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[发明专利]滤波器、射频系统以及电子设备-CN202180046325.1在审
发明人：鲍景富;吴婷;李伍平;黄裕霖;李昕熠;高宗智 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H03H9/54 文献下载
摘要：本公开涉及滤波器、射频系统以及电子设备。该滤波器总体上包括上下布置的两个谐振器以及位于这两个谐振器之间的第一耦合层。每个谐振器分别包括上下布置的两个电极以及位于这两个电极之间的压电层。在该滤波器中，至少一个谐振器包括机电耦合系数不低于20％的材料。通过该方案，可以使滤波器的谐振器之间的耦合强度被合理地调控，从而确保滤波器在高频率范围内具有较好的滤波性能。
滤波器射频系统以及电子设备

[发明专利]一种体声波谐振器、声学滤波器及电子设备-CN202280006025.5在审
发明人：张本锋;黄裕霖;李昕熠;高宗智;侯航天 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请的实施例提供一种体声波谐振器、声学滤波器及电子设备，涉及半导体技术领域，可以提升声学滤波器的性能。该体声波谐振器包括压电材料层、叉指换能器和介质层；叉指换能器设置于压电材料层上，叉指换能器包括相对设置的第一汇流条、第二汇流条、多个第一电极指和多个第二电极指，多个第一电极指沿第一汇流条延伸方向，依次从第一汇流条向第二汇流条突出；多个第二电极指沿第二汇流条延伸方向，依次从第二汇流条向第一汇流条突出；其中，多个第一电极指和多个第二电极指在第一汇流条和第二汇流条之间依次交错排布；介质层覆盖压电材料层以及叉指换能器，介质层位于至少一对相邻的第一电极指和第二电极指之间的部分的厚度有高低起伏。
一种声波谐振器声学滤波器电子设备

[发明专利]一种抑制杂散模态及馈通的MEMS压电谐振器-CN201510881021.3有效
发明人：鲍景富;李昕熠;张超;陈兆隽;黄裕霖;张翼 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明属于射频通信及微机电系统中的元器件技术领域，涉及一种抑制杂散模态及馈通的MEMS压电谐振器，包括差分输入结构、差分输出结构和偶数阶侧向伸缩振动模态MEMS压电谐振器，所述偶数阶侧向伸缩振动模态MEMS压电谐振器包括基底、支撑台、支撑梁、振动块，振动块的振动模态阶数为2N，压电薄膜上设置2N个电极，均分为两组，每组电极中将同相电极互连、形成一对驱动电极及感应电极，两对驱动电极及感应电极对应连接外部互连金属区，形成谐振器两个输入端及输出端，将输入信号经过差分输入结构产生两路差分信号，分别输入谐振器上两个输入端，两个输出端产生两路输出信号，经差分输出结构进行差分处理后输出，能够有效抑制杂散模态及馈通，提升谐振器性能。
一种抑制杂散模态 mems 压电谐振器

[发明专利]具有LC串联谐振电路的MEMS谐振器-CN201410436945.8有效
发明人：鲍景富;李昕熠;王秋苹;郭伟;黄裕霖 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2014-08-29 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：具有LC串联谐振电路的MEMS谐振器，属于电子科学技术领域。包含振动块及其支撑锚点；输入/输出电极；输入端LC串联谐振结构；输入/输出端。输入端通过电感与输入电极相连；谐振块的支撑锚点处形成LC串联谐振电路中的电容结构。本发明提供的具有LC串联谐振电路的MEMS谐振器，在常规静电驱动电容式MEMS谐振器的输入电极前增加了有电感与电容组成的LC串联谐振电路，其串联谐振频率与振动块机械谐振频率一致。这种结构的引入提高了谐振器的实际输入电压及能量转换效率，使谐振器振动激励出更大的位移，进而使输出幅度提高，有效的改善了谐振器的输出性能。
具有 lc 串联谐振电路 mems 谐振器

