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[发明专利]中红外宽光谱激光干涉仪-CN202310901392.8在审
发明人：王培力;丁毅凡;鲁棋;刘世杰;孙莹 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种中红外宽光谱激光干涉仪，其构成包括标准反射镜、待测透镜、标准透射镜、准直镜组、分光镜、分光棱镜、孔径光阑、成像镜组、红外探测器、探测器移动导轨、对点光屏、激光器、计算机。本发明结构简单，可实现较高冷阑效率；本发明中准直镜组与成像镜组均由三片独立的单透镜构成，两者所使用材料相同，可对3μm～5μm波段内任一波长处激光进行干涉测量，并实现在工作波段内的超消色差。本发明属于多波长平面激光干涉仪，可实现在多种波长下，对凸面或凹面光学元件的波前参数进行高精度测量。
红外光谱激光干涉仪

[发明专利]动态载频干涉条纹的自动调零方法-CN202211626814.7在审
发明人：张徐;刘世杰;鲁棋;徐天柱;公维超;孙莹 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种动态载频干涉条纹发自动调零方法，包括步骤1)调零前预处理；寻找最新采集的干涉条纹图的二维离散傅里叶变换频谱图中的零频位置；计算频谱图中正或负一级频谱位置跟零频位置之间的相对偏移量；根据相对偏离量分别计算在夹具的绝对偏摆和俯仰方向上调节的相对位移量，并控制相应电机进行调节；采集移动结束后的载频干涉条纹进行二维离散傅里叶变换；判断此时频谱图中是否满足零频状态即只剩零频或者当正或负一级频谱位置与零频位置偏差在误差允许范围内，直至达零条纹状态，调节结束。本发明具备更加智能、准确和高效的特点。
动态载频干涉条纹自动方法

[发明专利]超米级平面元件面形拼接检测装置-CN202211551439.4在审
发明人：刘世杰;白云波;鲁棋;张嘉怡;魏朝阳;胡晨;晋云霞;邵建达 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种超米级平面元件面形拼接检测装置，包括：干涉仪、二维移动拼接平台、机械辅助搬运系统、光学平台、电气控制系统和计算机，通过机械辅助搬运系统将待测平面反射镜放置于二维移动拼接平台上，干涉仪的部分出射光经TF标准镜的后表面反射形成参考光束，另一部分透过TF标准镜经待测样品反射形成测量光束，参考光束和测量光束沿原光路返回形成清晰的明暗相间的干涉条纹；计算机对干涉条纹进行解包获得待测样品在该子孔径区域的面形误差；通过电气控制系统控制二维拼接平台，将待测件移动至下一子孔径位置，并且与上一子孔径保持部分重叠，重复上述测量步骤直至完成对所有子孔径区域面形误差的测量，使用拼接软件计算得到待测样品全口径面形误差。
超米级平面元件拼接检测装置

[发明专利]空间光调制器相位调制量标定装置和标定方法-CN202210105134.4有效
发明人：鲁棋;刘世杰;孙莹;白云波 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种空间光调制器相位调制量标定装置和标定方法，装置包括波长调谐激光器、空间滤波器、准直镜、线偏振片、分束器、参考镜、待测空间光调制器、反射镜、成像镜头组、相机和计算机。本发明可对纯相位型液晶空间光调制器的相位调制量进行标定，误差优于2π/200。使用本发明标定的液晶空间光调制器可调制出误差峰谷值小于等于λ/20的波前，从而达到高精度波面补偿的效果。本发明可应用于基于液晶空间光调制器的波前校正、波前补偿和自适应光学等领域。
空间调制器相位调制标定装置方法

[发明专利]超声可调光谱干涉测量装置和测量方法-CN202010876592.9有效
发明人：刘世杰;张徐;周游;白云波;鲁棋;徐天柱 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：一种超声可调光谱干涉测量的测量装置和测量方法，测量装置包括超宽光谱激光光源、环形器、超声波发生器、换能器、铝板、布拉格光纤光栅、光纤微调整架、陷光器、扩束输出镜、分光棱镜、CCD相机、准直透镜、透射标准镜、待测元件和标准反射镜。超宽光谱激光光源产生宽谱光束，超声波发生器和换能器用于产生频率可调的超声波，铝板传递超声波对布拉格光纤光栅调制，光纤微调整架对光栅位置进行微调，环形器将宽谱光源与光栅反射光束分开，陷光器用于吸收光栅透射光，CCD相机用于记录干涉相位图。本发明在测量过程中，通过调整超声频率的大小即可实现光源相干长度的调节，从而可实现高平行度平板元件前后表面面形误差的快速同步的测量。
超声可调光谱干涉测量装置测量方法

