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[实用新型]一种涂胶轨道工作腔体的排风风速测量装置-CN202320399826.4有效
发明人：顾军魏;龚宇科;程庆志;沈龙华;杨辉 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G01P5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种涂胶轨道工作腔体的排风风速测量装置，属于半导体设备技术领域。包括排风传导桶，所述排风传导桶罩设于涂胶工作腔体上，所述涂胶工作腔体顶部具有排风口，使得所述排风传导桶与涂胶工作腔体相贯通；所述排风传导桶上设有风速测试仪，对汇聚于排风传导桶内风的风速进行测量并显示数值。所述排风传导桶底部设置密封圈，下压所述排风传导桶，使得所述密封圈与胶盘口贴合。所述排风传导桶外周对称设置把手。一种涂胶轨道工作腔体的排风风速测量装置，操作简单、便于风速读取，保证了单次风速测试无误差，大大缩短了测试时间。
一种涂胶轨道工作风速测量装置

[实用新型]一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统-CN202320541442.1有效
发明人：蒋亚东;周晓;徐林;龚宇科;陈建标;贾云波 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统，属于半导体离子注入设备技术领域。所述离子注入机设备包括若干机体，若干所述机体上分别连接排风管道，所述排风管道内分别设有风压测试表；所述机体上分别设有信号触发器，所述风压测试表与信号触发器信号连接，所述信号触发器与可视化显示终端信号连接。还设有远程报警器，所述远程报警器与信号触发器信号连接，所述远程报警器设于操作人员集中处。所述可视化显示终端包括LED电子屏和信号接收器，所述信号接收器与信号触发器信号连接，所述信号接收器通过RS485通讯连接LED电子屏。本申请结构简单，操作便捷，帮助操作人员第一时间知晓并准确处置险情，防止灾情扩大、事态蔓延。
一种半导体离子注入设备监测集成系统

[实用新型]一种简易、高效、稳定的光刻匀胶胶泵系统-CN202320297793.2有效
发明人： 龚宇科;顾军魏;戴杨;陈林 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种简易、高效、稳定的光刻匀胶胶泵系统，属于集成电路制造技术领域。包括液罐，所述液罐连接气管，所述气管上设有数显调压阀，所述数显调压阀通过PLC系统与胶泵home信号连锁，所述数显调压阀控制液罐内的压力，并对其压力进行监控后反馈于PLC系统，进而控制胶泵home信号导通或断开，使得胶泵系统在出胶准备状态和未准备状态下切换；所述液罐与出胶管连通，所述出胶管上设有回吸截止阀，所述回吸截止阀通过出胶控制系统控制打开或关闭，进而控制出胶管是否出胶。本申请成本低廉、结构简单易维护，保证了出胶状态的稳定，有效降低匀胶异常。
一种简易高效稳定光刻匀胶胶泵系统

[实用新型]一种显影设备自动供液装置-CN202222924995.3有效
发明人： 龚宇科;顾军魏;姜佳彬;陈建标;李志坚 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种显影设备自动供液装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括两液罐供液单元，所述液罐供液单元进口分别与供液管连通，所述液罐供液单元出口分别与显影设备进液口连通，两所述液罐供液单元交替进行供液和补液工作；任一所述液罐供液单元包括液罐，所述液罐上分别设有进液管和出液管，所述进液管上设置进液阀，所述出液管上分别设置出液阀；所述液罐内设有上下布置的上液位传感器和下液位传感器，所述上液位传感器和下液位传感器分别与进液阀、出液阀信号连接。本申请显影液自动供液，提高了生产效率；且无需人工频繁加液，减轻了员工劳动强度，提高了安全性和可靠性。
一种显影设备自动装置

[实用新型]一种实现晶圆定点测量的手动测试平台-CN202222924675.8有效
发明人： 龚宇科;沈龙华;常俊;陈尚利;汪嘉 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种实现晶圆定点测量的手动测试平台，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括平台底座，所述平台底座上设有旋转式承片台盘，所述旋转式承片台盘能够沿着平台底座的Y向作直线运动；所述旋转式承片台盘上设有晶圆限位单元，所述晶圆限位单元内设有晶圆；所述旋转式承片台盘侧面设有悬臂，所述悬臂一端固定于平台底座上，所述悬臂另一端设置测试头，且所述测试头设于旋转式承片台盘上方；所述旋转式承片台盘上开设多个环向均布的指示缺口，所述指示缺口与悬臂对齐时，所述旋转式承片台盘调节至测试位置。本申请结构简单，操作便捷，实现晶圆五点测试的快速精确定位，省时省力，提高了测试均匀性和测试效率。
一种实现定点测量手动测试平台

[实用新型]一种硅片翘曲度测试装置-CN202020275389.1有效
发明人： 龚宇科;李天鹏;孙斌;虞登恒;石坚 -专利权人：江阴新顺微电子有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片翘曲度测试装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括用于设置待测硅片的承片台和传感器，所述承片台滑动设于测量座的平台上，使得承片台相对测量座的位置便于调整；所述承片台正上方设有测距传感器，所述测量座的立柱上设置固定支架，所述传感器设于固定支架上；所述传感器与其配套的控制器电连接。所述承片台包括第一平台和第二平台，所述第二平台设于第一平台上，所述第二平台竖向开设若干校正孔，所述校正孔内分别设有校正件。本申请避免了对硅片的损伤，不仅测试快速便捷，而且测试精度高、测试量程大。
一种硅片曲度测试装置

[发明专利]铟镓合金作为代汞物在氧化层固定电荷测试中的方法-CN201710185238.X在审
发明人：石坚;龚宇科;孙斌;李建立;潘伟 -专利权人：江阴新顺微电子有限公司
申请日： 2017-03-25 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种铟镓合金作为代汞物在氧化层固定电荷测试中的方法，所述方法包括以下步骤1、将固体单晶铟和镓按照一定配比放在石墨坩埚内进行加温熔制；2、熔制过程中使用石英棒适当搅拌直至形成铟和镓的合金；3、停止加热，待铟镓合金物冷却至室温后，将其装入密闭不透光容器内保存；4、选择N型掺杂衬底，晶向＜100＞的硅材料片，在Si表面生长一层SiO2层；5、将生长有SiO2层的一面向上放置在金属台盘上，硅衬底一面与金属台盘接触，开启真空吸附；6、使用毛细吸管从密闭容器中获取铟镓合金，并在SiO2层表面制作一个金属电极；7、旋下金属探针杆，使探针与铟镓合金良好接触；8、在预定的偏置电压下进行扫描，得到C‑V测试结果。
合金作为代汞物氧化固定电荷测试中的方法

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