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[发明专利]一种屏蔽分裂栅SiC MOSFET的制备方法及结构-CN202310472017.6在审
发明人：张帅;汪之涵;张良关;蔡雄飞 -专利权人：深圳基本半导体有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明涉及一种屏蔽分裂栅SiC MOSFET结构的制备方法以及结构，所述制备方法包括步骤：S1：通过离子注入在SiC外延片上形成P base区、N plus区和P Plus区并高温退火激活；S2：刻蚀形成沟槽；S3:形成第一介质层；S4：去除与所述外延层上表面对应的第一介质层，保留与所述沟槽的槽壁和槽底对应区域的第一介质层；S5：形成屏蔽栅N+区域；S6：形成PN区；S7:淀积栅氧化层；S8：去除所述外延层顶部的栅氧化层并在所述沟槽内的栅氧化层上形成栅槽；S9：在步骤S8所得栅槽内生长N+Poly Si形成分裂栅。采用本发明所述制备方法得到的屏蔽分裂栅SiC MOSFET结构适用于高压场景、提升了开关速度、降低了开关损耗。
一种屏蔽分裂 sic mosfet 制备方法结构

[发明专利]一种激光支持等离子体的宽光谱光源系统-CN202310630153.3在审
发明人： 蔡雄飞;王少卿;朱怡 -专利权人：苏州矽行半导体技术有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01J65/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光支持等离子体的宽光谱光源系统，属于半导体量检测领域，涉及等离子体光源技术，宽光谱光源系统包括位于光源灯壳内的高压气体灯、带水冷机构的椭球镜、二向色镜、激光器、激光镜组、冷水机、压缩气源、惰性气体源；在所述椭球镜内表面、二向色镜以及光源灯壳的出光窗上设置使得邻接透明体折射率变化的结构层；通过本申请的宽光谱光源系统，可以提供稳定的高功率宽光谱出射光，同时设置了结构层可以降低光损耗，提高了整体效率，可以在半导体晶圆光学检测领域中推广应用。
一种激光支持等离子体光谱光源系统

[实用新型]射频消融碳化硅电极及射频消融装置-CN202223578337.X有效
发明人：李碧波;蔡雄飞;汪之涵 -专利权人：深圳基本半导体有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： A61B18/14 文献下载
摘要：本申请提供了一种射频消融碳化硅电极及射频消融装置，包括电极主体和碳化硅半导体器件，所述电极主体的端部设有内镜，碳化硅半导体器件与所述内镜位于所述电极主体的同一端部并设置于所述内镜上，碳化硅半导体器件用于射频消融。在本申请中，碳化硅半导体器件作为消融电极，替代现有的金属射频电极或其它复合材料制备的电极，能够提高射频消融电极的精准性和设计性，降低手术并发症发生的概率。同时，本申请将碳化硅半导体器件与内镜镜头进行集成化/或单独安装在内镜镜头上，利用碳化硅半导体器件的高光学透明性及良好的生物相容性材料，在可视化下直接进行射频消融，实时控制消融面积并快速反馈消融情况，有效降低手术并发症，减少手术时间。
射频消融碳化硅电极装置

[发明专利]一种物镜切换装置-CN202310612979.7在审
发明人： 蔡雄飞;孙川;姜玉涛;朱怡 -专利权人：苏州矽行半导体技术有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G02B7/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种物镜切换装置，属于半导体晶圆的光学量测领域，物镜切换装置包括驱动模组、物镜移动件、多个不同参数的物镜、物镜锁定环和平衡导轨模块；多个物镜通过物镜锁定环连接至物镜移动件上，物镜移动件设置在驱动模组上；多个物镜在驱动模组的驱动下随物镜移动件移动实现切换；通过本申请的物镜切换装置，可以在不增强单个物镜参数或使用范围的情况下，通过切换不同参数的物镜实现晶圆检测的物镜需求范围，降低了成本，提高了两侧范围，便于在半导体晶圆光学检测领域中推广应用。
一种物镜切换装置

