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- [发明专利]曝光方法及曝光装置-CN200780052925.9有效
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三宅健;高木俊博
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三荣技研股份有限公司
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2007-08-10
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2010-03-03
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G03F7/20
- 本发明提供一种曝光方法及曝光装置。使基板(1)固定支承于四边基板支承构件(11)。将绘有图形的光掩模(2)配置于基板(1)的覆盖感光层的位置。通过光掩模(2)将光照射到基板(1)的感光层从而将图形转印到基板上。曝光时，光掩模(2)和基板(1)互相均匀地接触，并且使基板支承构件(11)及基板(1)变形为期望的弯曲形状的状态。基板支承构件(11)以沿与互相对置的第一对侧缘部相同的方向上延伸的第一轴，和沿与互相对置的第二对侧缘部相同的方向上延伸的第二轴为中心，一边分别控制弯曲量，基板支承构件(11)一边与基板(1)共同弯曲。由此，图形的尺寸实质地变化而转印到基板(1)上。
- 曝光方法装置
- [发明专利]曝光用光源-CN200510099081.6无效
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三宅健
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三荣技研株式会社
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2005-09-01
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2006-03-08
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G03F7/20
- 本发明提供一种采用多个面发光元件作为代替灯的发光源、并利用该面发光元件和光学系统能大功率输出平行光的曝光用光源。用安装在基板1上的多个面发光元件发出的光作为发光源，让该光从靠近该面发光元件配置的光学多棱柱3的端面射入，利用光学多棱柱3使照度均匀。使光学多棱柱3的另一端面射出的光9利用透镜4聚光照射曲面镜5，并利用曲面镜5变换成平行光11，平行光11再照射光掩模6。利用照射光掩模6的平行光，将光掩模6上所画的图形转印在形成于基板7上的感光膜，这样进行曝光。
- 曝光用光
- [发明专利]曝光装置-CN200510078325.2有效
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三宅健;今西贤
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三荣技研股份有限公司
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2005-05-12
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2005-11-30
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H05K3/06
- 一种通过消除曝光时带状基板因自重向下弯曲而产生的不良，对带状基板和光掩模高精度地进行位置对准，从而提供均匀品质的产品的曝光装置。该曝光装置沿带状基板(1)的长度方向一边间歇地送给带状基板(1)、一边每隔规定长度区域进行曝光。通过驱动装置(19)，使具有附着感光材料的曝光面的柔性带状基板1在抽出用卷盘(14)和卷绕用卷盘(15)之间移动。在抽出用卷盘(14)和卷绕用卷盘(15)之间形成带状基板(1)成为垂直状态的垂直路径。在垂直路径设置曝光部。曝光部具有光掩模(21、22)。通过来自光源的光将光掩模(21、22)上绘制的图形转印到带状基板(1)的曝光面上。
- 曝光装置
- [发明专利]层压装置以及层压方法-CN200410007073.X无效
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三宅荣一;三宅健
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三荣技研股份有限公司
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2004-02-27
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2004-09-08
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B29C43/30
- 一种层压装置以及层压方法，层压装置包括基板运送机构。基板运送机构具有上下一对薄膜传送带(7、8)。一对薄膜传送带(7、8)，将在表面保持有薄膜状材料的基板8保持在其间并可沿长方向移动。一对薄膜传送带(7、8)，通过边受到延长方向的张力边移动，而将基板8相对于压制部运入以及运出。层压装置，包括用于在压制部挟持基板并加压的上侧以及下侧加压块(10、11)。在各上侧以及下侧加压块(10、11)上，具有用于向一对薄膜传送带(7、8)施加沿横方向的张力的张力施加机构(24、25)。这种层压装置，使运送基板的薄膜传送带的纵向皱折不妨碍基板上的薄膜状材料的平整度。
- 层压装置以及方法
- [发明专利]压力装置及方法-CN200310101498.2无效
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三宅健
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三荣技研股份有限公司
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2003-10-21
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2004-05-19
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H05K3/00
- 一种压力装置及方法，该压力装置，具有由上侧及下侧壳体部件(2、3)构成的真空腔1。在真空腔(1)内配置具有加热板(14、17)的上侧及下侧加压块(12、13)。表面支撑有薄膜状材料的基板(10)被在上侧及下侧加压块之间进行加压。在上侧及下侧加压块(12、13)中至少一方设有加压体(20)。加压体(20)通过向其内部空间内导入加压流体而其上下面可以沿上下方向移动。基板(10)的加压通过加压体(20)的上下面的移动进行。由设成刚性结构状态的、上侧及下侧加压块(12、13)的驱动机构(1)支撑加压力的反力。其使薄膜状材料不会残留气泡地嵌入并密着在基板表面的较深的凹部或孔内，且使薄膜材料平坦化。
- 压力装置方法
- [发明专利]压力装置-CN03154394.4无效
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三宅健
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三荣技研股份有限公司
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2003-08-21
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2004-03-31
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B29C43/18
- 一种压力装置，该压力装置具有下侧加压块(30)与上侧加压块(16)。在下侧加压块(30)与上侧加压块(16)之间搬入表面保持有薄膜状材料(12)的基板(11)。第1驱动装置(35)使下侧加压块(30)移动、向上侧加压块(16)上升，在双方的加压块之间对基板(11)及薄膜状材料(12)加压而使其紧密层压。具有驱动缸(25)、缸杆(26)及杠杆(27)的第2驱动装置(24)被设在基座部件(13)与支撑上侧加压块(16)的上侧支撑部件(17)之间。通过使第2驱动装置(24)动作来使上侧加压块(16)产生转动，从而可扩大下侧加压块(30)与上侧加压块(16)之间的空间，使维护保养变得容易。
- 压力装置
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