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[发明专利]一种四叶型带回气高压缩比罗茨真空泵-CN202310928770.1在审
发明人：李正清;王小军;韩仙虎;蔡宇宏;李小金;刘筱文;马敏;王毅 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本申请涉及罗茨真空泵技术领域，具体而言，涉及一种四叶型带回气高压缩比罗茨真空泵，包括罗茨真空泵腔体、进气通道、出气通道以及回气通道，其中：进气通道与罗茨真空泵腔体上方的进气口连通；出气通道与罗茨真空泵腔体下方的出气口连通；罗茨真空泵腔体内部设置有两个四叶型转子；运转过程中，两个四叶型转子的叶片顶端分别与罗茨真空泵腔体的内壁之间形成密封间隙；在密封间隙与罗茨真空泵腔体内壁之间的区域形成回气压缩腔室。本申请的回气压缩腔室与罗茨真空泵腔体的进气口和出气口实现完全隔离，有效的减小回气进入罗茨真空泵泵进气口及出气口的流量，使得罗茨真空泵的压缩比显著提升，同时回气的返流量显著降低。
一种四叶型带回压缩比真空泵

[发明专利]一种偏心圆弧线的螺杆泵转子型线设计方法-CN202310920236.6在审
发明人：李正清;王小军;韩仙虎;蔡宇宏;李小金;刘筱文;马敏;王毅 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： F04C29/00 文献下载
摘要：本申请涉及螺杆泵技术领域，具体而言，涉及一种偏心圆弧线的螺杆泵转子型线设计方法，型线由位于节圆外偏心圆弧AB、销齿圆弧BC、齿顶圆CD、外摆线曲线DE和位于节圆内的偏心圆弧的共轭曲线AB′、销齿圆弧B′C′、齿根圆C′D′、内摆线曲线D′E组成，本申请采用偏心圆弧的线型对螺杆泵转子型线进行了设计，各段曲线之间光滑过度，实现了两个转子之间的完全啮合，无尖点和泄漏三角形，提高了螺杆泵的有效抽速、压缩比以及极限真空，同时相较于标准型线转子，螺杆泵的容积利用率也得到了提高。
一种偏心圆弧螺杆转子设计方法

[发明专利]一种液态有机物微米级雾化蒸发镀膜系统-CN202310925121.6在审
发明人：冯尔鹏;董茂进;韩仙虎;蔡宇宏;冯煜东;王小军;王毅;秦丽丽;王冠;马凤英 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及有机物蒸发镀膜技术领域，具体而言，涉及一种液态有机物微米级雾化蒸发镀膜系统，包括单体存储装置、液体流量控制装置、磁致伸缩型增压泵装置、微米级雾化装置以及蒸发源装置，其中：单体存储装置通过管路与液体流量控制装置连接；液体流量控制装置通过管路和电磁阀与磁致伸缩型增压泵装置连接；磁致伸缩型增压泵装置通过管路与微米级雾化装置连接；微米级雾化装置通过管路与蒸发源装置连接。本申请能够制备出厚度均匀可控，表面光滑平整的有机物薄膜，并且可以连续量产化蒸发镀制，结构简单，使用方便，薄膜的制备效率较高。
一种液态有机物微米雾化蒸发镀膜系统

[实用新型]一种氧化物高阻隔膜卷绕系统基膜幅宽方向张力调节装置-CN202223195696.7有效
发明人：董茂进;冯煜东;王小军;秦丽丽;王冠;冯尔鹏;蔡宇宏;韩仙虎;王毅;马凤英 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B65H23/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种张力调节装置，具体涉及一种氧化物高阻隔膜卷绕系统基膜幅宽方向张力调节装置。该张力调节装置包括导辊，导辊的一端带有导轨A，导辊的另一端带有导轨B，导轨A上安装有张力传感器A，导轨B上安装有张力传感器B，张力传感器A安装在壳体A内，在张力传感器A和壳体A的内壁之间安装有弹簧A，张力传感器B安装在壳体B内，在张力传感器B和壳体B的内壁之间安装有弹簧B。本实用新型的张力调节装置，能够根据基膜长短边对导辊压力不同，自动调整位移使幅宽方向张力均匀。
一种氧化物阻隔卷绕系统幅宽方向张力调节装置

[发明专利]一种有效减少润滑油向腔体泄漏的罗茨泵密封结构-CN202011470556.9有效
发明人：李正清;李小金;刘筱文;蔡宇宏;马凤英;何丹;韩仙虎;马敏;李晓霞;王毅 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： F04C27/00 文献下载
摘要：本发明涉及罗茨泵密封技术领域，公开了一种有效减少润滑油向腔体泄漏的罗茨泵密封结构，安装在罗茨泵的转子轴上；所述转子轴上设置有腔体端盖，还套装有轴承和压紧轴套；包括卡套、涨圈、静密封件和密封圈压套；所述腔体端盖和转子轴的两者之间设置有卡套，卡套与腔体端盖之间设置有涨圈；所述腔体端盖与轴承相对的端面上设置有静密封件，所述静密封件和转子轴之间设置有密封圈压套；所述密封圈压套还位于腔体端盖和轴承之间，所述静密封件与密封圈压套之间设置有封严蓖齿结构。本发明通过静密封和动密封相结合的方式，有效减少油污等气体向工作腔体空间的泄漏，大大提高了密封结构的密封性能，其整体结构简单、可靠也易于实现。
一种有效减少润滑油泄漏罗茨泵密封结构

