效
发明人：佘鹏程;袁祖浩;龚俊;王建青;李勇;何秋福 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于生产型多靶磁控溅射系统的基片架升降装置，包括：基片架、中心管、支架组件和丝杆驱动组件；丝杆驱动组件设置在支架组件底部，中心管的一端与丝杆驱动组件的输出端连接，中心管的另一端穿过支架组件顶部与基片架连接，且支架组件上沿着中心管外周设有密封件；在丝杆驱动组件的驱动下，中心管带动基片架沿竖直方向往复升降，以实现基片架在生产型多靶磁控溅射系统的工艺腔内往复升降。本实用新型具有结构紧凑、运行稳定、定位精度高且清洁度高等优点，解决了由于液压驱动系统定位不精准且容易漏油而导致基片架升降控制难、真空腔体内部污染等问题，有利于减小基片架与扫描小车之间的交互距离，减少真空腔体尺寸。
一种用于生产型多靶磁控溅射系统基片架升降装置

[发明专利]一种磁控溅射靶电极连接装置-CN202210697958.5在审
发明人：佘鹏程;刘杰;何秋福;陈佐明;李明 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控溅射靶电极连接装置，包括上绝缘座、下绝缘座、电极板、接地片、接地座、接地销和弹性件，上绝缘座安装于下绝缘座上，上绝缘座与下绝缘座之间设有线孔，电极板安装于下绝缘座上，其一端与射频同轴电缆的功率线相连，另一端则安装在磁控溅射靶的靶材上，接地片的一端固定于上绝缘座上且与射频同轴电缆的地线相连，另一端则与接地座相连；下绝缘座和电极板上设置有同轴布置的通孔，接地销的一端依次穿过下绝缘座和电极板上的通孔后与接地座的一端相连，接地销与电极板的通孔之间绝缘；弹性件的一端与接地座的另一端相抵，另一端则与磁控溅射靶的绝缘主体相抵。本发明具有结构简单、确保电极连接安全可靠等优点。
一种磁控溅射电极连接装置

[实用新型]一种基片传输系统-CN202120527749.7有效
发明人：龚俊;佘鹏程;何秋福;刘杰 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基片传输系统，包括真空腔室、工艺腔室和基片传输机构，真空腔室与工艺腔室对接，且二者之间设有控制真空腔室与工艺腔室通断的阀门，基片传输机构包括基片手指、第一直移模组和第二直移模组，第一直移模组设于真空腔室的底部，第二直移模组设于第一直移模组上，第二直移模组位于真空腔室内，基片手指设于第二直移模组上，第一直移模组用于驱动第二直移模组朝向阀门移动，第二直移模组用于驱动基片手指朝向工艺腔室移动。本实用新型可在不开腔的情况下，实现对工艺腔室内基片的取放，有效提高工艺时间在设备运行时间中的占比，提高产能，并保持工艺腔室真空状态，改善工艺质量。
一种传输系统

[发明专利]研究三叶青提取物提高人共刺激T细胞增殖的方法-CN201610971268.9在审
发明人：刘军权;陈壮洪;倪建芬;何秋福 -专利权人：浙江博纳生物科技有限公司
申请日： 2017-01-15 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： C12Q1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种研究三叶青提取物提高人共刺激T细胞增殖的方法，属于医药生物技术领域。该研究方法步骤如下步骤一，三叶青提取物体外诱导培养人共刺激T细胞取适量健康献血者外周抗凝血，淋巴细胞分离液分离单个核细胞，用含有不同细胞生长因子和刺激分子的共刺激T细胞培养基调整细胞密度为3.5×105/mL，接种于细胞培养板中，培养箱培养，定期换液，并调整细胞密度为5×105/mL，收集培养7天的共刺激T细胞，加入单抗进行细胞表面标志检测；步骤二，检测不同三叶青提取物对人共刺激T细胞生长的影响。本申请可为三叶青提取物在制备人共刺激T细胞增殖剂中的新的医药用途提供参考，可为肿瘤免疫治疗药物研发提供实验参考。
研究三叶青提取物提高刺激细胞增殖方法

