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[发明专利]用于在加工等离子体时控制离子能量分布的装置和方法-CN201980021613.4在审
发明人：吉田祐介;谢尔盖·沃罗宁;阿洛科·兰詹;大卫·库穆;斯科特·怀特 -专利权人：东京毅力科创株式会社;万机仪器公司
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：在等离子体加工中，多个谐波频率分量用于等离子体激发。控制不同频率分量之间的相对幅度和/或相移，以便提供期望的离子能量等离子体属性。可以在不进行直接测量和/或手动离子能量测量的情况下控制相对幅度和/或相移。而是，可以通过监测该等离子体装置内的诸如例如阻抗水平等一个或多个电特性、该射频(RF)发生器中的电信号、匹配网络中的电信号、以及该等离子体加工装置的其他电路中的电信号来动态地控制该等离子体内的离子能量。可以在等离子体工艺期间动态地实现对该离子能量的监测和控制，以便维持期望的离子能量分布。
用于加工等离子体控制离子能量分布装置方法

[发明专利]冷阴极电离真空计和测量压力的方法-CN201780027137.8有效
发明人： T·C·斯文尼;C·L·珀西;D·W·马里昂;B·J·凯利 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： H01J41/06 文献下载
摘要：冷阴极电离真空计和测量压力的方法。一种冷阴极电离真空计包括多个阴极，在所述多个阴极与阳极之间具有不同间距。所述多个阴极允许在较宽的压力范围内的压力测量。具有较大的间距的第一阴极可以根据汤森放电来提供电流；而具有较小的间距的第二阴极可以根据在较高的压力下的汤森放电以及在更高的压力下的帕邢定律放电这两者来提供电流。在第二阴极上的特征构造可以支持帕邢定律放电。阴极和电源的回程之间的大电阻使得能够控制输出曲线以扩大具有精确响应的压力范围并且避免输出最小值。可以基于来自各个阴极的电流根据贯穿宽压力测量范围的阴极的输出来获得压力测量值。所述多个阴极亦可提供避免在各个阴极的电流输出中发现的中断处的测量值。
阴极电离真空计测量压力方法

[发明专利]电离压力计和操作电离压力计的方法-CN201680040313.7有效
发明人： D·C·汉森 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2016-05-12 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H01J41/04 文献下载
摘要：提供了电离压力计和操作电离压力计的方法，以操作热阴极电离压力计(HCIG)。晶体管电路可以被配置用于以低输入阻抗传递电子发射电流并且用于控制阴极偏置电压。发射电流和阴极偏置电压可以被彼此独立地控制，而无需伺服稳定时间。可以关于泄漏电流来校准HCIG。
电离压力计操作方法

[发明专利]用于工业介质阻挡放电发生器应用的多功能零电压开关谐振逆变器-CN201380014703.3有效
发明人：陈肯;陈星;纽曼罗素L;李国华 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2013-03-18 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： H02M7/48 文献下载
摘要：一种诸如用于产生臭氧的介质阻挡放电系统的电力系统可以包括全桥逆变器级和并联谐振槽，该并联谐振槽输出用于为介质阻挡放电电池堆供电的信号。使用脉宽调制(PWM)和频率调制(FM)的组合控制逆变器级，以能够通过所有负载状况即从满负载到轻负载进行软切换。电流控制回路误差放大器补偿器可以向相移PWM控制器芯片提供占空比调节信号，相移PWM控制器芯片产生用于逆变器级的切换信号。还使用反馈信号调节PWM控制器芯片的时钟频率时间常数，以提供FM。在一个实施方式中，反馈信号是连接在电流控制回路误差放大器补偿器的输出端处的反相放大器。
用于工业介质阻挡放电发生器应用多功能电压开关谐振逆变器