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- [发明专利]检测光信号的方法-CN03142737.5无效
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三井田高
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伊诺太科株式会社
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1998-12-18
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2004-05-12
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H01L21/66
- 本发明是使用成象器件检测光信号的方法,该方法包括以下步骤:通过信号光在光电二极管的阱区(15)中产生光生空穴,通过大部分阱区(15)把光生空穴转移到形成在源区(16)附近的阱区(15)中的重掺杂掩埋层(25)中,重掺杂掩埋层(25)用比绝缘栅FET的阱区(15)重的杂质掺杂,在重掺杂掩埋层(25)中储存光生空穴,由此与光生电荷的量相对应改变FET的阈值电压,读取阈值电压的变化,作为被光传感器接收的信号光的量。
- 检测信号方法
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