[发明专利]显微散射偏振成像表面缺陷测量装置和测量方法-CN201910609670.6有效
发明人：邵建达;刘世杰;倪开灶;王圣浩;周游;王微微;徐天柱;鲁棋 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：一种显微散射偏振成像表面缺陷测量装置和测量方法，该装置主要包括激光器、第一会聚透镜、旋转扩散器、第二会聚透镜、光阑、第三会聚透镜、针孔、第四会聚透镜、偏振片、半波片、偏振分束器、X‑Y位移平台、样品、显微镜头、四分之一波片、微偏振片阵列、相机和计算机。本发明采用微偏振片阵列实现表面缺陷实时显微散射偏振成像，通过计算偏振度图像，提升了超光滑元件表面缺陷探测的灵敏度，实现高反膜元件表面缺陷有效检测，能够满足米级大口径超光滑元件表面缺陷快速检测需求。
显微散射偏振成像表面缺陷测量装置测量方法

[发明专利]一种动态双波长移相干涉测量装置和测量方法-CN202010609106.7有效
发明人：刘世杰;鲁棋;周游;白云波;徐天柱;倪开灶;邵建达 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种动态双波长移相干涉测量装置，该装置中的包括：第一激光器、第二激光器、可调中性滤光片、光开关、反射镜、合束镜、扩束镜、二分之一波片、第一偏振分光棱镜、第一四分之一波片、参考镜、第二四分之一波片、近零位补偿镜、被测面、第三四分之一波片、成像镜、分束镜、第二偏振分光棱镜、第一探测器、第二探测器、第三偏振分光棱镜、第三探测器、第四探测器和计算机；以及测量方法。本发明装置隔振要求低，能实现对最大面形误差斜率小于3.5μm/pixel的非球面/自由曲面元件的面形进行全口径动态干涉测量。
一种动态波长相干测量装置测量方法

[发明专利]一种双波长双模式的动态数字散斑干涉测量装置及方法-CN202010285846.X有效
发明人：王晨;刘世杰;周游;白云波;鲁棋;徐天柱;潘靖宇 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-04-13 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种双波长双模式的动态数字散斑干涉测量装置及方法，通过开关可变扩束器，以及标准球面镜头和可变倍成像镜头的切换，形成紧凑式双波长激光干涉系统和双波长散斑干涉系统两种模式共用的测量装置。利用双波长产生的合成波长干涉信号可以提高系统的测量动态范围，同时利用偏振同步移相技术可以实现系统的动态测量，降低测量环境的抗振要求。本发明测量装置及方法可以实现高精度复合材料曲面元件的大视场、大动态范围和实时动态的光滑表面形貌及粗糙表面形变的在线原位精确测量。
一种波长双模动态数字干涉测量装置方法

[发明专利]宽光谱球面透射标准镜-CN202010199957.9有效
发明人：刘世杰;鲁棋;周游;王圣浩;徐天柱;王微微;邵建达 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-03-20 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：一种宽光谱球面透射标准镜，其构成包括沿激光入射方向上依次的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜构成的镜组，第四透镜可沿光轴方向移动。该镜组最大通光口径为Φ100mm、镜组长度不大于150mm、F数设计范围为0.75～3.30、工作波段为532nm～1550nm，本发明在不同波长下工作时的F数保持不变、波前误差峰谷值均≤0.025λ。本发明可应用于多波长平面激光干涉仪中，实现在多种波长下，对凸面或凹面光学元件的波前参数进行高精度测量。
光谱球面透射标准

