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[实用新型]一种单晶炉用气动控制机构-CN202222571931.X有效
发明人： 谢剑舟;朱一鸣;袁华中;来迪文;史冰冰;陈妙荣 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉用气动控制机构，包括通过连接件气密连接形成气路的气动总成单元和各类单晶炉用气子单元。气动总成单元包括减压阀、油水分离器、气压传感器、多个电磁阀、阀导、电磁阀插排和消音器。工作时，压缩空气流入减压阀减压，经油水分离器过滤后进入第一气路及第二气路，第一气路中的压缩空气经电磁阀控制供应到无阀用气子单元进行相应操作，第二气路中的压缩空气经连通阀进入有阀用气子单元或手动用气子单元进行相应操作。本实用新型将分散的单晶炉气动控制元件集成到气动总成单元，最大限度简化了气路，同时减小了气动控制结构的体积，降低了气动控制操作的复杂性和单晶硅生产成本，提高了生产效率。
一种单晶炉用气动控制机构

[实用新型]一种单晶炉水冷热屏对中升降装置-CN202222601499.4有效
发明人：袁华中;谢剑舟;陈妙荣;朱一鸣;来迪文;史冰冰 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉水冷热屏对中升降装置，包括以炉盖为中心对称设置的左升降单元和右升降单元，还包括对中单元和电机。升降过程中，电机驱动，经减速机和联轴器配合带动左右升降单元中的直线模组同时移动，接着，与直线模组依次通过连接角座及连接法兰连接的波纹管跟随一起运动，从而带动水冷热屏的对称杆上升或下降。通过调节对中单元中的对中螺钉推动波纹管的下法兰、钢套及四氟套，带动水冷热屏的对称杆水平移动，实现水冷热屏位置移动，最终位于中心位置。本实用新型进一步优化了水冷热屏升降装置的结构，通过采用对中单元实现了单晶炉水冷热屏升降装置的对中调节，保证水冷热屏与晶棒处于同心，提高了单晶生产效率。
一种单晶炉水冷升降装置

[实用新型]一种便于清理的单晶炉防爆管道-CN202222603746.4有效
发明人： 谢剑舟;袁华中;朱一鸣;史冰冰;来迪文;陈妙荣 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种便于清理的单晶炉防爆管道，包括一个横置的对称结构的五通管道，五通管道上设有两个并列设置的上端管道、两个侧端管道和一个中端管道，两个上端管道分别与一个大弧度弯管连接，两个侧端管道端口各设置一个防爆单元，中端管道依次连接球阀和直角管。防爆单元包括防爆法兰、闷盖、防爆合页、导向螺钉和滑块。直角管包括一个气密清洁部，气密清洁部与直角管的管道相通。本实用新型优化了防爆单元结构，利用滑块卡在闷盖与侧端管道端口之间，避免闷盖频繁开合，减少连接部件磨损的同时，保证持续稳定泄压。采用大弧度弯管及在直角管上设置气密清洁部，减少了杂物的堆积，降低了管道清理难度，提高了清理效率。
一种便于清理单晶炉防爆管道

[实用新型]一种单晶炉下传动用水冷机构-CN202220274499.5有效
发明人： 谢剑舟;朱一鸣;袁华中;史冰冰;莱迪文 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉下传动用水冷机构，包括出水管接头、进水管接头、水冷轴、内置水管和旋转接头，内置水管上端与水冷轴的进水口连通，下端与旋转接头的水管连通，出水管接头和进水管接头与旋转接头螺纹连接。旋转接头的上端与水冷轴的下端连接，能够实现两个水管接头位置不动的情况下，水冷轴可自由旋转。水冷轴包括主轴体、环形水道体和轴端锥体，环形水道体位于主轴体内部，轴端锥体位于主轴体上部，内置水管与环形水道体的进水口连通。整体水冷机构的结构简单，拆装方便。环形水道体中的锥面环形水道为三段式焊接成型，加工方便，且冷却均匀，冷却效果强，可大大延长使用寿命。
一种单晶炉下传动水冷机构