[实用新型]一种双偏振照明模组-CN202320747421.5有效
发明人：顾文斐;蔡雄飞 -专利权人：苏州矽行半导体技术有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双偏振照明模组，属于半导体光学成像领域，双偏振照明模组包括依次布置的光源、准直透镜、双偏振单元和光瞳组件；其中，双偏振单元用于将光源经准直透镜的出射光偏振调节为两组垂直的偏振光；所述光瞳组件用于将从双偏振单元出射的两组垂直的偏振光调节照射给待测晶圆；本申请的方案使用沃勒斯顿偏振器实现同时的水平/垂直偏振照明，提高了成像效率，可在晶圆级检测领域或光刻等领域推广应用。
一种偏振照明模组

[外观设计]上料前端机-CN202330099346.1有效
发明人：李向东;刘康;蔡雄飞 -专利权人：苏州矽行半导体技术有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：上料前端机。2.本外观设计产品的用途：用于半导体行业检测设备的上料。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
前端

[发明专利]一种有图像晶圆的多模态检测方法-CN202310363772.0在审
发明人：顾文斐;蔡雄飞 -专利权人：苏州矽行半导体技术有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种有图像晶圆的多模态检测方法，属于半导体检测领域，多模态检测方法包括多模态晶圆扫描、最优模态选取、不同模态图像的配准和多模态融合检测缺陷判定；本申请可以根据不同类型的缺陷选择最合适的扫描方式，提高检测的灵敏度和鲁棒性，检测效率高，可在晶圆宽光谱检测领域推广应用。
一种图像多模态检测方法

[发明专利]高NA大视场多接口显微物镜及晶圆缺陷检测系统-CN202310363771.6在审
发明人：孙川;顾文斐;蔡雄飞 -专利权人：苏州矽行半导体技术有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02B21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高NA大视场多接口显微物镜及晶圆缺陷检测系统，属于显微成像领域，高NA大视场多接口显微物镜包括集成壳体和内置于集成壳体末端的物镜本体；在集成壳体上设置照明光路接口、成像光路接口、自动对焦出入光路接口和照明能量检测光路接口；物镜本体采用高NA大视场平场超复消色差显微物镜。本申请的显微物镜采用带有多个外部光路接口的集成壳体与物镜本体，提高了光路接入的稳定性，减少了外部接线，采用高NA大视场的物镜，保证了成像质量，可以在晶圆级检测领域或光刻等领域推广应用。
na 视场接口显微物镜缺陷检测系统

[外观设计]晶圆前道明场检测机-CN202330099348.0有效
发明人：李向东;刘康;蔡雄飞 -专利权人：苏州矽行半导体技术有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆前道明场检测机。2.本外观设计产品的用途：用于半导体行业晶圆前道明场检测。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
晶圆前道明检测

[实用新型]一种智慧灯杆-CN202320158372.1有效
发明人：江冲;刘子毅;蔡雄飞 -专利权人：武汉懒蚁科技有限公司
申请日： 2023-01-14 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： F21V33/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种智慧灯杆，涉及路灯技术领域，包括控制组件、显示组件和路灯组件，所述显示组件设置于所述控制组件的外部，所述路灯组件设置于所述控制组件的顶部；所述显示组件包括固定环、保护扇叶和显示屏，所述保护扇叶设置于所述固定环的外部，且设置于所述显示屏的顶部。本申请通过手动调节或者利用外部电机调整控制转轴的转动，可以将转动通过内转轴传输给显示屏，由此控制外部显示屏在一定的角度控制其朝向，方便在不同人流量的环境中使用本申请调整显示屏，方便人员观看其内容；本申请通过设置的保护扇叶，可以有效阻隔雨水，而且设置的保护扇叶与所述固定插块的限制同时可以保证显示屏24的稳定移动，对显示屏起到良好的保护作用。
一种智慧灯杆

[发明专利]一种3D激光成像系统-CN202210640048.3有效
发明人：袁春辉;骆聪;刘路青;杨鹏;唐磊;施融融;曹葵康;蔡雄飞 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种3D激光成像系统，属于测量传感技术领域，系统包括3D激光位移传感器、转接保护器、光电传感器、电源和计算机；光电传感器和电源电讯连接至转接保护器；3D激光位移传感器通过IO电源线连接至转接保护器，3D激光位移传感器通过数据传输网线连接至计算机；在采用多次曝光模式的3D激光位移传感器上设置温度补偿器，并通过非线性补偿算法进行温度补偿；本3D激光成像系统结构简单并增加了温度补偿和高速测量功能，多次曝光模提高测速，能很好的满足实际工作场景下对工件材质及环境温度的适应性要求，便于在工业量检测领域推广应用。
一种激光成像系统

