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[发明专利]一种晶圆缺口定位方法及装置-CN202310817291.2在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G06T7/73 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆缺口定位方法、探针台、晶圆缺口定位装置、电子设备及存储介质，属于晶圆缺口定位技术领域，其中，该方法包括获取晶圆的边缘线阵图像；计算边缘线阵图像在晶圆圆周方向上的像素平均值；根据像素平均值获取晶圆的边缘坐标；在边缘线阵图像中，以边缘坐标为基准，截取预设范围的目标图像；基于目标图像确定晶圆的缺口位置。该方法利用了晶圆边缘像素平均值的特点能够快速定位晶圆的边缘坐标，在基于边缘坐标对边缘线阵图像进行裁剪减少了不必要的图像信息，降低了后续进行缺口识别的计算量，有助于大幅减少缺口定位消耗的时间，同时，通过对图像进行裁剪有助于去除部分噪音干扰，进而能够提高缺口的识别率和识别精度。
一种缺口定位方法装置

[发明专利]磁吸附式横向越障爬壁机器人-CN201810826702.3有效
发明人：曾晰;邱文彬;蔡超鹏;何兴 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B62D57/024 文献下载
摘要：磁吸附式横向越障爬壁机器人，包括：车架，用于安装越障机构；横向越障装置，包括越障驱动机构和摆动机构，越障驱动机构设置在车架上，摆动机构的上部与越障驱动机构的输出端相连，下部的摆动端安装驱动吸附装置；驱动吸附装置，包括行走驱动机构和吸附机构，行走驱动机构安装在越障机构的摆动端，吸附机构设置在行走驱动机构的行走处；以及控制装置，包括控制器和压力传感器，其中压力传感器设置在驱动吸附装置上，并且压力传感器的输出端与控制器的输入端电连接，而控制器的输出端与横向越障装置以及驱动吸附装置的信号输入端信号连接。本发明有益效果在于：该爬壁机构可跨越换流阀内壁上的横棱障碍，可在上面搭载机械臂，完成各种探测任务。
吸附横向越障机器人

[发明专利]一种光催化加工平台的语音控制方法及控制系统-CN201810826609.2有效
发明人：曾晰;蔡超鹏;郗枫飞;温聪;郑倩倩;何兴 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G10L15/22 文献下载
摘要：一种光催化加工平台的语音控制方法及控制系统，所述控制方法包括以下步骤：语音主控制端中的语音接收模块接收到操作人员的语音指令；语音接收模块将接收的语音指令发送至语音识别模块进行识别并传入第一处理器进行处理，判断该语音指令属于有用指令还是无用指令；若判断出是无用指令，则不执行任何动作；若判断出是有用指令，该指令通过第一GSM模块传输给下位动作执行模块；所述控制系统包括：语音主控制端和下位动作执行模块，语音主控制端包括语音接收模块、语音识别模块、第一处理器模块和第一GSM模块。本发明的有益效果是：提高可操作性，降低了对操作人员的要求，能更好的控制化学反应、光学控制和机械去除三者之间的协同关系，保障加工质量。
一种光催化加工平台语音控制方法控制系统

[发明专利]基于图像处理的针痕检测方法、装置、设备及介质-CN202310509315.8在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于图像处理的针痕检测方法、装置、设备及介质，涉及晶圆测试技术领域，该方法包括：将包括待进行针痕检测的测试接点的待处理图像转换为第一灰度图像；从待处理图像中分离出预定颜色分量对应的单色图像；基于第一灰度图像，按照第一规则生成第一二值图像；其中，第一规则包括：像素值未超过对应的像素值阈值的像素点呈白色；基于单色图像，按照第二规则生成第二二值图像；其中，第二规则包括：像素值超过对应的像素值阈值的像素点呈白色；对第一二值图像和第二二值图像进行合并，得到合并二值图像；基于合并二值图像，确定待处理图像中的测试接点的针痕检测结果。本公开的实施例能够兼容对不同特征的针痕的检测。
基于图像处理检测方法装置设备介质

[发明专利]一种晶圆边缘识别方法、晶圆定位方法及装置-CN202310645387.5在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种圆边缘识别方法、晶圆定位方法、探针台、晶圆边缘识别装置、电子设备及存储介质，属于晶圆定位技术领域，其中，获取晶圆在预设方位的边缘图像；从边缘图像中提取晶圆在支撑件上形成的阴影区域；提取阴影区域的边缘点；拟合边缘点得到晶圆在预设方位的边缘。该方法通过提取晶圆在支撑件上的阴影代替直接提取晶圆边缘，能够利用阴影区域光学成像特征的稳定性，来提升晶圆边缘提取的稳定性。
一种边缘识别方法定位装置