[发明专利]大口径光学元件表面缺陷三维形貌测量装置和方法-CN201811123643.X有效
发明人：邵建达;刘世杰;倪开灶;黄保铭;潘靖宇;周游;王微微;鲁棋 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种大口径光学元件表面缺陷三维形貌测量装置和方法。该装置主要包括瞬态干涉测量系统、俯仰偏摆姿态调节机构、激光位移传感器、XYZ精密位移平台、大口径平面光学元件、样品夹持装置、样品调平机构、计算机和隔振平台。本发明对大口径光学元件表面缺陷三维形貌能实现全口径快速扫描测量，深度测量分辨率达到亚纳米量级；能够准确识别区分表面缺陷的类型，提升了测量结果的可靠性。
口径光学元件表面缺陷三维形貌测量装置方法

[发明专利]用于干涉仪平面标准镜绝对面形检测的旋转机构-CN201910206648.7有效
发明人：白云波;周游;刘世杰;邵建达;鲁棋;徐天柱;王圣浩;潘靖宇 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：一种用于干涉仪平面标准镜绝对面形检测的旋转机构，主要包括待测平面标准镜、供待测平面标准镜放置的平面标准镜固定环、镜框、圆形测角光栅尺、圆形测角光栅尺链接板、圆形测角光栅尺固定板、电动旋转机构及其控制系统。本发明实现了平面标准镜面形绝对检测的快速替换和旋转角度精密控制，实现了提高检测精度的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义，同时可为各类口径干涉仪的计量校准提供重要的参考意义。
用于干涉仪平面标准绝对检测旋转机构

[发明专利]倍频晶体定轴误差测量装置及测量方法-CN201910116649.2有效
发明人：刘世杰;鲁棋;徐天柱;潘靖宇;周游;王圣浩;邵建达 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2019-02-14 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：一种倍频晶体定轴误差测量装置及测量方法，该装置包括：激光器、孔径光阑、激光隔离器、格兰激光棱镜、光挡、第一分光板、平面反射镜、第一激光自准直仪、第一旋转台、第二分光板、第一能量计、分光棱镜、待测倍频晶体、第二旋转台、第二能量计、直角棱镜、校准倍频晶体、第三旋转台、第三能量计和第二激光自准直仪。本发明装置通过获取待测倍频晶体和校准倍频晶体的倍频转换效率同步调谐曲线，从而计算待测倍频晶体光轴与校准晶体倍频光轴之间的角度差，即待测倍频晶体的定轴误差。本发明的测量精度较高，相对测量误差优于1″。
倍频晶体误差测量装置测量方法

[发明专利]多波长激光干涉仪-CN201810749061.6有效
发明人：刘世杰;鲁棋;周游;王圣浩;倪开灶;潘靖宇;邵建达 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-07-10 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：一种多波长激光干涉仪，该装置包括：激光器、孔径光阑、扩束次镜、针孔光阑、分光棱镜、准直主镜、透射标准镜、压电陶瓷换能器、待测平面元件、反射标准镜、成像透镜、高光谱相机和计算机。本发明装置中的准直主镜为三透镜，成像透镜与扩束次镜参数完全相同且为单透镜；为了减小本发明装置中透镜的加工难度和降低整套系统光路装调的难度，本发明装置中的扩束次镜和准直主镜各有1个面可为平面。本发明能在600nm～1600nm波长范围内，能对待测的平面光学元件的透射波前或反射波前进行测量。
波长激光干涉仪

[外观设计]高速可见光近红外光谱仪-CN202030063715.8有效
发明人：刘世杰;王圣浩;白云波;鲁棋;徐天柱;周滨滨;赵仁 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海见远自动化科技有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：高速可见光近红外光谱仪。2.本外观设计产品的用途：用于样品透射光谱、反射光谱和吸收光谱，光栅光谱衍射效率以及光栅结构参数的测量。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与色彩的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.请求保护的外观设计包含色彩。6.无设计要点，省略右视图;本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
高速可见光红外光谱仪

[外观设计]数字化激光干涉仪-CN202030063567.X有效
发明人：刘世杰;周游;白云波;鲁棋;徐天柱;邵建达;周滨滨;赵仁 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海见远自动化科技有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： 10-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：数字化激光干涉仪。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于光学元件面形误差、波前误差、表面平行差以及材料光学均匀性的测量。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与色彩的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.请求保护的外观设计包含色彩。6.无设计要点，省略右视图;无设计要点，省略俯视图;无设计要点，省略仰视图。
数字化激光干涉仪

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