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[发明专利]接近式光刻机的载台调平装置-CN202211742726.3在审
发明人：蒋绍毅;王金鹏;霍荣标;方文韬 -专利权人：深圳市海目芯微电子装备科技有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开一种接近式光刻机的载台调平装置，该接近式光刻机的载台调平装置包括掩膜台、产品载台、至少三个接触球以及至少三个音圈电机；所述产品载台设置于所述掩膜台的下方；所述接触球设置于所述产品载台上，每个所述接触球的直径一致，各个所述接触球不全在一条直线上；所述音圈电机设置于所述产品载台的下方；所述音圈电机用于顶升所述产品载台，而使所述接触球沿竖直方向的两端分别抵接所述掩膜台的下表面与所述产品载台的上表面，以调节所述产品载台相对所述掩膜台的一面与所述掩膜台相对所述产品载台的一面平行。本发明技术方案能够实现接近式光刻机中产品载台的快速调平，提高调平精度，保证曝光质量。
接近光刻载台调平装

[发明专利]接近式光刻机的调平装置-CN201910977781.2有效
发明人：肖自雄;张晓辉;霍荣标;裴强胜;江彪;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-10-15 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种接近式光刻机的调平装置，包括掩膜板、设有通孔的承板台、设置在承板台下方的承片台、承片台固定板及支承承片台固定板的载台，还包括：接触调平机构，其设置在承板台内腔；线性驱动器，其输出端与载台固定连接；其中，所述接触调平机构包括接触球，在线性驱动器驱动承片台上升时，所述接触球从承板台内腔伸出，在承片台的推动下夹设于掩膜板的下表面及承片台的上表面之间，以调节所述承片台至与掩膜板平行的位置。本发明实现了接近式光刻机的快速调平，保证曝光质量，提高产品的合格率。
接近光刻平装

[实用新型]一种锁紧结构及光刻机-CN202021872271.3有效
发明人：肖自雄;张晓辉;裴强胜;霍荣标;龙腾云;区俊杰;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大方舟科技有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请实施例属于激光雕刻领域，涉及一种锁紧结构及光刻机。包括机架、承片台组件、滚珠丝杠组件和电磁制动组件，所述承片台组件滑动设置在机架上，所述滚珠丝杠组件和电磁制动组件均固定在机架上，并且所述滚珠丝杠组件和电磁制动组件通过制动间隙相配合；本申请还涉及一种光刻机。本申请提供的技术方案能够通过电磁制动组件消除制动间隙与丝杠本体的端部的前端紧密配合，停止丝杠本体的转动，以锁定丝杠螺母在丝杠轴向上的运动，从而锁定承片台组件，因为丝杠螺母与丝杠本体之间通过滚珠相配合，所以震动范围非常小，保证了承片台组件在静止状态下震动幅度小，且在曝光工艺的可接受范围之内，该方案对承片台的锁紧效果好。
一种结构光刻

[发明专利]一种光刻设备的对准方法及装置-CN201910633613.1在审
发明人：徐占辉;张晓辉;刘景华;霍荣标;江彪;区俊杰;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-07-15 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明一种光刻设备的对准方法及装置涉及半导体制造装备技术，主要解决现有方法中需要投影镜头校正色差的问题。一种光刻设备的对准方法步骤如下：令紫外光束由上至下依次穿过掩模板的对位孔、投影镜头和晶圆载台的校准孔；使校准孔与对位孔中心对正，计算曝光零位；移动晶圆载台并记录晶圆载台第一移动量，使得校准孔与旁轴CCD同轴对准后，通过晶圆载台第一移动量标定旁轴CCD与实际曝光区域的位置；移动晶圆载台并记录晶圆载台第二移动量，直至旁轴CCD能够识别晶圆上的标记，通过旁轴CCD与实际曝光区域的位置和晶圆载台第二移动量计算得到晶圆位于晶圆载台上的相对位置；根据相对位置，将晶圆上的曝光区域移动到曝光零位。
一种光刻设备对准方法装置

[实用新型]一种用于承载料片的平台装置以及一种光刻机-CN202020894875.1有效
发明人：徐占辉;霍荣标;刘景华;张晓辉;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及调平装置技术领域，具体涉及一种用于承载料片的平台装置，其包括用于承载料片的承托机构、至少三个驱动器和至少三个传感器，承托机构上表面定义一承托平面，用于承载料片；驱动器连接承托机构、且不全在一条直线上，用于在高度方向上调节承托平面的位置；传感器设置在承托机构上，用于检测承托平面与基准面之间的平行度，且其位置与该至少三个驱动器相对应。本实用新型通过采用不共线的至少三个传感器实现承托机构上表面与基准面的平行检测，排除了现有调平装置存在的接触球和承片台磨损所导致的平行度测量不精确的隐患。本实用新型还涉及一种光刻机。
一种用于承载平台装置以及光刻

[实用新型]激光加工设备-CN201920814077.0有效
发明人： 霍荣标;张晓辉;裴强胜;陈超;龙腾云;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光加工设备，包括激光器、第一反射件、第二反射件、第一载台、第二载台和光路调节结构，光路调节结构包括调光镜和驱动机构，驱动机构能够驱使调光镜运动至第一位置和第二位置；当位于第一位置时，激光器所出射的激光经调光镜反射后入射第一反射件，第一反射件将激光反射至第一载台，当位于第二位置时，激光器所出射的激光经调光镜反射后入射第二反射件，第二反射件将激光反射至第二载台。本实用新型的激光加工设备，通过调整调光镜的位置，使得激光器所出射的激光选择性地入射第一反射件或第二反射件，从而使得激光对第一载台和第二载台的工件进行交替加工，这种结构形式下加工效率快，且能够减少设备占用空间。
激光加工设备

[实用新型]一种接近式光刻机光学系统-CN201920322197.9有效
发明人：徐占辉;张晓辉;霍荣标;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-03-14 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种接近式光刻机光学系统，包括光源模块、导光管、照明镜头模块以及掩模面，所述光源模块的输出光束输入到所述导光管的输入端，所述照明镜头模块用于接收所述导光管的输出光线并输出照明光线，所述照明光线照射在所述掩模面上，使光源模块和导光管之间调试方便，便于组装和维护该光刻机光学系统。
导光管光学系统光源模块接近式光刻机照明光线照明镜头本实用新型输出光束输出光线光刻机输入端掩模面掩模调试照射组装输出维护

[实用新型]一种手动探针台中的传输系统和皮带传输速率调节装置-CN200920277881.6有效
发明人：高健;霍荣标 -专利权人：北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
申请日： 2009-11-30 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种手动探针台中的传输系统和皮带传输速率调节装置，涉及半导体器件生成领域，装置包括：控制芯片，包括低触发管脚、高触发管脚、电压控制管脚、输出管脚和放电管脚；输出管脚连接二极管的正极，二极管的负极分别连接第一电阻一端和第二电阻的一端，第一电阻为可变电阻，其另一端连接电源；低触发管脚和高触发管脚连接第二电阻的另一端以及第一电容的一端，第一电容的另一端接地；电压控制管脚接地，放电管脚连接带动皮带转动的电机，放电管脚和输出管脚的输出波形频率由低触发管脚和高触发管脚的输入电压控制。通过调节低触发管脚和高触发管脚的输入电压，调节输出波形的频率，实现调节电机的转速，控制皮带以不同速度传输晶片。
一种手动探针中的传输系统皮带速率调节装置

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