[发明专利]氦压调谐器压力精密控制装置及方法-CN201610753804.8有效
发明人：李小金;蔡宇宏;李正清;张海龙;何丹 -专利权人：无锡泓瑞航天科技有限公司
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明属于核能利用技术领域，特别涉及氦压调谐器。其技术方案是：一种氦压调谐器压力精密控制装置，包括：减压补气系统，缓冲系统，调节系统，稳压系统，集气系统；控制方法为：首先高纯高压氦气通过减压补气系统进入缓冲系统后形成低压氦气；装置运行时，缓冲罐内的氦气通过调节系统进入稳压系统，稳压系统跟氦压调谐器串联，通过控制进气系统和排气系统的氦气流量实现了对氦压调谐器位移量的精确控制从而达到了腔体中心频率的稳定。本发明通过精确控制稳压罐内的压力实现了对氦压调谐器位移量的精确控制，能够迅速、准确的把腔体的频率调节到中心频率附近，最终相对误差不超过0.03％。
调谐器压力精密控制装置方法

[发明专利]一种转子腰部型线为椭圆线的罗茨泵及其设计方法-CN202211720612.9在审
发明人：李正清;韩仙虎;蔡宇宏;杨建斌;李小金;王毅;马敏 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： F04C2/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种转子腰部型线为椭圆线的罗茨泵及其设计方法。本发明的罗茨泵，转子型线位于节圆内部的曲线为椭圆线，称为腰部椭圆线；位于节圆外部的曲线为腰部椭圆线的共轭曲线。本发明的腰部为椭圆线的转子型线与顶部为椭圆线的转子型线相比较具有容积利用率高的特点，其容积利用率可达到55％以上，优于顶部为椭圆线的转子型线10％以上。
一种转子腰部椭圆罗茨泵及其设计方法

[发明专利]一种用于液体的真空蒸发源结构-CN202211521728.X在审
发明人：董茂进;冯煜东;王小军;秦丽丽;王冠;冯尔鹏;蔡宇宏;韩仙虎;王毅;马凤英 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空蒸发源结构，具体涉及一种用于液体的真空蒸发源结构。本发明公开了一种用于液体的真空蒸发源结构。对于饱和蒸汽压较低(小于10Pa)的液态单体，粘度1‑30CPS(25℃)。蒸发源设计有以下特点：1、能够连续供给，液体管和连续液体流量计设计；2、流量控制准确，液体流量计前后压强稳定；3、不会由于气泡等干扰恒定蒸发，雾化器前端具有除泡机构。
一种用于液体真空蒸发结构

[发明专利]一种超平滑有机膜层的制备方法-CN202211521820.6在审
发明人：董茂进;冯煜东;王小军;秦丽丽;王冠;冯尔鹏;蔡宇宏;韩仙虎;王毅;马凤英 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H10K71/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种超平滑有机膜层的制备方法。镀膜是在氧化硅、氧化铝等无机膜层表面进行，工艺包括，有机物闪蒸、有机物流平、有机膜层聚合三个工艺过程；本发明的方法制备的有机膜层的作用，一方面能够使得无机膜层平坦化，粗糙度从20nm降到3纳米以内，另一方面有机层能够弥补针孔、微裂纹等微观缺陷，延长了气体分子的路径，能够制备高阻隔性能薄膜；本发明制备的有机隔膜是在氧化物膜层表面采用卷绕的方法通过闪蒸得到，该薄膜产品具有超平滑特性，采用原子力显微镜测试粗糙度小于3nm，可应用在量子点显示、光伏、光电材料封装用阻隔膜领域。
一种平滑有机制备方法

[发明专利]一种基于销齿圆弧的罗茨泵转子型线设计方法-CN202211099607.0在审
发明人：李正清;李小金;韩仙虎;蔡宇宏;王毅;刘筱文 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本申请涉及罗茨泵设计技术领域，具体而言，涉及一种基于销齿圆弧的罗茨泵转子型线设计方法，包括步骤1：基于销齿圆弧对罗茨泵转子型线进行基础型线的设计；步骤2：将基础型线分为4段；步骤3：以转子中心为圆心，以转子的最高点为半径对顶部销齿圆弧进行改进，使其形成密封圆弧；步骤4：以转子中心为圆心，以转子的顶点为半径对腰部销齿圆弧进行改进；步骤5：完成罗茨泵转子型线的设计，改进后的罗茨泵两个转子销齿圆弧在旋转运行中仅在相会垂直的瞬间啮合，其余时间的啮合由二次曲线以及共轭曲线实现。通过改进罗茨泵转子的型线，使罗茨泵的有效抽速、压缩比以及极限真空得到了进一步的提升，降低了噪声，使产品整体技术指标得到提升。
一种基于圆弧罗茨泵转子设计方法