[实用新型]简易取出起子的装置-CN98240978.8无效
发明人： 何秋福 -专利权人： 何秋福
申请日： 1998-09-29 - 公布日： 1999-10-20 - 主分类号： B25H3/02 文献下载
摘要：简易取出起子的装置,包括盒本体和透明起子盒,该透明起子盒排列设置数个未贯穿的插置孔,供放置起子头,透明起子盒两侧设T形转轴,任一T形转轴末端设转轮,使用者利用该转轮敬爱哪个透明起子盒旋出或旋入盒本体,以方便取用起子头,透明起子盒前方设固定片,盒本体内部凹陷适当容置空间,两侧对应剖制两轴孔,供透明起子盒T形转轴枢设旋转,盒本体内部对应处设卡制片,再与透明起子盒固定片,在闭合时衔掣定位。
简易取出起子装置

[实用新型]改良结构的工具盒-CN98218839.0无效
发明人： 何秋福 -专利权人： 何秋福
申请日： 1998-08-28 - 公布日： 1999-10-06 - 主分类号： B25H3/02 文献下载
摘要：一种改良结构的工具盒,其在工具盒一侧设有容置部,对角处设有固定栓,其顶端设有圆球状弹扣部,中间设有剖沟,其主要在工具盒内设有倾斜容置部,倾斜容置部底侧设有波浪形滑部,并设有数个活动座,活动座底侧两侧设有滑块,在活动座靠近滑块处设有穿孔的沟槽,活动座上亦设有数个不同尺寸大小形状的容置凹槽,以供容置不同大小形状的工具或零件,如此使滑块可轻易地扣入倾斜容置部上,使其在工具置放上更具有灵活性,而可达到取用工具更为方便的功效。
改良结构工具

[实用新型]可置放起子头及套筒的工具架-CN98204232.9无效
发明人： 何秋福 -专利权人： 何秋福
申请日： 1998-05-13 - 公布日： 1999-08-11 - 主分类号： B25H3/04 文献下载
摘要：一种可置放起子头及套筒的工具架,包括一工具架本体,该本体的适当处设有拱部,拱部设有一圆杆并在其中间设有一穿孔,圆杆两侧环围设有微凸块,另设有置架,该置架设有穿孔且在置架环围设有数个长槽状孔槽,如此,可以利用置架扣固圆杆达到方便使用且具有多变的实用目的,其具有产业利用价值。
置放起子头套筒工具

[实用新型]工具盒-CN97243693.6无效
发明人： 何秋福 -专利权人： 何秋福
申请日： 1997-11-07 - 公布日： 1999-03-10 - 主分类号： B25H3/02 文献下载
摘要：一种工具盒,包括工具盒本体,一侧设有容置部,对角处设固定栓,固定栓顶端设有具剖沟的圆球状弹扣部;第一容置座对角处设有两圆孔,其内设有弹扣部穿入扣固在该圆孔上工具盒本体另一侧或第一容置座内设有数个倾斜容置部,底侧设有波浪形滑部;数个活动座底侧两侧设有滑块,活动座靠近滑块处设有穿孔的沟槽,活动座设有数个不同大小形状容置凹槽,滑块可轻易扣入倾斜容置部上。其在置放工具时可应用多种组合方式达到多种工具皆可置放,具有使用更加方便的功效。
工具

[实用新型]套筒起子工具固定板-CN97218057.5无效
发明人： 何秋福 -专利权人： 何秋福
申请日： 1997-06-13 - 公布日： 1998-12-16 - 主分类号： B25H3/04 文献下载
摘要：一种套筒起子工具固定板,包括一个板面和一个位于板面下部与板面相连的板块。板面的两侧分别设有一个扣柱和一个定位柱。扣柱和定位柱上扣接套筒座或起子座。板块上设有一个座体。座体内的凹型沟槽两侧壁上制有棘齿。座体内凹型沟槽中嵌有放置棘轮扳手或螺丝起子的凸块。凸块两侧制有镂空的沟槽,两侧壁中部制有突起柱体。固定板背面设有挂钩。本实用新型的优点是适应范围广,构造简单,携带、使用均较方便。
套筒起子工具固定

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