[发明专利]一种横向双梁的DC接触式串联MEMS开关-CN201510246961.5有效
发明人：鲍景富;黄裕霖;刘若林;李昕熠;张翼;刘永智 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明属于电子科学技术领域，提供一种横向双梁的DC接触式串联MEMS开关，包括带绝缘介质层的基底，绝缘介质层上的两个横向可移动悬臂梁及其对应的第一驱动电极、第二驱动电极、开关焊盘、电极焊盘；所述两个横向可移动悬臂梁下方悬空且高度位于同一水平面，其固定端分别通过支撑锚点固定于绝缘层上对侧位置、自由端部分交叠且不接触；所述第一驱动电极设置作用于横向可移动悬臂梁中点；所述第二驱动电极设置对应于横向可移动悬臂梁自由端端点。本发明通过两组电极对两个悬臂梁的控制，使开关具有更低的驱动电压和更高的隔离度，并降低了开关时间，使之具有更好的实用性及开关性能。
一种横向 dc 接触串联 mems 开关

[发明专利]一种具有PN结的MEMS电容开关-CN201410234153.2有效
发明人：鲍景富;李昕熠;黄裕霖;李立圆;黄洪云 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2014-05-29 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种具有PN结的MEMS电容开关，属于电子技术领域。本发明在MEMS电容开关的上下驱动电极之间增加一个纵向PN结结构，开关在Up态时，上下驱动电极之间不施加驱动电压，电接触点与信号线不相接触；开关在Down态时，上驱动电极在驱动电压作用下下拉，电接触点与信号线接触，同时纵向半导体PN结处于反偏状态。本发明提供的具有PN结的MEMS电容开关，Down态工作时，不会产生电荷注入和积累现象，避免了上下驱动电极的粘结失效问题，又能使MEMS电容开关能够在足够的驱动电压下工作，从而能够保证电接触点与信号线的紧密接触，最终能够提高MEMS电容开关的可靠性和稳定性。
一种具有 pn mems 电容开关

[发明专利]一种利用双谐振单元抵消馈通量的MEMS压电谐振器-CN201510206387.0在审
发明人：鲍景富;李昕熠;张超;黄裕霖;陈兆隽;秦风;安佳琪;张翼 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-04-28 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明属于微机械系统(MEMS)器件设计制造领域，提出了一种降低馈通电容影响的MEMS压电谐振器，包括差分输入/输出结构和两个MEMS压电谐振单元；其特征在于，所述两个MEMS压电谐振单元中，一个在硅基底及二氧化硅绝缘层上对应于振动块和支撑梁的位置刻蚀有空腔，另一个未开设有空腔。与传统的MEMS谐振器相比，该结构通过引入差分输入/输出结构，使两个谐振器的馈通信号在输出端实现相减进而产生抵消作用，从而实现降低馈通电容影响的作用，提高谐振器的能量转换效率，使其具有更好的选频特性，并抑制谐振器的输出杂散。
一种利用谐振单元抵消通量 mems 压电谐振器

[发明专利]一种压电式双方块级联微机械滤波器-CN201510206451.5在审
发明人：鲍景富;李昕熠;陈兆隽;黄裕霖;秦风;安佳琪;张翼 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-04-28 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： H03H9/19 文献下载
摘要：本发明属于射频通信及微机电系统(MEMS)技术领域中的原器件技术领域，提供一种压电式双方块级联微机械滤波器，包括两块相同尺寸的振动方块、耦合梁、支撑梁、支撑台、输入电极、输出电极、直流偏置电极、压电薄膜层及绝缘基底，两块振动方块通过耦合梁连接、同时通过固定于振动方块另一侧边中点的支撑梁与支撑台连接、架空设置于绝缘基底上，振动方块上分别覆盖一层压电薄膜；输入电极和输出电极分别设置在压电薄膜上；一对直流偏置电极包围两块振动方块，与振动方块构成电容结构。本发明采用压电结构，并且通过两个谐振方块的耦合构成滤波器，以达到结构简单紧凑，降低加工工艺难度，耦合效率高，Q值高，具有更好的锐截止等目的。
一种压电双方级联微机滤波器

