专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种基于掺杂氮化铝薄膜的铁电二极管及其制备方法-CN202310662600.3在审
  • 任青华;刘鑫;丁泽新;周群辉;刘宇熙;王楠 - 上海大学
  • 2023-06-06 - 2023-09-29 - H10N70/20
  • 本发明公开一种基于掺杂氮化铝薄膜的铁电二极管及其制备方法,涉及半导体制造技术领域。所述铁电二极管包括:衬底、氧化物绝缘层、底电极、铁电层、顶电极、通孔和钝化保护层;所述通孔包括第一通孔和第二通孔;在所述衬底上生长有所述氧化物绝缘层;所述氧化物绝缘层上沉积有所述底电极;所述底电极的部分区域上生长有所述铁电层;所述铁电层上沉积有所述顶电极;所述顶电极和所述底电极上生长有所述钝化保护层;所述顶电极通过所述第一通孔引出第一引线;所述底电极通过所述第二通孔引出第二引线;所述铁电层采用Al1‑xXxN薄膜。本发明能够提高铁电二极管的存储密度和读写速度。
  • 一种基于掺杂氮化薄膜二极管及其制备方法
  • [发明专利]一种脉冲发电机供电的晶闸管电源控制系统-CN202011590656.5有效
  • 李维斌;韩艾玻;任青华;吴一 - 核工业西南物理研究院
  • 2020-12-29 - 2023-09-08 - H02M7/162
  • 本发明属于核聚变脉冲电源控制领域,具体涉及一种脉冲发电机供电的晶闸管电源控制系统,包括实时数据接收模块、增量式PID控制器、晶闸管电源输入电压跟踪控制系统、控制角度限制器、单相桥式二极管整流电路、电压传感器、总电压传感器、触发器和晶闸管电源。通过将晶闸管整流电源交流输入电压引入控制算法中,可以有效减小托卡马克装置脉冲发电机供电时由于发电机输出电压变化引起的电源控制输出波动,减小了输入电压波动时晶闸管电源控制输出的超调量和调节时间;可以应用于化工电解铝等对整流电源输出控制稳定性要求高的工业应用中,可以显著提高整流电源的控制精度和稳定性。
  • 一种脉冲发电机供电晶闸管电源控制系统
  • [发明专利]一种脉冲发电机组放电同步信号处理系统-CN202111554304.9有效
  • 任青华;王英翘;李维斌;王雅丽;吴一 - 核工业西南物理研究院
  • 2021-12-17 - 2023-07-14 - G21B1/21
  • 本发明属于聚变技术领域,具体涉及公开一种脉冲发电机组放电同步信号处理系统,该系统的双Y脉冲发电机G1的电压输出端与高压隔离开关组S1的输入端连接,高压隔离开关组S1的输出端与快速熔断器组F1的输入端连接,快速熔断器组F1的输出端与第一级降压移相变压器组T1的初级线圈连接,第一级降压移相变压器组T1的次级线圈与第二级降压移相变压器T2的初级线圈连接,第二级降压移相变压器T2的次级线圈与信号调理电路组K1的输入端连接,信号调理电路组K1的输出端与信号接收电路组B1的输入端连接。本发明的系统能够解决在脉冲发电机放电时刻,输出电压频率随时间变化,并且多个电源同时工作导致波形发生畸变不能用作同步信号的问题。
  • 一种脉冲发电机组放电同步信号处理系统
  • [发明专利]一种提高柔性PMUT器件性能的结构及其制作方法-CN202211278493.6在审
  • 任青华;陈俊虹;刘鑫;丁泽新;周群辉;古元冬 - 上海大学
  • 2022-10-19 - 2023-04-04 - B06B1/06