[实用新型]一种sc适配器-CN202222891199.4有效
发明人：江冲;刘子毅;蔡雄飞 -专利权人：武汉懒蚁科技有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G02B6/38 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种sc适配器，属于sc接头技术领域。该sc适配器，包括SC接头，SC接头的顶部开设有凹槽，凹槽的一侧开设有卡槽，凹槽的内部设置有第一卡扣，凹槽的内部设置有标签装置，SC接头通过第一卡扣与标签装置可拆卸连接，通过sc插头处内置的RFID发光标签记录光纤的信息，通过读写设备读取即可获取光纤的信息，无需再额外查找资料，同时在寻找对应的光纤时，通过设置的导光组件可以向外发出光线便于快速定位到光纤sc插头的位置，从而定位光纤的位置，解决了目前在光纤的数量较多时，查找光纤的资料需要耗费很多时间，以及定位光纤的过程也需要较多的时间，导致工作效率低下的问题。
一种 sc 适配器

[实用新型]一种散热结构和功率模块-CN202221977685.1有效
发明人： 蔡雄飞;丁宇鹏 -专利权人：深圳基本半导体有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种散热结构和功率模块，散热结构包括：基板、以及固定于基板一侧板面的若干翅片和若干导流凸台，各导流凸台间隔设置，且各翅片间隔设置，导流凸台用于将在基板上的冷却液导向至各翅片之间的间隙处，翅片的横截面呈滴形，翅片具有相对设置的尖端和圆钝端，基板的相对两端分别设有进液侧和出液侧，翅片的尖端朝向进液侧，翅片的圆钝端朝向出液侧。由于翅片的横截面呈滴形，且翅片的尖端朝向进液侧，翅片的圆钝端朝向出液侧，使得冷却液从基板的进液侧流入后与翅片充分接触而发生高效热交换，并从基板的出液侧流出，极大地增强了散热结构的散热效果，保证功率模块在工作时始终处于一个恰当的温度，提升功率模块的使用寿命。
一种散热结构功率模块

[实用新型]一种可减少雨季触电事故的路灯灯杆构造-CN202221828106.7有效
发明人：李光曦;李蔚;蔡雄飞;刘闵 -专利权人：中信建筑设计研究总院有限公司
申请日： 2022-07-16 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： F21V21/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可用于减少雨季触电事故的路灯灯杆构造，主要由灯具、不锈钢锥形无缝路灯杆、高位检修窗、带剩余电流保护装置的接线盒、地线连接端子、带外护套进线电缆、带外护套出线电缆、灯具自配电源线、电源进线管、电源出线管、接地线、垂直接地极、灯杆底座、接地脚螺栓和远端的电源配电箱组成；所述高位检修窗下边沿的离地高度为1.6米，高位检修窗的防护级别为IP55。本发明通过提高灯杆检修窗的高度，同时将检修窗的防护级别由国家标准要求的IP33提高至IP55，将使得检修窗内的接线端子和电气装置可在常见的城市内涝条件下，始终工作于一个干燥的环境，避免被雨水侵入和浸泡，从而达到减少雨季路灯漏电概率的目的。
一种减少雨季触电事故路灯灯杆构造

[发明专利]用于COB自动组装的传输装置-CN202110859474.1有效
发明人：曹葵康;蔡雄飞;徐一华;周明;谷孝东;张立光;范林林 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： H05K13/02 文献下载
摘要：本发明提供一种用于COB自动组装的传输装置，包括传输装置本体，传输装置本体包括第一基台、传送模组和定位模组，传送模组安装于第一基台的边缘处，传送模组围绕用于COB自动组装的若干组装机构，传送模组用于传送载具，料件位于载具上，定位模组安装于传送模组上，定位模组用于将载具阻停于传送模组上，以使得组装机构对载具上的料件进行组装操作；该传输装置利用定位模组将载具阻停于传送模组上，传送模组作为工作载台，无需设置单独的工作载台放置载具，大大提高了COB自动组装设备的空间利用率；另外，利用搬运模组将载具从一个传送模组上搬运至另一传送模组上，大大降低了传输装置的传输成本。
用于 cob 自动组装传输装置

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