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[发明专利]半导体材料的阴极荧光成像测试方法-CN201910029166.9有效
发明人：许蕾蕾;黄增立;刘通;丁孙安 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2019-01-12 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01N23/223 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体材料的阴极荧光成像测试方法，其包括：制备待测的半导体材料样品；应用聚焦离子束切割工艺对所述半导体材料样品进行切割，形成厚度为纳米尺寸量级的测试样品；在具有阴极荧光光谱仪的扫描电子显微镜中对所述测试样品进行阴极荧光成像测试。本发明将待测样品切割为厚度为纳米尺寸量级的测试样品(透射电子显微镜(TEM)超薄样品)在扫描电子显微镜(SEM)中进行阴极荧光成像测试，可以提升使用SEM设备进行阴极荧光成像的空间分辨率。
半导体材料阴极荧光成像测试方法

[发明专利]微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法-CN201810601158.2有效
发明人：刘通;黄增立;许蕾蕾;赵弇斐;丁孙安 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2018-06-12 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法，其包括在聚焦离子束‑扫描电镜双束系统中进行的以下工艺：选取待测的微米尺寸量级的样品颗粒；应用离子束沉积工艺在所述样品颗粒的外表面沉积第一材料，形成包覆所述样品颗粒的保护层；将包覆有保护层的所述样品颗粒焊接到样品载网上；应用离子束切割工艺对包覆有保护层的所述样品颗粒进行切割，在所述样品载网上形成厚度为纳米尺寸量级的测试样品。该方法可以简化微米级颗粒透射电子显微镜样品的制样过程，提升了制样速度，并且提高了制样的成功率。
微米颗粒透射电子显微镜样品制备方法

[发明专利]一种应用于真空互联系统的样品传送系统-CN201611000379.1有效
发明人：卢荻;丁孙安;丁祥金;黄增立;陆晓鸣;阮颖华;丁祥飞 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;上海磐颖实业有限公司
申请日： 2016-11-14 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明揭示一种应用于真空互联系统的样品传送系统，包括真空管道；至少两个样品托及与该至少两个样品托相应的两个真空升降台；至少一个全机械驱动机械手，该全机械驱动机械手至少用于样品在样品托和样品托之间的传送，以及驱动样品的上下面翻转；至少一个样品机械手，该样品机械手至少用于将样品托中的样品取送至对应设备；至少两个真空磁力杆，分别用于驱动全机械驱动机械手和勺形样品机械手。采用真空中全机械运动实现样品从一个样品托到另一个样品托或设备的传送，以及对样品上下面的翻转，真空中不采用电动或气动伺服驱动样品传送过程，不影响整系统的真空度、洁净度，且能适应真空互联系统中局域高温工作条件和空间尺寸。
一种应用于真空联系样品传送系统

[发明专利]兼容真空环境的图形转移的方法及系统-CN201711439215.3有效
发明人：熊康林;陆晓鸣;黄增立;徐蕾蕾;冯加贵;李坊森;丁孙安;杨辉 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明公开了一种兼容真空环境的图形转移的方法及系统。所述的方法包括如下步骤：提供无机掩膜版，其包括依次设置在基底上的第一无机掩膜版和第二无机掩膜版；在第二无机掩膜版上加工形成图形，至少以选择性气相刻蚀工艺将所述图形转移至第一无机掩膜版中，至少在所述第一无机掩膜版的图形区域生长目标材料，除去所述的无机掩膜版。本发明提供的兼容真空环境的图形转移的方法，有效的杜绝了显影液、溶剂和有机掩膜版的使用。
兼容真空环境图形转移方法系统

[发明专利]一种等离激元增强型深紫外探测器及其制作方法-CN201711340060.8有效
发明人： 黄增立;许蕾蕾;刘通;赵弇斐;丁孙安 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： H01L31/109 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离激元增强型深紫外探测器、其制备方法及应用。所述等离激元增强型深紫外探测器包括包括异质结、插齿电极及周期性金属颗粒阵列，所述插齿电极形成于所述异质结上，所述周期性金属颗粒阵列形成于所述插齿电极之间。本发明利用金属颗粒所产生的局域等离激元和金属颗粒阵列所产生的等离激元周期性衍射共振模式，将两种紫外波段的入射光耦合到金属纳米结构，来实现探测器表面两种紫外波段的光场增强，提高探测器材料对入射光的吸收率，改善深紫外探测器对两种波长的光响应度；并且通过调节金属颗粒的周期和尺寸能够实现等离激元共振和镓氮/铝镓氮探测器探测波长的耦合。
一种离激元增强深紫探测器及其制作方法