[实用新型]一种单晶炉用晶托机构-CN202220285742.3有效
发明人： 谢剑舟;袁华中;朱一鸣;莱迪文;史冰冰 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉用晶托机构，包括托盘、左摆臂、固定座、锁定气缸、右摆臂、轴承安装座、轴承、安全阀和升降气缸，左摆臂设置在托盘的左侧，右摆臂设置在托盘的右侧，固定座设置在左摆臂和右摆臂的一侧，轴承安装座设置在左摆臂和右摆臂的一侧，轴承设置在轴承安装座的一侧，升降气缸设置在右摆臂的顶部，安全阀设置在升降气缸底部。该单晶炉用晶托机构，通过锁定气缸、托盘、固定座和锁定销的配合，当托盘稳定后，控制端控制电磁阀使锁定气缸的活塞杆推出，从而使得安装在锁定气缸的活塞杆头部的锁定销插入到固定座内，实现托盘的锁定，防止当晶棒掉落产生的冲击力下托盘的来回摆动，保证掉落晶棒不会砸入坩埚及热场。
一种单晶炉用晶托机构

[实用新型]一种单晶炉用氩气进气控制装置-CN202220275255.9有效
发明人： 谢剑舟;朱一鸣;袁华中;史冰冰;莱迪文 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉用氩气进气控制装置，包括四条进气线路，正常拉晶切换至特殊拉晶状态时，从第一进气线路的副炉流量控制气路和第三进气线路切换至第二进气线路的主炉流量控制气路和第一进气线路的电动快充气路，在质量流量控制器和电磁阀等部件的配合作用下，保证了生产切换时氩气供应的稳定。当电磁阀等通电部件工作异常或断电时，切换至第一进气线路副炉手动应急气路和第二进气线路的主炉手动应急气路，通过手动阀控制实现对副炉室和主炉室的惰性气氛保护，保证硅单晶棒的成晶率和成晶品质。外置加料器进气线路中，氩气通过电磁阀进入外置加料器，实现外置加料器的气氛保护及压力平衡。
一种单晶炉用氩气进气控制装置

[实用新型]一种单晶炉副炉室调平机构-CN202220288061.2有效
发明人：袁华中;谢剑舟;来迪文;朱一鸣;史冰冰 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉副炉室调平机构，包括固定部件、水平监测部件、控制部件和自适应调平部件。副炉室升降运动产生倾斜，水平监测部件监测到倾斜角度并与零位对比，并将结果反馈给控制部件。控制部件收集到水平监测部件发出的信号后，处理生成控制数据，并将控制指令发送至自适应调平部件。自适应调平部件中，电机收到控制指令后产生驱动力，经减速机减速后带动丝杆旋转，丝杆带动与丝杆螺母固定的拉力臂沿直线导轨前后运动，带动副炉室上端连接块随拉力臂移动，从而矫正副炉室的倾斜。本实用新型操作简单耗时少，可实时监测到工作状态下副炉室的倾斜幅度并快速进行自适应调整，有效保证各阶段、各工作状态下的副炉室法兰面水平。
一种单晶炉副炉室调平机构

[实用新型]一种单晶炉加料装置-CN202220541956.2有效
发明人：袁华中;朱吉元;朱一鸣;谢剑舟;来迪文;史冰冰 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉加料装置，通过控制直线模组将石英玻璃管定位到炉体内合适位置，将竖波纹管和装料单元连接后，将装料单元内抽真空，打开真空闸板阀，通过控制气缸将尼龙套移动到下位，装料单元中的硅料通过可伸缩非金属管、尼龙套和尼龙弯头后落入到具有一定倾斜角度的石英玻璃管中，通过电机控制传动装置带动石英玻璃管旋转，石英玻璃管内壁的螺旋状表面或槽筋状表面能够推送硅料顺利的进入到炉体内。本实用新型实现了在炉体不降温的情况下对炉内硅料的补充，减少炉子降温和升温过程中的能耗，节约时间成本；采用传动装置带动粗糙内壁的石英玻璃管旋转推送物料的方式，避免了对单晶炉内热场环境的影响，提升了产品品质。
一种单晶炉加料装置