[发明专利]晶圆缺口定位方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310411138.X在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G06T7/73 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆缺口定位方法、装置、电子设备及存储介质，属于晶圆检测技术领域，其中，晶圆缺口定位方法包括：获取晶圆的边缘线阵图像；在边缘线阵图像中确定晶圆的缺口边缘点；根据缺口边缘点确定晶圆的缺口位置。该方法通过对边缘线阵图像进行寻找，确定晶圆缺口位置，代替了采用线性传感器定位缺口的方式，进而可以利用边缘线阵图像确定缺口在晶圆上的相对位置，这样就将缺口寻找步骤与晶圆ID识别步骤整合在一起，减少了测试步骤流程，大大提升测试效率。
缺口定位方法装置电子设备存储介质

[发明专利]探针识别的定位方法、装置、存储介质以及电子设备-CN202310240646.6在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G06T7/62 文献下载
摘要：本申请公开了一种探针识别的定位方法、装置、存储介质以及电子设备。其中，该方法包括：获取探针图像对应的二值图像，识别二值图像中所有连通域轮廓；基于预定轮廓面积、预设范围以及预定圆度对所有连通域轮廓进行筛选，得到目标连连通域轮廓集合；确定目标连通域轮廓集合各个目标连通域对应的最小包围圆的目标半径，比较目标半径与预定半径的大小，确定选用最小包围圆的圆心或者目标连通域的质心作为探针的中心。本申请解决了由于相关技术的定位方法受光线制约，直接确定探针质心为探针中心，以及探针图像视野中可能会存在多个特征相似的轮廓造成的识别探针中心准确度低的技术问题。
探针识别定位方法装置存储介质以及电子设备

[发明专利]识别探针的方法、装置以及电子设备-CN202310240640.9在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种识别探针的方法、装置以及电子设备。其中，该方法包括：获取探针图像对应的二值图像，并识别二值图像中的所有连通域轮廓，对所有连通域轮廓筛选得到目标连通域轮廓；确定目标连通域轮廓内像素的平均值与目标连通域轮廓对应的半径，在平均值不小于设定值，且半径不小于设定半径的第一预设倍数的情况下，确定目标连通域轮廓为探针主体针尖对应的轮廓；在半径大于设定半径的第二预设倍数的情况下，以初始亮度阈值为起点对主体针尖对应的轮廓进行阈值分割；基于阈值分割结果确定主体针尖的半径以及探针中心。本申请解决了由于探针在扎针过程中易磨损易脏污造成的识别探针中心出现偏差，从而导致扎针位置出现偏差的技术问题。
识别探针方法装置以及电子设备

[发明专利]一种基于光催化的钴基合金加工方法及加工平台-CN201810828984.0有效
发明人：曾晰;蔡超鹏;郗枫飞;郑倩倩;温聪;何兴 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种基于光催化的钴基合金加工方法及加工平台，所述加工方法包括化学反应过程优化调整和机械臂抛光路径优化调整，化学反应过程优化调整采用的是基于线性回归算法针对不同加工对象建立线性回归模型寻求最优光照强度和化学添加剂配比、温度等条件；机械臂抛光路径优化调整采用的是策略网络对抛光轨迹进行调整；所述加工平台包括：机器人模块、抛光工作台、抛光液添加装置、工控机以及存储器。本发明的有益效果在于：有效的解决了光催化加工过程中化学反应过程的紫外光强度和化学添加剂的量不好定的问题，能有效的提升抛光质量；针对不同加工对象训练出机械臂抛光路径，能有效的解决了抛光盘的柔性带来的轨迹误差，提升抛光的质量和效率。
一种基于光催化合金加工方法平台

[发明专利]接点定位方法、装置、探针台及存储介质-CN202310326770.4在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种接点定位方法、装置、探针台及存储介质，属于晶圆检测技术领域，其中，接点定位方法包括：获取目标接点的接点图像，并获取目标接点的已知形状；修复接点图像中目标接点，得到完整的目标接点二值图像；根据目标接点二值图像，判断目标接点的实际形状是否符合已知形状；当目标接点的实际形状符合已知形状，定位目标接点的位置坐标。该方法通过对接点图像进行修复，并对修复后的接点图像中接点的形状进行判断，如果判断结果符合已知形状则可以确定接点的位置，这样确定探针和接点的位置之后，再将探针扎入接点进行测试。可以确保探针精确扎入接点，防止探针扎到接点外部损坏晶圆，大大提高晶圆测试质量。
接点定位方法装置探针存储介质

