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- [实用新型]一种晶圆位置检测校对装置-CN202021146687.7有效
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莫景钊;叶纬;莫景新
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广东唯是晶圆科技有限公司
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2020-06-19
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2021-04-20
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G01N21/956
- 本实用新型公开了一种晶圆位置检测校对装置，涉及晶圆加工技术领域，包括：支架、旋转组件、显微镜、激光灯、调节结构和减震组件，所述支架的底部安装有调节结构，所述连接杆的另一端竖直安装有显微镜，所述显微镜的一侧安装有激光灯，所述旋转组件安装在调节结构的顶部，通过设置旋转组件和调节结构，纵向马达和横向马达作业时，改变旋转组件的位置，能够实现微调，通过三组激光的照射点均落在定位杆顶部端面上，表示将晶圆的位置调至到显微镜的正下方，能够实现多点定位，提高检测的准确性，旋转马达做间歇式作业，能够实现旋转盘的旋转，在轮转的过程中，补料、取料和检测可以同步进行，能够实现周期循环，提高检测的效率，提高检测的精度。
- 一种位置检测校对装置
- [实用新型]一种用于晶圆生产的切割装置-CN202021147211.5有效
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莫景钊;叶纬;莫景新
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广东唯是晶圆科技有限公司
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2020-06-19
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2021-04-20
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B28D5/02
- 本实用新型公开了一种用于晶圆生产的切割装置，包括机壳、柜门、切割组件、固定组件、物料罐底和滤尘组件,所述机壳的前端端面一侧固定安装有柜门,所述机壳的内侧底部设置有物料罐底,所述物料罐底的顶部上方设置有固定组件,所述机壳的内壁一侧设置有切割组件,所述机壳的内侧顶部设置有滤尘组件；所述机壳的底部端面四周均固定安装有所述支撑柱；所述固定组件包括承重支架、固定框、切割台、切割顶板、防刮垫片、调节套管、锁紧螺柱、固定架和防滑垫片；该用于晶圆生产的切割装置，固定牢固，能够有效防止晶圆发生滑脱的情况；在使用时，切割方便，能够有效将切割产生的晶圆碎屑进行清洁，清洁效果好。
- 一种用于生产切割装置
- [实用新型]一种晶圆检测的夹具机构-CN202021146707.0有效
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莫景钊;叶纬;莫景新
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广东唯是晶圆科技有限公司
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2020-06-19
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2020-11-20
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种晶圆检测的夹具机构，包括底座、调节组件和夹持组件，所述底座的顶端外壁上设置有调节组件，所述底座的外部设置有夹持组件，底座的内部上开设有安装槽，所述安装槽的底端内壁上镶嵌固定有第一旋转电机，第一旋转电机输出轴的一端上套接固定有第二齿轮，底座的顶端外壁上转动安装有转轴，转轴位于安装槽内部的外壁上套接固定有第一齿轮；本实用新型设置调节组件，通过旋转电机和液压缸的共同配合，可以对空心安装盘多角度调节，能方便稳定的对晶圆进行转运，省去了人工手动操作，提高了工作效率，设置的夹持组件，使夹持比较稳定，设置的挤压杆和弹簧，在夹持时不易损坏晶圆，比较的节约成本。
- 一种检测夹具机构
- [实用新型]一种用于晶圆生产的固定装置-CN202021146710.2有效
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莫景钊;叶纬;莫景新
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广东唯是晶圆科技有限公司
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2020-06-19
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2020-11-20
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种用于晶圆生产的固定装置，包括底架、导轨、固定立臂、调节组件、固定组件和安装定位孔，所述底架的顶部端面中央固定安装有导轨，所述导轨的顶部端面上方设置有固定立臂，所述固定立臂的顶部端面一侧设置有调节组件，且调节组件的外部一侧设置有固定组件，所述底架的端面四周均开设有安装定位孔；所述导轨的顶部端面配合安装有滑块，且固定立臂的底部与滑块固定连接；所述横梁架固定安装在固定立臂的一侧端面顶部位置处；该用于晶圆生产的固定装置，结构简单，体积小巧；具有良好的角度调节能力，能够提高使用的方便性；同时，能够对晶圆具有牢固的安装固定效果，能够有效避免晶圆脱落，防滑脱效果好。
- 一种用于生产固定装置
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