[发明专利]一种样品托-CN201810676842.7在审
发明人：陆晓鸣;丁孙安;赵弇斐;李坊森;黄增立;刘通;陈肖;沈阳;王虎 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2018-06-27 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： G01N35/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种样品托，包括托盘、压紧片以及锁紧螺钉，所述托盘上设置有螺孔，所述压紧片上设置有通孔，所述锁紧螺钉穿过所述压紧片上的通孔与托盘上的螺孔连接固定。本发明的四个样品槽可以固定多个样品片，压紧片以及锁紧螺钉能够将样品片锁死固定在托盘上，传动滑槽能使其在不同设备间传递，为纳米真空互联实验站中小样品片的固定与传递提供了一种有效的途径。
托盘压紧片锁紧螺钉通孔有效的途径传动滑槽螺孔连接设备间样品槽样品托传递螺孔锁死穿过互联

[发明专利]在氮化镓衬底的氮极性面上制备欧姆接触电极的方法-CN201810600932.8在审
发明人：刘通;黄荣;李坊森;黄增立;陆晓鸣;丁孙安 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2018-06-12 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： H01S5/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种在氮化镓衬底的氮极性面上制备欧姆接触电极的方法，其包括：在真空环境中将所述氮化镓衬底送入到刻蚀装置中；控制所述刻蚀装置对所述氮化镓衬底的氮极性面进行等离子体刻蚀处理；在真空环境中将所述氮化镓衬底从所述刻蚀装置转移到沉积装置中；控制所述沉积装置在所述氮化镓衬底的氮极性面上沉积金属薄膜，形成所述欧姆接触电极。该方法可以降低氮化镓衬底的氮极性面与金属电极之间的欧姆接触电阻，并且还提高了欧姆接触的热稳定性。
氮化镓衬底刻蚀装置欧姆接触电极沉积装置氮极性面真空环境氮极性等离子体刻蚀处理沉积金属薄膜欧姆接触电阻金属电极欧姆接触热稳定性制备送入

[发明专利]一种同时测量表面磁性和表面电势的方法-CN201510561823.6有效
发明人：钟海舰;刘争晖;徐耿钊;樊英民;黄增立;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2015-09-07 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G01Q60/50 文献下载
摘要：本发明提供一种同时测量表面磁性和表面电势的方法，包括如下步骤：（1）磁性原子力显微镜探针以第一本征频率振动，待测样品进行第一次扫描，获得待测样品表面形貌曲线；（2）将磁性原子力显微镜探针抬起预定高度，以第一本征频率振动，将一频率等于磁性原子力显微镜探针的第二本征频率的交流信号与直流偏压施加到磁性原子力显微镜探针上后，按照待测样品表面形貌曲线对待测样品进行第二次扫描；（3）调节直流偏压，若振幅和/或频率信号为零，则磁性原子力显微镜探针与待测样品等电位，输出该直流偏压，获得待测样品表面电势；对磁性原子力显微镜探针第一本征频率处的振幅和/或频率和/或相位信号进行反馈，得到待测样品表面磁畴分布。
一种同时测量表面磁性电势方法

[发明专利]等离激元窄带吸收薄膜-CN201510106462.6有效
发明人： 黄增立;王建峰;刘争晖;徐耿钊;钟海舰;樊英民;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2015-03-11 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： H01P1/20 文献下载
摘要：本发明提供一种等离激元窄带吸收薄膜，包括基底层及设置于所述基底层表面的介质层，还包括设置在所述介质层表面的隔离层及设置在所述隔离层表面的介电颗粒层，所述介电颗粒层由多个介电颗粒按一定周期排列形成。本发明的优点在于：1、相比于金属颗粒中的自由电子的等离激元共振，热损耗能够大大降低。2、能够实现强局域的电磁共振窄波长光吸收，进一步增强电磁波与介电颗粒作用强度，因此可以在不均匀的环境中实现窄波长的强局域共振响应。3、可以调节电磁能量在介质层和介电颗粒的吸收比例，从而降低金属热损耗。
离激元窄带吸收薄膜

[发明专利]自支撑微纳米结构及其制作方法-CN201811257763.9在审
发明人：黄永丹;熊康林;黄增立;许蕾蕾;孙骏逸;冯加贵;武彪;丁孙安;陆晓鸣 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种自支撑微纳米结构的制作方法，包括：在衬底上形成牺牲层以及覆盖牺牲层的功能层；在功能层上预设图案化区域，在图案化区域内进行图案化处理，以在功能层中形成露出部分牺牲层的图案部；其中，部分牺牲层为图案化区域在牺牲层的投影范围内的牺牲层；将部分牺牲层去除，获得自支撑微纳米结构。本发明在制作自支撑微纳米结构时，可控性、重复性、成品率较高，能应用的微纳米材料种类较多，而且能够形成的自支撑微纳米结构更加复杂。
牺牲层微纳米结构自支撑功能层图案化区域制作图案化处理微纳米材料预设图案成品率可控性图案部衬底去除投影覆盖应用