  • 本发明公开了一种提高柔性PMUT器件性能的结构及其制作方法,包括:压电薄膜结构,粘结层和柔性衬底;压电薄膜结构从上至下依次为:顶电极、压电层、底电极、支撑层和填充层。制作步骤:在刚性PMUT的顶部旋涂保护层并加热固化;将压电薄膜结构与刚性衬底分离,得到压电薄膜结构;对支撑层进行图案化刻蚀,形成通孔;向通孔内填充柔性材料,对支撑层的未刻蚀部分进行柔性材料的旋涂,形成粘结层;将所得结构转移到带有空腔的柔性衬底上;对所得结构进行加热固化;将所得结构浸泡在有机溶液中除去保护层后得到柔性PMUT结构。本发明制作工艺简单,通过柔性材料填充支撑层,增加了PMUT的振动幅值,大幅提升了PMUT器件的性能。
  • 一种提高柔性pmut器件性能结构及其制作方法
  • [发明专利]脉冲高压电源现场控制系统-CN201911210129.4有效
  • 毛晓惠;李飞镝;王雅丽;杨曦盛;邓长飞;李青;任青华 - 核工业西南物理研究院
  • 2019-12-02 - 2023-03-17 - H02M1/00
  • 本发明属于高压电源领域,具体涉及一种脉冲高压电源现场控制系统,包括上位操作显示设备、控制板卡、接线盒、测量系统和多块电路板,控制板卡接线盒连接,实现数据交互,多块电路板包括多路光转光电路板、光转电电路板、模块状态信号光电接收板、模块控制信号电光发送板,采用全数字式光电信号,将控制高压电源的所有信号,经过多种光‑电转换、光‑光转换、电‑光转换、频‑压转换,并在电源控制程序中,对这些数字信号进行计算,最终完成高压电源的现场控制。具有扩展性强,控制灵活、结构简单清晰、检测方便、安全性能高、成本低等特点。
  • 脉冲高压电源现场控制系统
  • [发明专利]环栅晶体管及其制备方法-CN201910027378.3有效
  • 刘强;俞文杰;任青华;陈治西;刘晨鹤;赵兰天;陈玲丽;王曦 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 2019-01-11 - 2022-06-24 - H01L21/336
  • 本发明提供一种环栅晶体管及其制备方法,方法包括:1)提供SOI衬底,其绝缘层中形成有凹槽;2)形成悬空并横跨于凹槽上的半导体纳米线结构;3)对半导体纳米线结构进行圆化及减薄;4)于半导体纳米线表面形成全包围式的栅介质层,于栅介质层表面形成栅电极层;5)以栅电极层作为掩膜,进行离子注入工艺以形成源区及漏区;6)去除栅电极层包围以外的栅介质层;7)于源区及漏区形成源电极及漏电极。本发明采用栅电极层作为掩膜进行源区及漏区的自对准注入,可有效提高工艺稳定性以及注入精度,并可有效降低工艺成本。本发明在制备半导体纳米线时,不需要进行各项同性的湿法腐蚀,可有效避免内凹性空腔的产生。
  • 晶体管及其制备方法
  • [发明专利]三维堆叠的环栅晶体管的制备方法-CN201910027361.8有效
  • 刘强;俞文杰;任青华;陈治西;刘晨鹤;赵兰天;陈玲丽;王曦 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 2019-01-11 - 2022-01-28 - H01L21/336
  • 本发明提供一种三维堆叠的环栅晶体管的制备方法,方法包括:1)提供SOI衬底,其绝缘层中形成有凹槽;2)形成悬空并横跨于凹槽上且向上堆叠的半导体纳米线结构;3)对半导体纳米线结构进行圆化及减薄;4)于沟道区表面形成注入阻挡层,其显露源区及漏区的制备区域;5)进行离子注入以形成源区及漏区;6)于半导体纳米线表面形成全包围式的栅介质层及栅电极层,并图形化形成栅极结构;7)形成源电极及漏电极。本发明的环栅晶体管采用后栅工艺制备,可有效提高栅极材料的选择范围,从而实现不同的器件性能要求。本发明在刻蚀半导体纳米线时,不需要进行各项同性的湿法腐蚀,可有效避免内凹性空腔的产生。本发明可有效提高器件的集成度。
  • 三维堆叠晶体管制备方法

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