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- [实用新型]一种基片装片台-CN202223390297.6有效
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顾骏;王德苗;顾为民;冯斌;李东滨
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杭州比凡科电子科技有限公司
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2022-12-17
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2023-05-05
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C23C14/50
- 本实用新型公开了一种基片装片台，涉及镀膜技术领域，包括机体和固定安装在所述机体上的控制面板，所述真空筒固定安装在所述机体上；多个溅射靶头，各所述溅射靶头均固定安装在所述真空筒上；转板，所述转板竖向滑动设置在所述真空筒内；多个旋转组件，各所述旋转组件均固定设置在所述转板上。本实用新型提供的一种基片装片台，通过利用旋转组件对基片进行翻转，使得工作人员无需多次打开真空筒，便能够对基片的双面同时进行磁控溅射镀膜处理，不仅减少了工作人员的工作量，提高了对基片磁控溅射镀膜的效率，尽量避免了由于多次打开真空筒对真空筒中的真空效果造成影响的情况发生，在一定程度上提高了对基片磁控溅射镀膜的效果。
- 一种基片装片台
- [实用新型]一种磁控溅射镀膜靶材-CN202222945926.0有效
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冯斌;王德苗;顾骏;顾为民
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杭州比凡科电子科技有限公司
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2022-11-01
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2023-03-24
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜靶材，包括两个支架、背板、两个靶材、连接轴和两个L型板，背板转动连接在两个支架之间，两个L型板分别固定连接在背板顶部与底部的两端，L型板的内侧设置有固定组件，两个靶材分别通过固定组件设置在背板的两侧，连接轴转动连接在其中一个支架的一侧，背板转轴的一端与连接轴靠近背板的一端固定连接，连接轴的外侧设置有位移组件，位移组件用于固定背板。本实用新型以解决，现有的背板一般是固定安装在磁控溅射镀膜设备内，从而导致背板只有一个表面能够绑定靶材，在当前靶材消耗完毕，需要花费较长时间来更换靶材，降低了工作效率，使得在生产进度比较紧张时，容易延误加工进度，不利于实际应用的问题。
- 一种磁控溅射镀膜
- [实用新型]一种翻转式片架-CN202223126898.6有效
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顾骏;王德苗;顾为民;冯斌;李东滨
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杭州比凡科电子科技有限公司
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2022-11-23
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2023-03-21
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C03C17/00
- 本实用新型公开了一种翻转式片架，包括下夹片架、上夹片架和安装板，下夹片架的外侧对称开设有第一槽口，第一槽口的内部均固定连接有转轴，转轴的外侧转动连接连接组件，连接组件包括转动环，转动环转动连接在转轴的外侧，转动环的外侧固定连接有方形连接杆，转动环的外侧且位于方形连接杆的一侧固定连接有丝杆，上夹片架的外侧均开设有第二槽口，上夹片架与下夹片架通过丝杆相连接，通过上述技术手段，从而解决了传统基片架缺少翻转结构，通过翻转的方式对基片的两面进行镀膜，只能在一面完成镀膜后再对另一面进行镀膜，且需要两次等待镀膜凝固的时间，繁琐且耗时，且缺少调节功能，无法对不同宽度的基片进行夹持，使用局限性较大的问题。
- 一种翻转式片架
- [实用新型]一种基片输送机-CN202223037991.X有效
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顾骏;王德苗;顾为民;冯斌;李东滨;任高潮
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杭州比凡科电子科技有限公司
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2022-11-15
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2023-03-14
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B65G49/06
- 本实用新型公开了一种基片输送机，包括底座，底座的顶部固定连接有固定板，固定板的内壁固定连接有滑杆，滑杆的外壁滑动连接有滑块，滑块的一端固定连接有下压板，下压板的底部固定连接有第一固定块，第一固定块的一侧固定连接有转轴，转轴的外壁设置有扭力弹簧，扭力弹簧的一端固定连接有顶杆，本实用新型的有益效果在于，向下移动下压板，带动顶杆向下移动，顶杆触碰到底座时，自身转动，带动扭力弹簧压紧，顶杆在转动的过程中，推动底座上的基片向前移动，随后向上移动下压板，带动顶杆向上移动，在扭力弹簧的作用下，顶杆复位，由此往复，可以将基片向前推动，方便作业人员对底座上的基片进行加工。
- 一种输送
- [实用新型]一种磁控溅射镀膜冷却室-CN202222996854.2有效
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冯斌;王德苗;顾骏;顾为民;任高潮
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杭州比凡科电子科技有限公司
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2022-11-08
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2023-02-28