[发明专利]电场增强结构-CN201510106412.8有效
发明人： 黄增立;王建峰;刘争晖;徐耿钊;钟海舰;樊英民;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2015-03-11 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明提供一种电场增强结构，包括基底层及设置在所述基底层表面的介质层，还包括设置在所述介质层表面的隔离层及设置在所述隔离层表面的介电颗粒层，所述介电颗粒层由多个介电颗粒形成，所述介电颗粒的折射率大于所述隔离层的折射率。本发明的优点在于，高折射率介电颗粒能够和入射的电磁场相互作用产生谐振的电磁耦合模式，热损耗能够大大降低；介电颗粒靠近金属，保持一定的低折射率的隔离层，介电颗粒的电磁谐振模式能够与邻近金属的等离激元模式相互作用，导致介电颗粒和金属之间形成极大的电磁增强场；低折射率隔离层的存在能够避免金属和探测物直接接触，有效防止探测物的拉曼信号、荧光信号等的淬灭现象的发生。
电场增强结构

[发明专利]超高真空样品转移设备及转移方法-CN201410609148.5有效
发明人：徐耿钊;刘争晖;钟海舰;樊英民;黄增立;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2014-11-04 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G01Q30/18 文献下载
摘要：本发明提供一种超高真空样品转移设备及转移方法，所述设备包括：一样品腔、一过渡腔及一样品传递装置，所述样品腔维持超高真空环境，所述样品腔与所述过渡腔之间设置一第一阀门，以使所述样品腔与所述过渡腔连通或隔断，所述过渡腔与一对接装置连接，并可通过所述对接装置与一外部目标设备连接，所述样品传递装置可在所述样品腔及所述外部目标设备间传递样品。本发明的优点在于，过渡腔作为中间腔体，既可以处于超高真空状态，又可以与外界压强相同，使得在样品存放及转移过程中，无论转移设备是否与外部目标设备相连，样品始终处于超高真空的环境中，且能够避免不同设备间机械振动等噪声的互相干扰。
超高真空样品转移设备方法

[发明专利]用于近场光学显微镜的探针及其制备方法-CN201410036355.6有效
发明人：徐耿钊;樊英民;刘争晖;钟海舰;黄增立;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2014-01-26 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： G01Q60/22 文献下载
摘要：本发明提供一种用于近场光学显微镜的探针，包括悬臂梁基底、设置在所述悬臂梁基底上的半导体针尖，设置在半导体针尖上的两个金属电极，所述两个金属电极相对设置，所述半导体针尖与两个金属电极形成用于将光信号转换为电信号的金属‑半导体‑金属光电探测器，其中一个金属电极用于与一外部直流偏压加载装置连接，另一金属电极用于收集光电流并将光电流传输给近场光学显微镜的控制器。本发明的优点在于，能够简化近场光学显微镜结构和操作复杂度，大大拓宽其使用范围，从而方便探针在各种环境中的传递和更换。
用于近场光学显微镜探针及其制备方法

[发明专利]一种全机械驱动并带防意外开启机构的机械手-CN201610999920.8在审
发明人：丁孙安;丁祥金;卢荻;黄增立;陆晓鸣;阮颖华;丁祥飞 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;上海磐颖实业有限公司
申请日： 2016-11-14 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： B25J9/10 文献下载
摘要：本发明揭示一种全机械驱动并带防意外开启机构的机械手，包括一个机械手框架，至少两个铰接在机械手框架上可以自由转动的机械手手指，一个自由端朝向机械手开口方向、另一个端用连杆与机械手手指分别相铰接的开启推杆，一个跨装在机械手指及机械手框架上的手指锁和至少两个机械手手指锁死机构。该机械手不含电动或气动伺服机构，用简单机械外力推动手指锁来实现机械手的抓取、放下、防意外开启锁死的动作。该全机械驱动机械手克服了因电动或气动伺服系统的体积、线圈的挥发性、耐高性而无法满足真空、高洁净、高温、狭小空间环境对机械手的使用要求。
机械手机械手框架机械手手指全机械开启机构手指锁驱动铰接气动伺服机构气动伺服系统推杆抓取挥发性机械手指开口方向锁死机构外力推动狭小空间开启锁耐高性自由端洁净

[发明专利]基于声表面波增强的紫外探测器及其制备方法-CN201410036906.9有效
发明人：樊英民;钟海舰;刘争晖;徐耿钊;黄增立;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2014-01-26 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： H01L31/11 文献下载
摘要：本发明提供一种基于声表面波增强的紫外探测器及其制备方法，所述基于声表面波增强的紫外探测器包括半导体衬底及设置于半导体衬底表面的两个背对背的肖特基电极，所述两个背对背的肖特基电极用于收集光生载流子并形成电信号输出，还包括设置于半导体衬底表面的叉指换能器，所述叉指换能器用于激励声表面波，以实现声表面波对光生载流子的输运。本发明的优点在于，采用声表面波实现俘获和定向输运光生载流子，可将远处的光生载流子传送至肖特基电极结构内建电场区域，可减小光生载流子的复合，提高光电转换效率，实现高灵敏度的紫外探测功能。
基于表面波增强紫外探测器及其制备方法

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