[发明专利]探针台相机标记物识别方法及装置-CN202310179888.9在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G06T7/73 文献下载
摘要：本申请公开了一种探针台相机标记物识别方法、装置、探针台、电子设备及存储介质，属于标记物识别技术领域，其中，探针台相机标记物识别方法包括：获取相机标记物的标记物二值图；从标记物二值图中获取符合条件的直线；对直线进行预处理得到目标直线；对目标直线两两求交点；将交点的平均位置作为相机标记物中心位置。该方法通过将相机标记物二值图中的目标直线两两求交点能够初步筛选出可能存在相机标记物的位置，再通过计算交点的平均位置能够进一步提高相机标记物识别的准确性。
探针相机标记识别方法装置

[发明专利]探针台标记物定位方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310155471.9在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G06T7/73 文献下载
摘要：本申请公开了一种探针台标记物定位方法、探针台标记物定位装置、电子设备及存储介质，属于标记物定位技术领域，其中，探针台标记物定位方法包括：获取探针台标记物的二值图；判断二值图中是否存在符合圆形特征的连通域；若是，则基于符合圆形特征的连通域定位探针台标记物；若否，则判断二值图中是否存在符合圆弧特征的连通域，若是，则基于符合圆弧特征的连通域定位探针台标记物。该方法是对圆形的探针台标记物进行二次识别，首先通过圆形特征能够识别完整度较高的探针台标记物，其次通过圆弧特征能够识别完整度较低的探针台标记物，该方法通过二次识别能够提高探针台标记物的识别率。
探针标记定位方法装置电子设备存储介质

[发明专利]识别开尔文探针中心的方法、装置、存储介质以及电子设备-CN202211417479.X有效
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G06V10/44 文献下载
摘要：本申请公开了一种识别开尔文探针中心的方法、装置、存储介质以及电子设备。其中，该方法包括：确定开尔文探针图像中的第一探针与第二探针，确定图像中第一探针对应的第一轮廓点集合，以及图像中第二探针对应的第二轮廓点集合；筛选出第一轮廓点集合中与第二探针的端部距离为第一距离的第一轮廓点，以及第二轮廓点集合中与第一探针的端部距离为第二距离的第二轮廓点；根据第一轮廓点构建第一直线，根据第二轮廓点构建第二直线，基于第一直线与第二直线确定开尔文探针的中心点。本申请解决了由于开尔文针在长时间使用的情况下，针尖容易磨损、氧化或者会积累脏污，导致发亮的针尖变小或者消失，造成了难以通过识别针尖定位其双针中心的技术问题。
识别开尔文探针中心方法装置存储介质以及电子设备

[发明专利]晶圆缺口的筛选方法及装置、非易失性存储介质-CN202310096252.8在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆缺口的筛选方法及装置、非易失性存储介质。其中，该方法包括：获取预对位晶圆的边缘图像，并对预对位晶圆的边缘图像进行处理，得到包括可疑晶圆缺口的第一目标图像；根据第一目标图像中的可疑晶圆缺口的尺寸确定缺口矫正图，并将第一目标图像中的可疑晶圆缺口转换至缺口矫正图，得到第二目标图像；将第二目标图像中的可疑晶圆缺口中的异常晶圆缺口去除，得到目标晶圆缺口。本申请解决了由于现有技术无法有效对线阵图像中的微小晶圆缺口进行筛选造成的无法精准确定晶圆位置的技术问题。
缺口筛选方法装置非易失性存储介质

[发明专利]显微图像中的探针针尖识别方法及装置-CN202310110415.3在审
发明人： 蔡超鹏;陈思乡;杨奉利;梁思文;戴啟辉 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G06V20/69 文献下载
摘要：本申请公开了一种显微图像中的探针针尖识别方法、显微图像中的探针针尖识别装置、电子设备及存储介质，属于探针台探针定位技术领域，其中，显微图像中的探针针尖识别方法包括：获取探针灰度图；将探针灰度图转换为针尖特征二值图；从针尖特征二值图中筛选出边缘形貌符合探针针尖形态的连通域作为针尖连通域；基于针尖连通域生成针尖坐标。该方法通过边缘形貌筛选能够有效滤除与探针针尖亮度相近的干扰物，进而提高探针针尖识别的准确性和稳定性。
显微图像中的探针针尖识别方法装置

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