专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种双沟结构的脊上开孔方法-CN201910769949.0有效
  • 邓仁亮;欧祥勇;薛正群;李敬波;杨重英;吴林福生;高家敏;郭智勇;苏辉 - 福州中科光芯科技有限公司
  • 2019-08-20 - 2021-08-03 - H01L21/027
  • 本发明涉及一种双沟结构的脊上开孔方法,包括如下步骤:在具有双沟的晶元上生长二氧化硅钝化层;匀胶负性光刻胶两次,进行前烘;准备好所需光刻版,将晶元对位曝光;将曝光后的晶元进行曝光后烘;将晶元泛曝光,进行显影;在显微镜下检验合格后,后烘;匀胶负性光刻胶一次,进行前烘;准备好所需光刻版,且晶元对位曝光预设时间;将曝光后的晶元进行曝光后烘;将晶元泛曝光,进行显影;在显微镜下检验合格后,后烘;将后烘后的晶元送到RIE刻蚀机进行刻蚀;将刻蚀后的晶元进行去胶清洗。本发明采用两次负胶反转光刻工艺和一次RIE刻蚀结合,减小对位难度并且能够有效保护台面边缘的二氧化硅钝化层,使得台面开孔区域形貌优良,便于电流注入。
  • 一种结构脊上开孔方法
  • [发明专利]一种宽温度工作DFB半导体激光器的制备方法-CN201911150098.8有效
  • 薛正群;杨重英;高家敏;吴林福生;李敬波 - 福建中科光芯光电科技有限公司
  • 2019-11-21 - 2021-04-30 - H01S5/12
  • 本发明涉及一种宽温度工作DFB半导体激光器的制备方法,在InP衬底上依次生长缓冲层、下波导结构、下电子阻挡层、InGaAsP和AlGaInAs混合量子阱、上电子阻挡层、上波导结构、间隔层、长波长光栅层及光栅保护层,完成一次外延片的制备。接着在一次外延片上制备均匀光栅和光栅再生长形成完整的外延片,采用常规脊型波导结构工艺制备DFB激光器,实现宽温度工作的DFB半导体激光器。发明采用InGaAsP和AlGaInAs混合量子阱,充分利用AlGaInAs高温载流子限制效率高,以及InGaAsP量子阱增益谱的温度漂移系数小的特点来实现激光器宽温度范围内的单模工作,同时引入具有吸收特性的长波长光栅层来增加光栅对FP模式增益的吸收,进一步抑制FP起振,从而实现宽温度工作的单模激光器芯片。
  • 一种温度工作dfb半导体激光器制备方法
  • [发明专利]一种光通信波段多波长半导体激光器的制备方法-CN201810707771.2有效
  • 薛正群;苏辉;吴林福生;杨重英;高家敏 - 福建中科光芯光电科技有限公司
  • 2018-07-02 - 2020-10-16 - H01S5/343
  • 本发明涉及一种光通信波段多波长半导体激光器的制备方法,首先在N‑InP衬底上,通过PECVD沉积SiO2介质层,光刻形成不同的生长区域图案,接着通过MOCVD生长缓冲层、波导和量子阱结构、光栅层,完成选择区域生长。采用电子束光刻在不同选择生长区域内刻写不同周期的光栅图案,腐蚀形成光栅,生长光栅覆盖层;采用典型的掩埋异质结激光器工艺,在选择生长区域的中心部分腐蚀形成台面,外延生长PNP电流阻挡层,去除脊型表面的介质层,外延进行最后生长;并光刻、腐蚀形成双沟结构,进行脊型表面开孔,电子束蒸发P面金属,减薄,蒸发N面金属,合金,解离形成巴条,腔面镀膜完成激光器。本发明实现不同区域出不同的出光波长,单片上不同波长的激光器阵列。
  • 一种光通信波段波长半导体激光器制备方法
  • [实用新型]大容量水浸卧式厌氧消化反应罐-CN201220313156.1有效
  • 刘宇;刘会生;王希伟;高家敏 - 刘宇
  • 2012-07-02 - 2013-01-02 - C12M1/107
  • 一种大容量水浸卧式厌氧消化反应罐,属垃圾处理设备,在水池侧壁安装支架,安装的轴承滑道固定在支架间,罐体卧在水池内,罐体两端传动轴与轴承连接,旋转接头与传动轴连接,罐体内壁设置抄板,外周设置风斗,罐体内安装沼气管;罐体两端设有进料管、出料管和沼气输送管,进料管、沼气输送管插入空心轴和传动轴内,一端与旋转接头端盖固定,另一端伸入到罐体内和与罐体内沼气管连接,旋转接头端盖出料口连接出料管。本实用新型利用水的浮力使罐体转动轻松,抄板使物料均匀翻动,不会有发酵死角,不会在液面结壳,能耗低,生产率高。
  • 容量卧式消化反应
  • [发明专利]大容量水浸卧式厌氧消化反应罐-CN201210222531.6无效
  • 刘宇;刘会生;王希伟;高家敏 - 刘宇
  • 2012-07-02 - 2012-10-03 - C12M1/107
  • 一种大容量水浸卧式厌氧消化反应罐,属垃圾处理设备,在水池侧壁安装支架,安装的轴承滑道固定在支架间,罐体卧在水池内,罐体两端传动轴与轴承连接,旋转接头与传动轴连接,罐体内壁设置抄板,外周设置风斗,罐体内安装沼气管;罐体两端设有进料管、出料管和沼气输送管,进料管、沼气输送管插入空心轴和传动轴内,一端与旋转接头端盖固定,另一端伸入到罐体内和与罐体内沼气管连接,旋转接头端盖出料口连接出料管。本发明利用水的浮力使罐体转动轻松,抄板使物料均匀翻动,不会有发酵死角,不会在液面结壳,能耗低,生产率高。
  • 容量卧式消化反应

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