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜冷却室，包括冷却室本体，冷却室本体的一侧设置有进风箱，进风箱的顶部固定连接有吸风机，吸风机的输入端固定连接有连接头，连接头远离吸风机的一侧等距固定连接有冷却铜管，冷却室本体的内部固定连接有冷却箱，冷却箱的内部等距固定连接有环形结构的冷凝板，冷却铜管均贯穿冷凝板且延伸至冷却箱的内部，本实用新型的有益效果在于：通过在冷却室本体内铺设冷却铜管，并通过冷凝板对冷却铜管内部的空气进行降温，从而使得冷却铜管内部的气体在经过冷凝板后处于较低的温度，进而使这股冷空气与冷却室本体的顶部相接触，从而带走靶材通过导热传递给冷却室本体的热量，从而可以更好的为靶材进行散热冷却。
- 一种磁控溅射镀膜冷却
- [实用新型]一种生态木制亭廊-CN202023048570.8有效
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顾为民;荀俊杰;孙艳红
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苏州基业生态园林股份有限公司
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2020-12-17
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2021-11-19
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E04H1/12
- 本实用新型公开了一种生态木制亭廊，涉及亭廊建筑技术领域，旨在解决竹材经过经年累月的风吹日晒雨淋，需要经常更换，后期维护成本高的问题。其技术方案要点是，包括素土层、钢筋混凝土结构层以及竹地板，所述竹地板的顶面上对称设置有两排立柱，相平行的两排所述立柱间均设置有横梁，相对称的两个立柱上分别固定有铝合金弧形杆一，两个所述铝合金弧形杆一交叉呈拱形，铝合金弧形杆一的底端插入素土层设置；每个横梁上均固定有两个交叉呈拱形的铝合金弧形杆二，竹地板与钢筋混凝土结构层之间设置有若干支撑组件。铝合金弧形杆一和铝合金弧形杆二不需要经常更换，铝合金材料既可以防火，又可以防雨，结构强度高，不容易褪色，减少后期维护成本。
- 一种生态木制
- [发明专利]一种宣传栏-CN201811565258.0在审
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顾为民;顾源城
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上海金斗智能化科技有限公司
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2018-12-20
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2020-06-30
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G09F13/04
- 本发明公开了一种宣传栏，包括主体，所述主体的下端通过设有支架固定于地面上，所述主体的上端设有顶棚，所述主体内设有展示面板，所述主体内在展示面板的上下两侧均设有丝杆，所述丝杆之间通过滑动组件连接有清洁机构，所述展示面板的两侧在主体内均嵌设有灯管，所述灯管通过导线连接蓄电池，所述导线上设有时控开关，所述展示面板的上端设有排水管，所述顶棚内设有蓄水机构，所述排水管与蓄水机构连通。该发明通过蓄水机构可以在雨天储存一定量的水源，然后清洁机构可以实现对展示面板的刷洗，无需人工定时清理，并且在晴天时，太阳能薄膜组件可以储存电源至蓄电池，供晚间的灯管照明，有效利用了自然能源，节约了安装和维修成本。
- 一种宣传
- [发明专利]一种多功能防火门-CN201811564763.3在审
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顾为民;顾源城
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上海金斗智能化科技有限公司
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2018-12-20
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2020-06-30
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E06B5/16
- 本发明公开了一种多功能防火门，包括门框和门扇，所述门框通过合页铰接所述门扇，所述门扇上部与门框之间安装有闭门器，所述门扇上设有腰板，所述门扇的上部设有防火窗，所述防火窗的外侧安装有防蚊纱网，所述防火窗内铰接有窗扇，所述防火窗内嵌设有排风管，所述门扇的下部安装有PC板，所述门扇的一侧固定安装有辅助门，所述辅助门上设有吸风机，所述吸风机连接有嵌入辅助门内的吸风管道。该发明通过设有防火窗与防蚊纱网，能够实现开启后保证空气流通的同时又防止蚊虫进入，排风管在风机的作用下会加大空气流通的速度，通风效果较好，并且门扇下部的PC板在保证强度的前提下又具有透光性，增加了空间亮度。
- 一种多功能防火门
- [实用新型]一种抬升工具-CN201920648316.X有效
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李东滨;冯斌;王德苗;金浩;顾骏;顾为民
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浙江大学昆山创新中心;苏州求是真空电子有限公司
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2019-05-08
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2020-02-21
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B25B27/14
- 本实用新型公开了一种抬升工具，包括套筒组件、驱动组件和夹持件，所述套筒组件包括套筒、升降杆和支撑件；所述套筒的壁上设有缺口；所述升降杆设于所述套筒内，其外表面上设有若干个凸起；所述支撑件与所述套筒的外表面相连，用于支撑柱形靶；所述驱动组件设于所述套筒的外侧，包括轴和齿轮；所述轴与套筒转动相连，所述齿轮固定套设在所述轴上，且位于套筒上的缺口处，与升降杆外壁上的凸起相啮合；所述夹持件与所述套筒的外壁相连。本实用新型能够克服重力的影响，采用抬举后再拧螺纹的方法，实现了单人就可以方便地完成柱形靶的安装和拆卸，相比于传统的双人安装方式，不但节省了人力，同时还提高了安装的可靠性及拆卸的方便性。
- 一种抬升工具
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