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[发明专利]一种绝缘材料管道内壁镀膜装置-CN201810788376.1有效
发明人：施戈;李长栋;田琳;夏虎;谢实洋 -专利权人：北京泰科诺科技有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种绝缘材料管道内壁镀膜装置。所述装置包括：二级溅射电极和旋转设备；二级溅射电极的阴极靶材沿轴向穿设在待镀膜绝缘材料管道内，旋转设备与待镀膜绝缘材料管道的一端固定连接；二级溅射电极与旋转设备均设置在真空设备内，真空设备用于使装置处于真空环境。本发明适用于对小尺寸内径的绝缘材料管道内壁进行镀膜，且镀膜膜层厚度均匀、结合力一致。
一种绝缘材料管道内壁镀膜装置

[发明专利]一种电阻蒸发器-CN201810794178.6有效
发明人：施戈;李长栋;谢实洋 -专利权人：北京泰科诺科技有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种电阻蒸发器。该电阻蒸发器的蒸发器本体通过法兰接口设置在真空设备内，真空设备用于使蒸发器本体处于真空环境中；水冷电极与蒸发器本体连接，并穿过法兰接口延伸至真空设备外；蒸发器本体包括坩埚、加热器、屏蔽层、控温热电偶和PID控制器；坩埚的侧面的外壁上包裹有加热器，加热器通过水冷电极与真空设备外的加热电源电连接；加热器的外侧对应设置多层屏蔽层；控温热电偶的一端与PID控制器电连接，另一端穿过屏蔽层与加热器对应设置；PID控制器与加热电源电连接。该电阻蒸发器能够对其所处环境的温度进行实时监控，保证了坩埚内温度的稳定，提高了待蒸发物质蒸发速率的稳定性。
一种电阻蒸发器

[实用新型]一种机械手及石墨烯薄膜连续规模化沉积设备-CN202123197176.5有效
发明人： 谢实洋 -专利权人：北京泰科诺科技有限公司
申请日： 2021-12-18 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本申请涉及一种机械手及石墨烯薄膜连续规模化沉积设备，其包括依次设置的进样室、沉积室、冷却室和机械手；所述机械手包括驱动装置、丝杆和推杆；所述丝杆的一端安装在所述驱动装置上，另一端水平延伸，所述推杆沿着所述丝杆的长度方向滑动安装在所述丝杆上；所述进样室内设置有小车，所述机械手将所述小车从所述进样室推动至所述冷却室。本申请具有保护沉积室的使用寿命不受到折损，节省能源的效果。
一种机械手石墨薄膜连续规模化沉积设备

[发明专利]一种粉体镀膜储粉漏粉装置-CN202211167106.1在审
发明人：田琳;李根;谢实洋 -专利权人：研博智创任丘科技有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本申请涉及真空室镀膜的技术领域，公开了一种粉体镀膜储粉漏粉装置，其包括真空室与设置在所述真空室内的走粉轨道，在所述真空室内位于所述走粉轨道的上方设置有储粉漏斗，在所述储粉漏斗靠近所述走粉轨道的一端设置有用于调节所述储粉漏斗端部孔径的调节件。本申请具有调节储粉漏斗端部孔径大小，扩大储粉漏斗使用范围，使得镀膜效果更好的效果。
一种镀膜储粉漏粉装置

[实用新型]一种电阻蒸发器-CN201821143338.2有效
发明人：施戈;李长栋;谢实洋 -专利权人：北京泰科诺科技有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电阻蒸发器。该电阻蒸发器的蒸发器本体通过法兰接口设置在真空设备内，真空设备用于使蒸发器本体处于真空环境中；水冷电极与蒸发器本体连接，并穿过法兰接口延伸至真空设备外；蒸发器本体包括坩埚、加热器、屏蔽层、控温热电偶和PID控制器；坩埚的侧面的外壁上包裹有加热器，加热器通过水冷电极与真空设备外的加热电源电连接；加热器的外侧对应设置多层屏蔽层；控温热电偶的一端与PID控制器电连接，另一端穿过屏蔽层与加热器对应设置；PID控制器与加热电源电连接。该电阻蒸发器能够对其所处环境的温度进行实时监控，保证了坩埚内温度的稳定，提高了待蒸发物质蒸发速率的稳定性。
加热器蒸发器本体真空设备蒸发器电阻电连接坩埚控温热电偶法兰接口加热电源水冷电极屏蔽层穿过本实用新型多层屏蔽层实时监控真空环境蒸发物质外壁蒸发侧面延伸保证

[实用新型]一种绝缘材料管道内壁镀膜装置-CN201821135499.7有效
发明人：施戈;李长栋;田琳;夏虎;谢实洋 -专利权人：北京泰科诺科技有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种绝缘材料管道内壁镀膜装置。所述装置包括：二级溅射电极和旋转设备；二级溅射电极的阴极靶材沿轴向穿设在待镀膜绝缘材料管道内，旋转设备与待镀膜绝缘材料管道的一端固定连接；二级溅射电极与旋转设备均设置在真空设备内，真空设备用于使装置处于真空环境。本实用新型适用于对小尺寸内径的绝缘材料管道内壁进行镀膜，且镀膜膜层厚度均匀、结合力一致。
绝缘材料管道内壁溅射电极旋转设备镀膜本实用新型镀膜装置真空设备镀膜膜层厚度均匀阴极靶材真空环境结合力轴向