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[发明专利]基片支承体组件和等离子体处理装置-CN202211052630.4在审
发明人： 阿彦优贵;工藤恭久;小岩真悟 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供能够在支承基片的基片支承体组件中提高高温区域中的温度控制性的基片支承体组件和等离子体处理装置。基片支承体组件包括：基座，在该基座中形成有温度调节介质用的流路；用于支承基片的基片支承体，其具有设置在基座上的电极板和设置在电极板上的静电卡盘；用于对基片进行加热的加热器；设置在基座与电极板之间的弹性部件，其能够使基片支承体与基座隔开间隔，并且与基座和电极板一起形成用于向基座与电极板之间供给传热气体的传热空间；紧固部件，其能够以在基座与电极板之间夹持有弹性部件的状态将基座和电极板紧固；和隔热部，其能够抑制基座与电极板之间的经由弹性部件的传热。
支承组件等离子体处理装置

[发明专利]作业车辆-CN201980016541.4有效
发明人：兵藤幸次;田中哲二;青木勇;拔井祐树;阿彦优贵 -专利权人：日立建机株式会社
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： F02D29/04 文献下载
摘要：本发明提供能够在降低燃耗的同时仅在需要高行驶性能时提高行驶性能的作业车辆。轮式装载机(1)具备发动机(3)、可变容量型的HST泵(41)、与HST泵(41)以闭回路状连接的可变容量型的HST马达(42)、检测HST马达(42)的负荷压力的压力检测器(72A、72B)以及控制器(5)，控制器(5)在判定为负荷压力检测值(P)包含在大于与平地行驶时对应的负荷压力(Pα)且小于与挖掘动作时对应的负荷压力(Pγ)的规定的压力范围的情况下，仅在该规定的压力范围内使发动机(3)的最高旋转速度上升。
作业车辆

[发明专利]装卸作业车辆-CN201880055022.4有效
发明人：兵藤幸次;阿彦优贵;田中哲二;青木勇;拔井祐树;山下将司 -专利权人：日立建机株式会社
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： E02F9/22 文献下载
摘要：提供能够一边前进行驶一边使装卸作业机向上方迅速动作的装卸作业车辆。轮式装载机(1)具有：发动机(3)；可变容量型的HST泵(41)；与HST泵(41)以闭回路状连接的可变容量型的HST马达(42)；切换车身的前进或后退的前进后退切换开关(62)；检测加速踏板(61)的踏入量的踏入量传感器(610)；检测作业机用液压泵(43)的排出压的压力传感器(73)；和控制器(5)，控制器(5)在满足对车身的前进行驶中的举升臂(21)向上方的动作进行确定的确定条件的情况下，使发动机最高旋转速度上升至比平地行驶时的发动机最高旋转速度(Nmax1)大的规定的值(Nmax2)，并且将最高车速限制为比举升臂(21)的上扬操作前的最高车速(Vmax1)小的规定的值(Vmax2)。
装卸作业车辆