[发明专利]一种单晶炉加料装置-CN202210245069.5在审
发明人：袁华中;朱吉元;朱一鸣;谢剑舟;来迪文;史冰冰 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶炉加料装置，通过控制直线模组将石英玻璃管定位到炉体内合适位置，将竖波纹管和装料单元连接后，将装料单元内抽真空，打开真空闸板阀，通过控制气缸将尼龙套移动到下位，装料单元中的硅料通过可伸缩非金属管、尼龙套和尼龙弯头后落入到具有一定倾斜角度的石英玻璃管中，通过电机控制传动装置带动石英玻璃管旋转，石英玻璃管内壁的螺旋状表面或槽筋状表面能够推送硅料顺利的进入到炉体内。本发明实现了在炉体不降温的情况下对炉内硅料的补充，减少炉子降温和升温过程中的能耗，节约时间成本；采用传动装置带动粗糙内壁的石英玻璃管旋转推送物料的方式，避免了对单晶炉内热场环境的影响，提升了产品品质。
一种单晶炉加料装置

[发明专利]一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法-CN202210131827.0在审
发明人：袁华中;谢剑舟;陈妙荣;来迪文;朱一鸣;史冰冰 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法，包括固定部件、水平监测部件、控制部件和自适应调平部件。副炉室升降运动产生倾斜，水平监测部件监测到倾斜角度并与零位对比，并将结果反馈给控制部件。控制部件收集到水平监测部件发出的信号后，处理生成控制数据，并将控制指令发送至自适应调平部件。自适应调平部件中，电机收到控制指令后产生驱动力，经减速机减速后带动丝杆旋转，丝杆带动与丝杆螺母固定的拉力臂沿直线导轨前后运动，带动副炉室上端连接块随拉力臂移动，从而矫正副炉室的倾斜。本发明操作简单耗时少，可实时监测到工作状态下副炉室的倾斜幅度并快速进行自适应调整，有效保证各阶段、各工作状态下的副炉室法兰面水平。
一种单晶炉副炉室调平机构平方

[实用新型]一种侧加热器可移动的铸锭炉-CN201821063588.5有效
发明人： 谢剑舟;袁华中;卫国军;朱一鸣;金越顺 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种侧加热器可移动的铸锭炉，包括炉体，位于炉体内的隔热笼，隔热笼内设置有通过护板围合并在其内有多晶硅的容腔；其特征在于：所述炉体内壁设置有搁置台，隔热笼搁置在搁置台上；所述隔热笼连接有提升装置，所述容腔的两侧设置有侧加热装置，所述提升装置和侧加热装置通过并联架同步连接于炉体外。本实用新型在铸锭的加热、熔化、长晶及退火阶段调节侧部加热器与石英坩埚的相对位置，来实现对多晶硅内部温度分布的有效控制，充分利用能量，并获得一个平坦的固液界面，从而实现节能、高效、高品质铸锭。
隔热笼本实用新型侧加热器加热装置提升装置多晶硅可移动铸锭炉炉体容腔铸锭搁置熔化侧部加热器多晶硅铸锭固液界面两侧设置炉体内壁石英坩埚同步连接退火阶段温度分布有效控制并联架高品质搁置台护板加热平坦体内节能合并