[发明专利]基于绝缘材料振动块的MEMS谐振器-CN201410439227.6在审
发明人：鲍景富;李昕熠;王秋苹;黄裕霖 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2014-08-29 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：基于绝缘材料振动块的MEMS谐振器，属于电子科学技术领域。包括一个绝缘材料振动块，振动块采用四个支撑锚点架空于基片上，任意两个支撑锚点之间的振动块侧边沉积导电材料形成换能电容内电极，四个支撑锚点上分别具有一个直流驱动电压输入端，四个输入输出端口分别通过一段导电材料与一个换能电容外电极相连。本发明采用绝缘材料制作振动块，使得谐振器输入的电信号无法直接经由直通电容而传输至输出端，而是经过电-机-电的转换过程，从而尽量降低了直通电容的影响，提高了谐振器的能量转换效率，使其具有更好的选频特性，并抑制谐振器的输出杂散。同时，每个谐振器换能电容内电极具有单独的驱动电压，使得驱动电压分布更均匀。
基于绝缘材料振动 mems 谐振器

[发明专利]一种射频MEMS单刀双掷开关-CN201410439204.5有效
发明人：鲍景富;黄裕霖;邓迪;李昕熠;王强;王彬 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2014-08-29 - 公布日： 2014-12-03 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种射频MEMS单刀双掷开关，属于电子科学技术领域。采用可移动金属悬臂梁，其一端通过金属锚点与信号输入端相连，中间具有吸合电极板，远端为下拉电极板；沿悬臂梁中心轴线两侧分别设置第一、第二驱动电极和信号输出端；开关工作时，第一驱动电极先施加偏置电压，使得吸合电极板受静电力作用而移动，然后同侧第二驱动电极施加偏置电压，使得远端下拉电极板被拉下导致两个电接触点与同侧的射频信号输出端相接触。本发明提供的开关在断开状态时两个第二驱动电极板都不在悬臂梁垂直投影区域以内，有效减少了开关断开状态的耦合电容，增加了开关的隔离度，同时开关在断开状态下金属悬臂梁和基底之间距离可做得更小，从而有效降低了开关驱动电压。
一种射频 mems 单刀开关

[发明专利]基于微屏蔽结构的太赫兹带状线滤波器-CN201310713045.9有效
发明人：鲍景富;黄裕霖;李昕熠;邓迪;谭伟;王秋萍 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2013-12-23 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： H01P1/203 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微屏蔽结构的太赫兹带状线滤波器，包括滤波器输入端（1）和滤波器输出端（4），滤波器输入端（1）和滤波器输出端（4）之间包括形成S型弯折结构的若干段，各段内部包括：上地平面（15）、下地平面（11）、上信号线（16）、下信号线（12）、上支撑薄膜（17）、下支撑薄膜（13）、上结合壁（18）、下结合壁（14）。本发明由于采用带状线滤波器结构，信号线之间可实现强耦合，从而实现宽带滤波功能。
基于屏蔽结构赫兹带状线滤波器

[发明专利]不含卤素的难燃性环氧树脂组合物-CN200510117508.0有效
发明人：黄坤源;杜安邦;巫胜彦;黄裕霖 -专利权人：长春人造树脂厂股份有限公司
申请日： 2005-11-02 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： C08L63/02 文献下载
摘要：本发明有关一种不含卤素的难燃性环氧树脂组合物，包括不含卤素的环氧树脂、硬化剂、硬化促进剂、增韧剂以及无机填充剂。本发明的难燃性环氧树脂组合物具有高耐热及高接着性，而可使用作为软性印刷电路板的接着剂。
卤素难燃性环氧树脂组合

[发明专利]层状奈米氧化硅片改质聚酰胺酸树脂组合物及由其制备的聚酰亚胺薄膜-CN200510093490.5有效
发明人：黄坤源;杜安邦;巫胜彦;黄裕霖 -专利权人：长春人造树脂厂股份有限公司
申请日： 2005-08-30 - 公布日： 2007-03-07 - 主分类号： C08L77/00 文献下载
摘要：本发明有关一种聚酰胺酸树脂组合物，其特征为包含有层状奈米硅片及/或奈米粉体。本发明又有关由此聚酰胺酸树脂组合物所制得的聚酰亚胺薄膜，此薄膜具有改良尺寸安定性、低吸水性、高透明性以及低热膨胀系数(CTE)值而应用于软性印刷电路板及液晶显示器的电路板。
层状氧化硅片聚酰胺树脂组合制备聚酰亚胺薄膜

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