[发明专利]一种应用于封装电子元器件双工位超灵敏检漏方法及系统-CN202010918462.7有效
发明人： 蔡宇宏;刘筱文;李小金;秦丽丽;马敏;何丹;李正清 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本申请涉及密封性测试技术领域，具体而言，涉及一种应用于封装电子元器件双工位超灵敏检漏方法及系统，包括如下步骤，S1.对封装元器件进行加压充氦；S2.对前处理罐进行保压处理；S3.将氦气排出，通入干燥的热氮气进行吹扫；S4.将封装电子元器件放置到第一工位进行细检；S5.将封装电子元器件放置到第二工位进行精检；S6.将封装电子元器件放置到加压充氟的容器中进行大漏率粗检。本申请通过三种检漏工艺和电子元器件预处理工艺，实现了对最低10‑15Pa·m3/s漏率的超灵敏度检漏，对封装电子元器件气密性筛查延伸到10‑15Pa·m3/s量级，可以避免极小漏率无法检测和大漏孔的误判，检漏灵敏度高，检漏范围宽，漏率误判小。
一种应用于封装电子元器件双工灵敏检漏方法系统

[发明专利]一种自适应调节式罗茨泵旁通装置-CN202211024920.8在审
发明人：李小金;李正清;韩仙虎;蔡宇宏;杨建斌;王毅;刘筱文 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： F04C28/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种自适应调节式罗茨泵旁通装置。本发明采用电磁调节阀作为罗茨泵进出口旁通装置的气路调节单元，利用第一惠斯通电桥、第二惠斯通电桥以及自动调节电路共同组成旁通装置的电路系统，作为旁通装置供电和信号处理、信号执行的中枢，以第一惠斯通电桥、第二惠斯通电桥的热丝电阻作为罗茨泵进出口温度的测量单元，利用惠斯通电桥的平衡，实时调节电磁阀开度，精准控制罗茨泵进出口处的差压在合理的范围内，有效降低机械式溢流阀粗放式排气造成的能耗增加。
一种自适应调节式罗茨泵旁通装置

[发明专利]一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法-CN202210448963.2在审
发明人：董茂进;王小军;冯煜东;韩仙虎;蔡宇宏;秦丽丽;王毅;王冠;马凤英 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，涉及薄膜材料检测领域。所述柔性硅氧烷薄膜是在柔性基底表面用PECVD方法镀制的硅氧烷薄膜，所述方法包括以下步骤：取样：取柔性基底及其表面镀制的硅氧烷薄膜作为检测样品，所述检测样品由于应力作用使其截面呈圆弧状；检测：将所述检测样品置于低倍光学显微镜的观测台上，测量圆弧弦长以及弧顶到弦中心的距离，推导出圆弧的曲率半径；计算：根据stoney公式，计算得到柔性硅氧烷薄膜厚度。柔性透明硅氧烷薄膜厚度难以进行测量，基于薄膜存在应力的特点，根据薄膜曲率推导计算薄膜厚度，该方法过程简单，测试仪器要求不高，检测结果准确，适合生产企业对产品进行检验测试使用。
一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度方法

[实用新型]一种带自动检漏功能的超高真空计-CN202122167321.9有效
发明人：李小金;马敏;刘筱文;蔡宇宏;秦丽丽;马凤英;李正清;王毅 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型提出一种带自动检漏功能的超高真空计，包括热阴极BA规和控制器。本实用新型满足低真空到超高真空(10—10‑9Pa)测量范围，最小可分辨的测试电离离子流为10fA，通过控制系统检漏功能的切换，缓慢喷扫试漏气体(氦气或氩气)，并自动调整电离规阴极电流、阳极电压等电参数，通过对试漏气体高效电离，完成对真空环境的漏率检测。本实用新型有效提高了真空环境漏率测试的便捷性，自动化程度高、能够比较准确的反应系统的漏率水平，具有良好的经济效益。
一种自动检漏功能超高真空计

[发明专利]一种任一液位下低温绝热气瓶漏热量的测量方法-CN202111594703.8在审
发明人：李正清;王小军;杨生胜;马敏;李晓霞;韩仙虎;蔡宇宏;王毅;李小金;秦丽丽 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： F17C1/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种任一液位下低温绝热气瓶漏热量的测量方法。本发明将日蒸发率测量中的漏热量分为两个部分：(1)蒸发气体的汽化潜热部分；(2)蒸发气体在气瓶内流动时的焓值的变化部分，并基于此构建了新的漏热量计算方法，从而实现低温绝热气瓶漏热量在任一液位下的测量和计算，进而可以有效减少测试介质的使用，降低测试的成本。
一种任一液位下低温绝热气瓶漏热量测量方法

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