[发明专利]多粒径混合气固两相流动实验装置-CN201510824110.4有效
发明人：王维夫;胡霄乐;高增梁;谢剑舟;张步康 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2015-11-24 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： G01M10/00 文献下载
摘要：多粒径混合气固两相流动实验装置，包括实验台架、送风单元、送粉单元、管道单元、集料单元和测量控制单元，送风单元、送粉单元以及集料单元均装在实验台架上，送风单元和送粉单元分别与管道单元的进口连通，管道单元的出口与集料单元连接；测量控制单元包括用于记录气固运动行为的记录仪和面板控制器，送风单元、送粉单元以及记录仪分别与面板控制器相应的控制端口电连，记录仪的拍摄视野覆盖管路单元。本发明的有益效果：实验装置结构设计紧凑合理，通过对多粒径颗粒在不同结构管道中以不同比例混合的连续、稳定输送，能采用不同实验方式进行观察与测量，实现了管内气固两相流动规律的研究，搬运移动方便，操作方便，成本低。
粒径混合两相流动实验装置

[发明专利]一种基于微弧火花沉积技术制备类三明治结构微柱体的方法-CN201810255939.0在审
发明人：王维夫;张步康;韩超;阮文豪;谢剑舟 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-03-27 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： C23C26/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微弧火花沉积技术制备类三明治结构微柱体的方法，所述方法按如下步骤进行：将块状金属或零件作为基体，将棒状金属作为电极，将基体固定于所述的工作台上，将所述的基体与微弧火花实验装置的阴极相连，所述的棒状金属作为电极固定于工作枪上，所述的工作枪与所述的微弧火花发生装置的阳极相连，在保护气氛下，将电极靠近基体表面进行沉积，通过沉积过程中按一定次序更换不同的电极，在所述的基体上沉积获得类三明治结构的微柱体。本发明简单实用、成本低，加工表面类型广，平面和曲面都能加工，为强化换热、复合涂层和金属催化等领域的研究提供了参考。
三明治结构微柱体沉积微弧火花沉积棒状金属微弧火花电极工作枪制备阴极阳极电极固定电极靠近发生装置复合涂层基体表面加工表面金属催化块状金属强化换热实验装置参考加工研究

[发明专利]一种侧加热器可移动的铸锭炉及其铸锭工艺-CN201810733684.4在审
发明人： 谢剑舟;袁华中;卫国军;朱一鸣;金越顺 -专利权人：浙江精功科技股份有限公司
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本发明属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种侧加热器可移动的铸锭炉及其铸锭工艺，包括炉体，位于炉体内的隔热笼，隔热笼内设置有通过护板围合并在其内有多晶硅的容腔；其特征在于：所述炉体内壁设置有搁置台，隔热笼搁置在搁置台上；所述隔热笼连接有提升装置，所述容腔的两侧设置有侧加热装置，所述提升装置和侧加热装置通过并联架同步连接于炉体外。本发明在铸锭的加热、熔化、长晶及退火阶段调节侧部加热器与石英坩埚的相对位置，来实现对多晶硅内部温度分布的有效控制，充分利用能量，并获得一个平坦的固液界面，从而实现节能、高效、高品质铸锭。
隔热笼侧加热器加热装置提升装置铸锭工艺多晶硅可移动铸锭炉炉体容腔铸锭搁置熔化侧部加热器多晶硅铸锭固液界面两侧设置炉体内壁石英坩埚同步连接退火阶段温度分布有效控制并联架高品质搁置台护板加热平坦体内节能合并

[发明专利]一种基于电火花沉积的钛合金本体涂层制备方法-CN201810255947.5在审
发明人：王维夫;韩超;张步康;阮文豪;丁晨;谢剑舟 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-03-27 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： C23C26/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电火花沉积的钛合金本体涂层制备方法，所述的方法为：采用钛合金材料为基体，采用与基体材料型号相同的钛合金为电极，采用电火花沉积方式在钛合金基体表面沉积形成钛合金本体涂层。本发明沉积工艺性能优良，制备的涂层与基材呈冶金结合，界面结合好，涂层组织致密，增加了钛合金加工技术的多样性，提高了生产效率，具有很强的实用价值。
钛合金电火花沉积涂层制备致密钛合金材料钛合金基体表面沉积基体材料界面结合生产效率涂层组织冶金结合电极沉积基材制备多样性加工

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